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진공 건조용 열경화 장치 및 진공건조 열경화방법

  • 기술번호 : KST2015040828
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유리 기판에 대하여 진공상태에서 고온 처리를 함으로써, 솔벤트 제거 공정 및 열경화 공정을 동시에 수행할 수 있는, 진공 건조용 열경화 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 진공 건조용 열경화 장치는, 액정 표시 장치(LCD)의 상하부 기판으로 사용되는 유리기판에 대한 포토레지스트 도포 공정 후, 상기 유리기판을 진공 건조시키는 한편 고온으로 가열시키기 위한 가열 플레이트; 상기 가열 플레이트의 내부를 중진공으로 만들기 위해 상기 가열 플레이트의 내부 공기를 흡입하기 위한 진공 펌프; 및 상기 가열 플레이트와 진공 펌프를 연결하기 위한 진공 라인을 포함한다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1020050114283 (2005.11.28)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1182514-0000 (2012.09.06)
공개번호/일자 10-2007-0055829 (2007.05.31) 문서열기
공고번호/일자 (20120912) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.11)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종율 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허용록 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0690250-12
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2007-0609010-63
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0735890-74
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0600841-07
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-1010405-63
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1010406-19
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0294286-55
12 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.06.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0029670-85
13 등록결정서
Decision to grant
2012.08.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0452835-84
14 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.07 수리 (Accepted) 1-1-2012-0725975-46
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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액정 표시 장치(LCD)의 상하부 기판으로 사용되는 유리기판에 대한 포토레지스트 도포 공정 후, 상기 유리기판을 진공 건조시키는 한편 고온으로 가열시키기 위한 내부공간을 포함하는 가열 플레이트;상기 가열 플레이트의 내부를 중진공으로 만들기 위해 상기 가열 플레이트의 내부 공기를 흡입하기 위한 진공 펌프; 및상기 가열 플레이트의 내부공간과 상기 진공 펌프 사이의 공기 교환을 위해 연결되는 진공 라인을 포함하되,상기 가열 플레이트의 내부에는,고온 가열을 위한 히팅부;이동 아암에 의해 운반된 유리 기판이 올려지는 고정핀;상기 진공 라인을 상기 가열 플레이트에 결합시기키 위한 진공 결합부; 상기 유리 기판을 상기 가열 플레이트로 반입/반출 시키는 통로를 제공하는 한편 상기 가열 플레이트의 내부를 외부와 밀폐된 상태로 폐쇄시키기 위한 밀폐부; 및상기 가열 플레이트의 하단에, 상기 가열 플레이트를 통해 열경화 처리된 상기 유리기판에 대해 냉각 공정을 수행할 수 있는 냉각 플레이트(SCP)를 포함하고,상기 가열 플레이트는 상기 유리기판을 진공건조시키는 감압 건조공정과 고온으로 가열하는 가열경화공정을 동시에 수행하고,상기 가열 플레이트는 3단으로 구성되며,상기 냉각 플레이트는 상기 냉각 공정을 수행하기 위한 내부공간을 포함하는 진공 건조용 열경화 장치
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삭제
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삭제
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세정, 수분건조 및 포토레지스트 도포과정을 거친 유리기판을 내부 공간을 포함하는 가열플레이트에 형성된 밀폐부를 통해 반입하는 단계;상기 가열 플레이트에 반입된 유리기판을 고정핀에 의해 고정하는 단계;상기 밀폐부를 닫아 상기 가열 플레이트를 밀폐하는 단계;상기 가열플레이트 내부의 공기를 흡입하여 중진공상태로 만들어 상기 유리기판을 진공건조하는 단계;상기 가열플레이트를 가열하여 상기 유리기판을 열경화하는 단계;상기 유리기판을 냉각플레이트에 의해 냉각하는 단계를 포함하고,상기 유리기판의 진공건조단계와 열경화단계는 동시에 수행되고,상기 가열 플레이트는 3단으로 구성되고,상기 냉각 플레이트는 냉각 공정을 수행하기 위한 내부공간을 포함하는 진공건조 열경화 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.