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반도체진공장비

  • 기술번호 : KST2015040871
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요약 본 발명은 반도체 제조용 챔버 게이트 도어밸브의 오링에 관한 것으로, 특히 오링의 손상을 최소화하기 위한 것이다. 본 발명의 특징은 진공챔버의 게이트 도어밸브에는 오링 삽입홈이 구성되어 있으며, 상기 오링 삽입홈에는 오링의 탈착 및 장착을 손쉽게 하기 위한 홈이 구성되어 있는데 이때, 상기 홈 부위에 대응되는 오링의 단면적을 다른 부위의 오링의 단면적에 비해 적어도 2배 이상으로 두껍게 형성하는 것이다. 이로 인하여, 상기 공정챔버 내부로 노출되어 구성되는 홈 부위의 오링이 빨리 부식되는 문제점을 해결할 수 있으며, 상기 홈에 대응하는 오링의 접촉면적이 넓어지므로 공정챔버의 진공 실링 능력을 향상 시킬 수 있다. 반도체 제조용 챔버, 게이트 도어밸브, 오링
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67772(2013.01)H01L 21/67772(2013.01)H01L 21/67772(2013.01)
출원번호/일자 1020050119310 (2005.12.08)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1150203-0000 (2012.05.21)
공개번호/일자 10-2007-0060223 (2007.06.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.07)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 차상영 대한민국 대구광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2005-0716811-25
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0805657-17
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0619973-58
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1011941-92
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-1011940-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
10 등록결정서
Decision to grant
2012.05.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0288807-57
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번호 청구항
1 1
게이트 도어밸브가 구성된 진공챔버와;상기 게이트 도어밸브에 구성되며, 적어도 두 곳 이상의 단면적이 다른 영역의 단면적에 비해 두껍게 형성되는 오링을 포함하며, 상기 게이트 도어밸브에는 오링 삽입홈과, 상기 오링의 탈착을 위한 홈이 구성되어 있으며, 상기 홈에 대응되는 오링의 단면적이 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체진공장비
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 오링 삽입홈에 구성된 홈은 적어도 두 곳 이상 구성되는 반도체진공장비
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 홈 부위의 오링의 단면적은 다른 부위의 단면적에 비해 적어도 2배 이상으로 두껍게 구성하는 것을 특징으로 하는 반도체진공장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.