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액정표시장치 제조용 스핀 코터

  • 기술번호 : KST2015040887
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요약 본 발명은 인너 커버와 정류판 사이로 순수한 공기를 공급하므로써, 스핀 코터 내부의 압력을 스핀 코터 외부의 압력보다 높게 유지할 수 있도록 한, 액정표시장치 제조용 스핀 코터에 관한 것이다. 이 액정표시장치 제조용 스핀 코터는, 상면이 개구되고 저면이 밀폐된 실린더 형상으로 이루어진 아우터 컵(Outer Cup); 상기 아우터 컵과 같이 실린더 형상으로 이루어져 상기 아우터 컵의 내부에서 회전가능하게 설치된 인너 컵(Inner Cup); 상기 아우터 컵을 개폐시키기 위한 아우터 커버; 상기 아우터 커버와 일체형으로 구성되어 상기 인너 컵의 상면을 개폐시키기 위한 인너 커버; 상기 인너 커버의 하부에 설치되어 기판의 회전시 기판 상부의 공기의 흐름을 고르게 유지하여 포토 레지스트가 기판 상에 균일하게 도포될 수 있도록 하기 위한 정류판; 및 상기 아우터 커버와 인너 커버를 관통하여 정류판 및 인너 커버 사이에 위치되어 있으며, 외부의 공기공급장치로부터 이송된 정화된 공기를 상기 인너 컵 내부로 유입시키기 위한 라인을 포함한다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC G03F 7/162(2013.01)
출원번호/일자 1020050119973 (2005.12.08)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1177575-0000 (2012.08.21)
공개번호/일자 10-2007-0060490 (2007.06.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120827) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.11.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문창범 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 허용록 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 현죽빌딩)(선영특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2005-0718738-36
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0609344-07
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0786434-52
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.11.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.12.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0095117-63
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0755087-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0136897-23
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0136898-79
13 등록결정서
Decision to grant
2012.07.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0430436-65
14 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0675620-47
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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상면이 개구되고 저면이 밀폐된 실린더 형상으로 이루어진 아우터 컵(Outer Cup);상기 아우터 컵과 같이 실린더 형상으로 이루어져 상기 아우터 컵의 내부에서 회전가능하게 설치된 인너 컵(Inner Cup);상기 아우터 컵을 개폐시키기 위한 아우터 커버;상기 아우터 커버와 일체형으로 구성되어 상기 인너 컵의 상면을 개폐시키기 위한 인너 커버;상기 인너 커버의 하부에 설치되어 기판의 회전시 기판 상부의 공기의 흐름을 고르게 유지하여 포토 레지스트가 기판 상에 균일하게 도포될 수 있도록 하기 위한 정류판; 및상기 아우터 커버와 인너 커버를 관통하여 정류판 및 인너 커버 사이에 위치되어 있으며, 외부의 공기공급장치로부터 이송된 정화된 공기를 상기 인너 컵 내부로 유입시키기 위한 라인을 포함하고,상기 인너 커버와 정류판 사이에서 상기 라인과 결합되어, 상기 인너 컵 내부로 정화된 공기를 분사시키기 위한 분사노즐을 더 포함하며,상기 라인을 통한 인너 컵 내부로의 공기 유입은, 상기 아우터 컵과 인너 컵이 밀폐된 순간부터 상기 아우터 컵 및 인너 컵이 개방되기 직전까지의 과정 중 적어도 어느 하나의 과정 동안에 수행되어, 상기 인너 컵 내부의 공기 압력을 상기 아우터 컵의 외부 압력보다 크게 하여 상기 아우터 커버 및 인너 커버가 개방될 때, 외부로부터 불순물이 상기 인너 컵 내부로 유입되는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 스핀 코터
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제 1 항에 있어서,상기 라인은,상기 공기공급장치로부터 유입되는 공기의 유량을 1차적으로 조절하기 위한 제1 밸브;상기 인너 컵 내부로 유입되는 공기의 유량을 조절하기 위한 제2 밸브; 및상기 제1 밸브 및 제2 밸브 사이에서 공기의 순도를 높이기 위한 필터링 기능을 수행하기 위한 필터를 포함하는 액정표시장치 제조용 스핀 코터
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삭제
4 4
삭제
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제 1 항에 있어서,상기 라인을 통해 상기 인너 컵 내부로 유입되는 공기는 질소(N2)인 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 스핀 코터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.