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다수의 서브픽셀로 정의된 제 1 기판; 상기 제 1 기판 하부에 패터닝되어 형성된 제 1 전극; 상기 제 1 전극 하부의 소정 영역에 일정 간격 이격되어 패터닝되어 형성된 제 1, 2 보조 전극; 상기 제 1, 2 보조 전극 하부에 언더컷 형상으로 패터닝되어 형성되며 소정 간격 이격된 제 1, 2 버퍼층; 상기 각각의 서브픽셀이 분리되도록 각 서브픽셀을 구획하는 외곽에 형성되며, 상기 제 1, 2 버퍼층 하부의 소정 영역에 패터닝되어 형성된 제 1, 2 격벽; 상기 제 2 버퍼층 하부에 상기 제 2 격벽과 소정 영역 이격되어 패터닝되어 형성된 스페이서; 상기 제 1, 2 격벽 및 스페이서를 포함하는 제 1 전극 하부의 상기 제 1, 2 격벽에 의해 구획된 영역에 형성되며, 적어도 유기발광층을 포함하며 패터닝되어 형성된 유기막층; 상기 유기막층 하부 및 상기 제 1, 2 버퍼층 사이에 형성된 제 2 전극; 및 상기 제 1 기판과 스페이서에 의해 일정 간격으로 이격되어 배치되며, 상기 제 2 전극과 전기적으로 연결된 박막트랜지스터를 구비하는 제 2 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 2 버퍼층은 실리콘 산화막(SiO2), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층(SiNx/SiO2, SiO2/SiNx)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 2 격벽은 포지티브형 포토레지스트로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 2 버퍼층 및 제 1, 2 격벽은 다각형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 2 격벽은 발광 영역 사이에 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1, 2 격벽은 상기 제 1, 2 버퍼층과 접하는 영역에 각각 하나의 예각과 하나의 둔각을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치
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다수의 서브픽셀로 정의된 제 1 기판 상에 제 1 전극을 패터닝하여 형성하는 단계; 상기 제 1 전극 상의 소정 영역에 일정 간격 이격되도록 제 1, 2 보조 전극을 패터닝하여 형성하는 단계; 상기 제 1, 2 보조 전극을 포함한 제 1 기판 전면에 절연막 및 감광막을 차례로 적층하는 단계; 반투과부를 포함한 마스크를 통해 회절 노광 후 현상하여 두께 단차를 갖는 제 1, 2 감광막 패턴을 형성하는 단계; 상기 제 1, 2 감광막 패턴 하부의 절연막을 오버 에칭하여 언더컷 형상을 갖으며 일정 간격 이격되도록 제 1, 2 버퍼층을 형성하는 단계; 에싱을 통해 상기 제 2 감광막 패턴을 제거하여 일정 간격 이격되어 대칭되는 제 1, 2 격벽을 패터닝하여 형성하는 단계; 상기 제 2 버퍼층 상에 상기 제 2 격벽과 소정 간격 이격되도록 패터닝하여 스페이서를 형성하는 단계; 상기 버퍼층에 의해 구획된 발광 영역에 적어도 유기발광층을 포함하는 유기막층을 패터닝하여 형성하는 단계; 상기 유기막층, 제 1, 2 격벽 및 스페이서를 포함한 기판 상에 제 2 전극을 패터닝하여 형성하는 단계; 및 박막트랜지스터가 형성된 제 2 기판을 상기 스페이서를 통해 박막트랜지스터의 드레인 전극과 전기적으로 연결되도록 상기 제 1 기판과 대향하여 봉지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 절연막은 실리콘 산화막(SiO2), 실리콘 질화막(SiNx) 또는 이들의 이중층(SiNx/SiO2, SiO2/SiNx)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 절연막은 화학기상증착법으로 증착하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 감광막은 포지티브형 포토레지스트로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 감광막은 스핀 코팅 방식에 의해 도포하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1, 2 버퍼층 및 제 1, 2 격벽은 반투과부를 포함하는 하나의 마스크를 이용한 일괄 식각으로 패터닝하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 마스크는 투과부, 반투과부, 차단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유전계발광표시장치의 제조 방법
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14
제 7 항에 있어서, 반투과부를 포함한 마스크를 통해 회절 노광 후 현상하여 두께 단차를 갖는 제 1, 2 감광막 패턴을 형성하는 단계에 있어서, 상기 감광막 상에 투과부, 반투과부, 차단부를 포함한 마스크를 위치시키는 단계; 상기 마스크 상에 광을 조사하는 단계; 및 상기 감광막을 현상하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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15
제 14 항에 있어서, 상기 감광막을 현상하는 단계는 마스크의 차단부가 적용되어 상기 감광막이 그대로 남은 영역의 제 1 감광막 패턴과, 상기 반투과부가 적용되어 감광막이 상기 제 1 감광막 패턴의 절반 이하로 남은 영역의 제 2 감광막 패턴과, 투과부가 적용되어 상기 감광막이 전혀 남지않는 영역을 갖는 감광막 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1, 2 버퍼층은 상기 제 1, 2 감광막 패턴 하부의 절연막을 습식 식각 또는 건식 식각으로 패터닝하여 언더컷을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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17
제 7 항에 있어서, 상기 제 1, 2 격벽은 발광 영역 사이에 대칭으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 제 1, 2 격벽은 상기 제 1, 2 버퍼층과 접하는 영역에 각각 하나의 예각과 하나의 둔각을 갖도록 형성하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치의 제조 방법
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