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무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템

  • 기술번호 : KST2015041023
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 폴리이미드필름을 공급하면서, 특정공정이 실시되는 공정실행장치와 수세를 실시하는 수세장치로 구성되는 탈지, 에칭, 중화, 커플링, 촉매부가, 하부도금, 도금 등의 공정을 순차적으로 실시하여 필름(폴리이미드필름)의 단면 또는 양면에 전도성 금속을 도금시키고, 전도성 금속이 도금된 필름을 건조장치부에 의해 건조시키며, 건조된 전도성금속도금필름을 권취장치부에 의해 권취롤에 감아주도록 된 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템에 관한 것으로서, 각 공정을 실시할 때에 필름을 액상물질에 침지시킨 상태에서 통과시키고 세척수로 세척시키면서 세척수에 침전 및 인출시키는 습식방법에 의해 실시하므로 박리강도 등의 물성을 개선시킬 수 있고, 각 공정에서 소정의 액상물질에 침전된 필름을 압착롤러에 의해 스퀴징하므로 액상물질을 균일한 두께로 도포시킬 수 있으며, 필름을 공급시키는 권출공정과 배출시키는 권취공정을 실시할 때에 고정롤러의 사이에 설치되는 움직롤러를 상하로 이동시켜 장력을 조절하므로 필름이 꼬이거나 뒤틀리지 않고 이송되도록 하며, 공정부의 소정위치에 하나 이상의 보조구동장치를 이격시켜 설치하므로 폴리이미드기판을 원활하게 이송시킬 수 있다.필름. 권출장치. 공정실행장치. 수세장치. 권취장치.
Int. CL C23C 18/54 (2006.01)
CPC C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01) C23C 18/1601(2013.01)
출원번호/일자 1020050122340 (2005.12.13)
출원인 디엠아이텍 주식회사
등록번호/일자 10-0730637-0000 (2007.06.14)
공개번호/일자 10-2007-0062675 (2007.06.18) 문서열기
공고번호/일자 (20070621) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.13)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 디엠아이텍 주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서민근 대한민국 경기도 용인시 기흥읍 구
2 김운수 대한민국 경기도 용인시 풍덕
3 박명호 대한민국 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심서래 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, *동 ***호(가산동 IT캐슬)(특허법인 남양)
2 정순옥 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 **, *동 ***호(가산동 IT캐슬)(특허법인 남양)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2005-0727227-28
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.12.05 수리 (Accepted) 9-1-2006-0079325-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0735617-45
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0114320-35
6 의견서
Written Opinion
2007.02.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0114270-40
7 등록결정서
Decision to grant
2007.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0313971-41
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.09.06 수리 (Accepted) 4-1-2007-5138576-43
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번호 청구항
1 1
필름(5)을 공급하면서 외면에 전도성 금속을 피복시키는 것에 있어서, 기판롤(111)에 감겨진 필름(5)을 박리지(6)와 분리시키면서 장력을 조절하여 이송시키는 권출장치(100)가 구비된 권출공정부(2);권출공정부(2)에서 공급되는 필름(5)의 표면을 탈지장치(11)와 수세장치(12)에 의해 탈지하고 수세시켜 이물질을 제거하는 탈지공정부(10);이물질이 제거되어 이송되는 필름(5)의 표면을 제1에칭장치(23) 및 제2에칭장치(25)와 수세장치(24)(26)에 의해 반복적으로 에칭 및 수세시키는 에칭공정부(20);표면이 에칭되어 이송되는 필름(5)을 중화장치(31)와 수세장치(32)에 의해 중화 및 수세시키는 중화공정부(30);중화되어 이송되는 필름(5)의 표면을 커플링장치(41)와 산세장치(42)에 의해 커플링제와 산에 의해 커플링하고 세척하는 커플링공정부(40);표면이 커플링되어 이송되는 필름(5)에 활성화장치(51)와 수세장치(52)에 의해 촉매를 흡착시키고 수세시키는 촉매부가공정부(50);촉매가 흡착되어 이송되는 필름(5)을 하부도금장치(61)와 수세장치(62)에 의해 제 1 전도성 금속막을 표면에 형성하고 수세시키는 하부도금공정부(60);제1전도성 금속막이 표면에 형성되어 이송되는 필름(5)을 전류가 인가되는 도금장치(71)와 수세장치(72)에 의해 제 2 전도성 금속막을 형성하는 도금공정부(70);제 2 전도성 금속막이 형성되어 이송되는 필름(5)을 건조장치(400)에 의해 건조시키는 건조공정부(80);소정 공정부의 중간에 보조구동장치(600)를 설치하여 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90);제 2 전도성 금속막이 완전히 건조되어 형성되는 전도성금속도금필름(7)을 권취장치(500)에 의해 박리지(8)를 부가시키고 장력을 조절하면서 권취롤(460)에 감아 주는 권취공정부(3);를 포함하여 형성한 것을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
2 2
청구항 1에 있어서, 권출공정부(2)의 권출장치(100)는; 직육면체로 된 권출장치틀(101)의 밑판 저면 모서리에 통상의 받침다리(102)와 캐스터(103)를 각각 설치한 것에 있어서;권출장치틀(101)의 내부 입구측에 설치된 기판롤장착대(110)의 상측과 하측에는 박리지회수롤(112)과 기판롤(111)를 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;기판롤장착대(110)의 바닥면에 기동모터(113)를 설치하여 기판롤(111)을 회전시키도록 한 것과;권출장치틀(101)의 내부 중간에 설치된 테이블(131)의 상측에는 공급유도롤(120)과 단부연결장치(170) 및 방향전환롤(130)을 차례로 설치한 것과;권출장치틀(101)의 내부 후반에는 필름(5)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
3 3
청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)·중화공정부(30)·커플링공정부(40)·촉매부가공정부(50)·하부도금공정부(60)·도금공정부(70)의 각 탈지장치(11), 제1에칭공정부(21)의 제1에칭장치(23), 제2에칭공정부(22)의 제2에칭장치(25), 중화장치(31),커플링장치(41), 활성화장치(51), 하부도금장치(61), 도금장치(71)는; 직육면체로 형성된 기능장치틀(200)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치한 것에 있어서;기능장치틀(200)의 내부 상측부에 상측으로 개방되는 액상조(210)를 받침대(204)에 의해 받쳐 설치한 것과;액상조(210)에는 액상물질(250)을 충진시킨 것과;액상조(210)의 내부에는 이송롤러(211)를 등간격으로 유지시키면서 상하로 분할 설치하되 액상물질(250)에 잠기도록 설치한 것과;후단 최종 이송롤러(211)의 선상에서 탈지액의 상측부에는 한 쌍의 롤러(231)로 구성된 스퀴징부(230)를 설치한 것과;기능장치틀(200)의 상부 양측에는 커버(207)가 씌워지는 전이롤러(205)(206)를 각각 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
4 4
청구항 1에 있어서, 탈지공정부(10)·제1에칭공정부(21)·제2에칭공정부(22)·중화공정부(30)·커플링공정부(40)·촉매부가공정부(50)·하부도금공정부(60)·도금공정부(70)의 각 수세장치(12)(24)(26)(32)(42)(52)(62)(72)는;직육면체로 형성되고 내부가 공간부로 형성된 수세장치틀(300)의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(201)와 캐스터(202)를 각각 설치하여 수세장치틀(300)을 지지하거나 이동할 수 있도록 된 것에 있어서;상기 수세장치틀(300)의 내부 상측부에는 받침대(302)에 의해 받쳐 지지되는 수세조(310)를 설치하되, 수세조(310)는 칸막이벽체(314)에 의해 내부가 제1ㆍ제2ㆍ제3수세실(311)(312)(313)로 분할하여 세척수(340)를 충진시킨 것과;받침판(302)의 하측에는 수세조(310)에 세척수를 공급시켜 주는 펌핑모터(350)를 받침대(301)에 의해 받쳐 설치한 것과;제1·제2·제3수세실(311)(312)(313)의 내부에는 세척롤러(320)를 세척수(340)에 잠기도록 각각 설치하고, 칸막이벽체(314)의 상측에는 탈수롤러(330)를 각각 설치하여, 필름(5)이 세척롤러(320)과 탈수롤러(330)를 반복으로 통과하도록 한 것과;상기 제1수세실(311)과 제3수세실(313)의 각 인입측과 배출측에는 분사세척장치(360)와 스퀴징장치(370)를 각각 설치한 것과;수세장치틀(300)의 상부 양측에는 커버(207)(381)가 씌워지는 전이롤러(206)(380)를 각각 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
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청구항 1에 있어서, 건조공정부(80)의 건조장치(400)는;직육면체로 형성되고 내부가 공간부로 된 건조장치틀(401)의 저면 각 모서리에는 통상의 받침다리(402)와 캐스터(403)를 각각 설치하여 건조장치틀(401)을 지지하거나 이동시킬 수 있도록 된 것에 있어서;상기 건조장치틀(401)의 상부 양단에는 인입용 전이롤러(404)와 배출용 전이롤러(405)를 각각 설치한 것과;건조장치틀(401)의 내부에는 히팅실(410)과 건조실(420)을 형성한 것과;히팅실(410)에는 히팅장치를 설치하고, 건조실(420)의 내부에는 이송롤러(421)를 등 간격으로 유지시키면서 상하 반복적으로 설치한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
6 6
청구항 1에 있어서, 권취공정부(3)의 권취장치(500)는; 직육면체형으로 형성된 권취장치틀(501)의 저면 각 모서리에 통상의 받침다리(502)와 캐스터(503)를 각각 설치한 것에 있어서; 권취장치틀(501)의 내부에서 입구 상측부에는 전도성금속도금필름(7)을 안전하게 유지시키는 복수 개의 이송롤러(510)를 상하로 반복 설치한 것과;이송롤러(510)의 배출 측에는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치를 설치한 것과;상기 장력조절장치의 배출측에는 테이블(552)을 설치하고, 그 상면 양측에는 방향전환롤러(550)와 배출롤러(551)를 설치한 것과;테이블(552)의 외측에는 권취롤장착대(560)를 설치하되, 권취롤장착대(560)의 상측과 하측에는 박리지공급롤(580)과 권취롤(570)을 착탈시킬 수 있도록 설치한 것과;테이블(552)의 내부 하측에는 기동모터(553)를 설치하여 권취롤(570)을 회전시킬 수 있도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
7 7
청구항 1에 있어서, 이송되는 필름(5)에 이송력을 부가시키는 보조구동부(90)의 보조구동장치(600)는;하나의 기동롤러(610)와 복수개의 연동롤러(620)를 장치틀의 상측에 지그재그로 굴대 설치하여 필름(5)을 걸어준 것과;기동롤러(610)를 보조구동모터(630)의 회전시키도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
8 8
청구항 2 또는 청구항 6에 있어서, 권출공정부(2)의 권출장치(100)와 권취공정부(3)의 권취장치(500)에 각각 설치되어 필름(5) 또는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하는 장력조정장치는;장치틀의 내부 상측에는 복수 개의 고정롤러(140)(520)를 등 간격으로 이격시켜 축으로 설치한 것과;고정롤러(140)의 사이에는 움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(531)를 구비한 것과;움직롤러(150)(530)가 굴대 설치된 이동대(151)(531)의 양측에는 가이드레일(160)(540)을 수직으로 설치하여 이동대(151)(531)를 가이드레일(160)(540)에 결합시켜 상하 슬라이딩 되도록 한 것과;이동대(151)(531)와 함께 움직롤러(150)(530)를 상하로 이동시켜 필름(5) 또는 전도성금속도금필름(7)의 장력을 조정하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
9 9
청구항 4에 있어서, 제1수세실(311)에 설치되는 분사세척장치(360)는;세척롤러(320)의 전방에서 세척수의 상측에는 분사노즐(361)(362)을 대향 하게 장착한 것과;제1수세실(311)로 인입되는 필름(5)을 분사노즐(361)(362)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 양면에 부착된 탈지용액을 분사노즐(361)(362)에서 분사되는 세척수에 의해 세척하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
10 10
청구항 4에 있어서, 제3수세실(313)에 설치되는 스퀴징장치(370)는;세척롤러(320)의 후방에서 세척수의 상측에는 한 쌍의 스퀴징롤러(371)(372)를 경사지도록 대향 되게 장착한 것과;세척롤러(320)를 통과하여 상승하는 필름(5)을 스퀴징롤러(371)(372)의 사이로 통과시켜 필름(5)의 외면에 부착된 세척수를 제거하도록 한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
11 11
청구항 10에 있어서, 제3수세실(313)의 스퀴징장치(370)에 설치되는 스퀴징롤러(371)(372)는 스폰지 또는 발포수지로 형성한 것;을 특징으로 하는 무전해방식을 이용한 필름 금속도금장치시스템
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 JP19162122 JP 일본 FAMILY
2 KR100689222 KR 대한민국 FAMILY
3 US07611584 US 미국 FAMILY
4 US20070131164 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 JP2007162122 JP 일본 DOCDBFAMILY
2 US2007131164 US 미국 DOCDBFAMILY
3 US7611584 US 미국 DOCDBFAMILY
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