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고주파 파워를 발생하는 고주파 파워 발생기와,내부에 밀폐공간을 형성하고 식각 대상물을 수용하고 식각 공정이 진행되는 진공챔버와,상기 진공챔버내의 유입되는 식각가스를 이용하여 플라즈마를 형성하기 위해 방전 공간을 형성하는 상부 플레이트 전극 및 샤워 헤드와,상기 상부 플레이트 전극과 소정의 간격을 유지하여 글로우 방전 공간을 형성하는 하부 플레이트 전극과,상기 고주파 파워 발생기로부터 상기 샤워 헤드로 파워를 공급하기 위한 파워공급라인과,상기 파워공급라인을 통해 파워가 공급되는 샤워 헤드에 체결되어 파워를 측면으로 전달하는 고주파 콘택 블록을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 고주파 콘택 블록은 알루미늄 등의 전도체로 이루어짐을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 상부 플레이트 전극 및 샤워 헤드 사이의 방전 공간을 관통하여 샤워 헤드에 연결되는 파워공급라인의 주위에 피복되는 절연물질을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 고주파 콘택 블록 및 그에 인접한 샤워 헤드에 구성되는 세라믹을 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 파워공급라인으로부터 발생되는 열을 제거하기 위한 쿨링챔버를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 진공챔버 내부로 상기 가스를 유입시키기 위한 가스공급부와, 상기 고주파 파워 발생기 및 진공챔버 내의 상기 상부 플레이트 전극 사이에 설치되어 상기 고주파 파워 발생기로부터 발생되는 고주파 교류전압의 임피던스 및 위상과 상기 진공챔버 내의 상기 샤워 헤드로 공급되는 고주파 교류전압의 임피던스 및 위상을 일치시키기 위한 고주파 매치박스를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 1 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 파워공급라인은 상기 고주파 파워 발생기로부터 발생된 파워를 상기 고주파 매치 박스로 전달하기 위한 제 1 파워라인과, 상기 고주파 매치 박스로부터 상기 샤워 헤드에 상기 파워를 전달하기 위한 제 2 파워 라인으로 이루어짐을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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제 6 항에 있어서, 상기 쿨링챔버는 팬(fan)을 이용하여 구동되는 것을 특징으로 하는 표시소자 제조용 건식 식각 장치
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