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실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조

  • 기술번호 : KST2015041196
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요약 본 발명은 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조는, 상단부에 인상 케이블이 설치되는 시드 척과, 상기 시드 척에 결합되는 시드를 구비하여 된 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조에 있어서, 상기 시드는, 상단부에 형성된 헤드부와, 상기 헤드부의 하부로 연장되며 형성된 몸체부로 이루어지고, 상기 헤드부와 상기 몸체부는 동일한 단면적을 가지며 형성된 것을 그 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 시드의 구조와, 이 시드가 결합되는 시드 척의 구조를 간단하게 변경함으로써, 이들의 제조가 용이하고, 내구성 및 설치 작업이 용이하다.시드, 시드 척, 실리콘 단결정 잉곳 성장장치
Int. CL C30B 15/10 (2006.01)
CPC C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01) C30B 15/32(2013.01)
출원번호/일자 1020050131841 (2005.12.28)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-1149561-0000 (2012.05.17)
공개번호/일자 10-2007-0069563 (2007.07.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120529) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.08)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이인규 대한민국 경상북도 구미시
2 이숭희 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0772847-60
2 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items
2006.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0399698-93
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2009-0617882-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.04.01 수리 (Accepted) 9-1-2011-0028623-05
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0426969-04
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0767452-18
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0856002-52
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2011-0856001-17
11 등록결정서
Decision to grant
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0253661-79
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상단부에 인상 케이블이 설치되는 시드 척과, 상기 시드 척에 결합되는 시드를 구비하여 된 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조에 있어서,상기 시드는,상단부에 형성된 헤드부와, 상기 헤드부의 하부로 연장되며 형성된 몸체부로 이루어지고, 상기 헤드부와 상기 몸체부는 동일한 단면적을 가지며 상기 시드는 ''T''자형으로 이루어지고, 상기 시드 척에는 상기 시드가 그 하부로 결합되도록 하기 위한 ''T''자형 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조
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삭제
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제1항에 있어서,상기 시드 척은 일체형으로 이루어진 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 성장장치용 시드 척 구조
4 4
삭제
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.