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웨이퍼 지지대

  • 기술번호 : KST2015041210
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요약 본 발명은, 웨이퍼를 안착하여 지지하기 위한 웨이퍼 지지대에 있어서, 웨이퍼의 중앙부에서의 열흐름을 원활하게 하기 위한 비어있는 공간이 마련되어 상기 웨이퍼의 중앙부와 에지부 사이의 열적 편차를 최소화할 수 있는 도넛 타입의 구조를 갖고, 상기 웨이퍼의 중앙부와 에지부 사이 영역과 접촉하면서 지지하기 위한 지지부를 적어도 구비하는 웨이퍼 지지대에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 열처리를 위한 램프-업 및 램프-다운 동안에 웨이퍼 중앙부와 웨이퍼 에지부 사이의 열적 편차를 최소화하여 슬립의 발생을 억제할 수가 있다.웨이퍼 지지대(Wafer Supporter), 웨이퍼, 열처리, 도넛(Donut) 타입
Int. CL H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/68735(2013.01) H01L 21/68735(2013.01)
출원번호/일자 1020050125924 (2005.12.20)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0837737-0000 (2008.06.05)
공개번호/일자 10-2007-0065479 (2007.06.25) 문서열기
공고번호/일자 (20080613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.12.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서우현 대한민국 경북 구미시
2 송경환 대한민국 경북 구미시
3 김건 대한민국 경북 구미시
4 황돈하 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2005-0743933-19
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0687533-48
3 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2007.01.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0051208-18
4 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2007.02.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0152400-70
5 의견서
Written Opinion
2007.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0152386-17
6 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2007.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0351356-62
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.08.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2007-0609342-16
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.08.23 수리 (Accepted) 1-1-2007-0609332-59
9 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0628623-20
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0688091-72
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2008.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2008-0013448-13
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2008.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0013447-78
13 등록결정서
Decision to grant
2008.05.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0282591-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼를 안착하여 지지하기 위한 웨이퍼 지지대에 있어서, 웨이퍼의 중앙부에서의 열흐름을 원활하게 하기 위해 중앙부에 비어있는 공간이 마련되어 상기 웨이퍼의 중앙부와 에지부 사이의 열적 편차를 최소화할 수 있는 도넛 타입의 구조를 갖고, 상기 웨이퍼의 하중을 지지하기 위한 지지부를 적어도 구비하며, 상기 지지부는 상기 웨이퍼의 중앙부와 에지부 사이 영역과 접촉하는 제1 돌출부(110)로 이루어져 있고, 상기 제1 돌출부로부터 에지부 방향으로 소정 거리 이격된 부분에 제2 돌출부(120)가 더 구비되어 있으며, 상기 제2 돌출부는 상기 제1 돌출부보다 돌출된 높이가 작은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 지지대
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 돌출부는 상부 모서리 부분이 모따기 되어 라운드(Round)진 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 지지대
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 2∼4㎝의 간격으로 이격되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 지지대
8 8
제1항에 있어서, 상기 제1 돌출부와 상기 제2 돌출부는 0
9 9
제1항에 있어서, 상기 제1 돌출부는 2∼10㎜의 폭을 갖도록 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 지지대
10 10
제1항에 있어서, 상기 제2 돌출부는 2∼5㎜의 폭을 갖도록 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 지지대
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.