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액정표시소자의 진공장치

  • 기술번호 : KST2015041413
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요약 본 발명에 따른 액정표시소자의 진공장치는 신속한 공정을 위한 것으로, 기판이 투입되어 공정이 진행되는 복수의 공정챔버와, 상기 공정챔버 사이에 설치되어 기판을 공정챔버로 공급하는 이송챔버와, 상기 이송챔버의 전단에 설치되어 외부로부터 로딩된 기판을 진공상태에서 이송챔버로 공급하는 로드락과, 상기 외부로부터 로드락에 기판을 이송하는 컨베이어로 구성된다.진공장치, 액정표시소자, 공정챔버, 이송챔버, 로드락, 컨베이어
Int. CL G02F 1/1339 (2006.01) H01L 21/68 (2006.01)
CPC H01L 21/67201(2013.01) H01L 21/67201(2013.01) H01L 21/67201(2013.01) H01L 21/67201(2013.01)
출원번호/일자 1020050134600 (2005.12.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1289063-0000 (2013.07.10)
공개번호/일자 10-2007-0071282 (2007.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130722) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.29)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허정철 대한민국 경기도 파주시 후곡로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2005-0781170-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2010-0873673-76
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0518041-75
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0894571-23
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0894583-71
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0208207-54
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0468485-14
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0468493-79
13 등록결정서
Decision to grant
2013.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0447438-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 투입되어 공정이 진행되는 복수의 공정챔버;상기 공정챔버 사이에 설치되어 기판을 공정챔버로 공급하는 이송챔버;상기 이송챔버의 전단에 설치되어 외부로부터 로딩된 기판을 진공상태에서 이송챔버로 공급하는 로드락;로드락에 설치된 로드락 컨베이어; 및상기 로드락의 입구 및 출구에 각각 설치되어 상기 로드락 컨베이어와 연결되는 제1컨베이어 및 제2컨베이어로 구성되며,상기 로드락 컨베이어는 복수의 층으로 이루어지고 복수의 로드락 컨베이어 각각에는 가이드바가 설치되어 해당 로드락 컨베이어를 상승 및 하강시키는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 진공장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 복수의 로드락 컨베이어에는 각각 기판이 공급되어 공정챔버에 기판을 연속 투입하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 진공장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 제1컨베이어 및 제2컨베이어는 각각 이전 공정라인 및 이후의 공정라인으로 연장된 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 진공장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 제1컨베이어 및 제2컨베이어는 이전의 공정라인과 이후의 공정라인으로 연결되어 제조라인을 인라인화시키는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 진공장치
9 9
제1항에 있어서, 상기 기판은 구동소자 어레인기판 및 컬러필터기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시소자의 진공장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.