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유기 전계발광소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015041432
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요약 본 발명은 반도체층 형성시 커패시터 하부전극을 동시에 형성하여 마스크를 사용횟수를 줄임으로써 제조원가를 절감하고 공정 시간을 줄이고자 하는 유기 전계발광소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기 유기 전계발광소자는 기판 상에 형성되어 소스/드레인 영역을 포함하는 반도체층과, 상기 반도체층과 일체형으로 동일층에 구비되는 커패시터 하부전극과, 상기 반도체층 및 커패시터 하부전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과, 상기 반도체층 및 커패시터 하부전극 상부의 게이트 절연막 상에 각각 형성되는 게이트 전극 및 커패시터 상부전극과, 상기 게이트 전극에 절연되어 상기 소스/드레인 영역에 콘택되는 소스/드레인 전극과, 상기 소스/드레인 전극에 절연되어 상기 드레인 전극에 콘택되는 제 1 전극과, 상기 제 1 전극에 형성된 정공수송층, 유기발광층 및 전자수송층과, 상기 유기발광층 상부에 형성되는 제 2 전극을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 유기 전계발광소자, 노광마스크
Int. CL H05B 33/10 (2006.01) H05B 33/00 (2006.01)
CPC H01L 51/5203(2013.01) H01L 51/5203(2013.01) H01L 51/5203(2013.01) H01L 51/5203(2013.01) H01L 51/5203(2013.01)
출원번호/일자 1020050134993 (2005.12.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1212153-0000 (2012.12.07)
공개번호/일자 10-2007-0071490 (2007.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20121213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.21)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍순광 대한민국 대구광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0782910-28
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2010-0842960-59
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.09.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.10.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0084641-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0254280-55
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.06.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0509000-56
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0509001-02
12 등록결정서
Decision to grant
2012.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0702317-98
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 형성되어 소스/드레인 영역을 포함하는 반도체층과,상기 반도체층과 일체형으로 동일층에 형성되는 커패시터 하부전극과,상기 반도체층 및 커패시터 하부전극을 포함한 전면에 형성된 게이트 절연막과,상기 반도체층 및 커패시터 하부전극 상부의 게이트 절연막 상에 각각 형성되는 게이트 전극 및 커패시터 상부전극과,상기 게이트 전극에 절연되어 상기 소스/드레인 영역에 콘택되는 소스/드레인 전극과,상기 소스/드레인 전극과 동일층에 형성된 패드전극과,상기 드레인 전극에 콘택되는 제 1 전극과,상기 제 1 전극과 동일층에 형성되어 상기 패드전극을 커버하는 산화방지막과,상기 제 1 전극 상에 형성된 정공수송층, 유기발광층 및 전자수송층과,상기 전자수송층 상부에 형성되는 제 2 전극을 구비하고,상기 제 1 전극 및 상기 산화방지막은 반사특성을 갖는 금속층과, 상기 금속층 상에 형성된 ITO(Indium Tin Oxide)층을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 소스/드레인 영역은 p형 또는 n형 소스/드레인 영역인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 커패시터 하부전극은 상기 반도체층의 연장부에 스토리지 도핑하여 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 반도체층, 게이트 절연막, 게이트 전극, 소스/드레인 전극은 스위칭 박막트랜지스터이거나 또는 구동 박막트랜지스터인 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자
5 5
기판 상에 서로 일체형인 반도체층 및 커패시터 하부전극을 형성하는 단계와,상기 커패시터 하부전극을 스토리지 도핑하는 단계와,상기 반도체층을 포함한 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와,상기 게이트 절연막 상에 게이트 배선, 게이트 전극 및 커패시터 상부전극을 형성하는 단계와,상기 게이트 전극을 마스크로 하여 상기 반도체층에 불순물을 주입하여 소스/드레인 영역을 형성하는 단계와,상기 게이트 배선에 교차하는 데이터 배선과, 상기 게이트 전극과 절연되고 상기 소스/드레인 영역에 콘택되는 소스/드레인 전극과, 패드전극을 형성하는 단계와,상기 드레인 전극에 콘택되는 제 1 전극과, 상기 패드전극을 커버하는 산화방지막을 형성하는 단계와,상기 제 1 전극 상에 정공수송층, 유기발광층 및 전자수송층을 형성하는 단계와,상기 전자수송층 상에 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 제 1 전극 및 상기 산화방지막은 반사특성을 갖는 금속층과, 상기 금속층 상에 형성된 ITO(Indium Tin Oxide)층을 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 반도체층을 다결정 실리콘으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 커패시터 하부전극은 상기 반도체층을 연장하여 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 반도체층에 불순물을 주입하여 소스/드레인 영역을 형성하는 단계에서,n형 불순물을 주입하거나 또는 p형 불순물을 주입하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법
9 9
제 5 항에 있어서, 상기 게이트 절연막은 산화막 또는 질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계발광소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.