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공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버

  • 기술번호 : KST2015041555
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 공정실의 커버를 진공 흡착식으로 장착하여 커버의 처짐을 방지하고 간단한 탈장착이 가능하도록 하기 위한 것으로, 몸체의 배면에 둘레를 따라 서로 이격되게 형성되어 공정실의 프레임과 밀착되는 두 개의 오링(O-ring)과, 몸체에 두 개의 오링 사이로 관통 형성된 관통홀, 관통홀의 상부면에 수직으로 형성되어 삽입 공간을 가지며 내측면에 돌출부재가 일체로 형성된 수직면, 수직면 내에 삽입되고 상기 돌출 부재에 의해 제한되는 고무 마개, 및 고무 마개가 삽입된 수직면의 외측을 덮고, 상면에 공기의 유입 및 유출이 가능한 공기 구멍이 형성된 진공 덮개를 포함하되, 진공 흡착이 되면 진공 덮개가 수직면을 완전히 덮어 고무 마개가 공기 구멍을 막게 되어 진공 상태로 유지되고, 진공 덮개를 열면 고무 마개가 공기 구멍으로부터 이탈되어 공기 구멍을 통해 내부의 공기가 유출되어 진공 상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버를 제공한다. 공정실, 커버, 오링(O-ring), 진공 흡착
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/67155(2013.01) H01L 21/67155(2013.01) H01L 21/67155(2013.01)
출원번호/일자 1020050135121 (2005.12.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1174288-0000 (2012.08.07)
공개번호/일자 10-2007-0071565 (2007.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20120814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.22)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정현용 대한민국 경상북도 칠곡군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0783541-52
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0709539-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0849194-00
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.08.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.09.20 수리 (Accepted) 9-1-2011-0076631-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0625461-80
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-1035415-49
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2011-1035414-04
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
13 등록결정서
Decision to grant
2012.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0281502-29
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번호 청구항
1 1
몸체의 배면에 둘레를 따라 서로 이격되게 형성되어 공정실의 프레임과 밀착되는 두 개의 오링(O-ring);상기 몸체에 상기 두 개의 오링 사이로 관통 형성된 관통홀;상기 관통홀의 상부면에 수직으로 형성되어 삽입 공간을 가지며 내측면에 돌출부재가 일체로 형성된 수직면; 상기 수직면 내에 삽입되고 상기 돌출 부재에 의해 제한되는 고무 마개; 및상기 고무 마개가 삽입된 상기 수직면의 외측을 덮고, 상면에 공기의 유입 및 유출이 가능한 공기 구멍이 형성된 진공 덮개를 포함하되, 진공 흡착이 되면 상기 진공 덮개가 상기 수직면을 완전히 덮어 상기 고무 마개가 상기 공기 구멍을 막게 되어 진공 상태로 유지되고,상기 진공 덮개를 열면 상기 고무 마개가 상기 공기 구멍으로부터 이탈되어 상기 공기 구멍을 통해 내부의 공기가 유출되어 진공 상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
2 2
제1항에 있어서, 상기 진공 덮개의 외측면에 탈착 가능하게 구비되어 상기 공기 구멍을 통한 공기 흡입으로 상기 두 개의 오링 사이를 진공 상태로 흡착시키는 호스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
3 3
제1항에 있어서, 상기 관통홀은 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
4 4
제1항에 있어서, 상기 관통홀은 상기 두개의 오링 사이의 간격보다 작은 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
5 5
제1항에 있어서, 상기 수직면은 외측면에 수나사부가 형성된 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
6 6
제1항 또는 제5항에 있어서, 상기 진공 덮개는 내측면에 암나사부가 형성된 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
7 7
제1항에 있어서, 상기 돌출 부재는 하부로 갈수록 내경이 작아지는 원추 모양으로 형성된 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
8 8
제1항에 있어서, 상기 고무 마개는 구 형상으로 직경이 상기 수직면의 내경보다는 작고 상기 돌출 부재보다는 크게 구비된 것을 특징으로 하는 공정실의 진공 흡착식 밀폐용 커버
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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