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액정표시장치 제조용 진공 건조장치

  • 기술번호 : KST2015041620
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요약 본 발명은 액정표시장치 제조용 진공 건조장치에 관한 것으로, 기판의 전부분에서 솔벤트 휘발이 균일하게 이루어질 수 있도록 한 것이다.이를 위한 본 발명은, 기판의 표면에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버와; 상기 챔버의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서포터와; 상기 챔버의 하부에 연통되는 하부 배기라인과; 상기 챔버의 내벽면을 따라 형성되며, 상기 하부 배기라인과 연통되는 진공라인과; 상기 챔버 내측 공간과 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 상부 배기라인과; 상기 하부 배기라인을 통해 흡입력을 발생시키는 감압수단을 포함하여 구성된 액정표시장치 제조용 진공 건조장치를 제공한다.액정표시장치, 건조장치, 솔벤트, 상부 배기라인, 하부 배기라인
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/168(2013.01) G03F 7/168(2013.01) G03F 7/168(2013.01)
출원번호/일자 1020050135759 (2005.12.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1201326-0000 (2012.11.08)
공개번호/일자 10-2007-0071914 (2007.07.04) 문서열기
공고번호/일자 (20121114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.12.24)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서진우 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 허정철 대한민국 경기도 파주시 후곡로 **,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 심창섭 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 **, 현대빌딩 *층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2005-0785606-78
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2010.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2010-0855483-86
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.01.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0006295-34
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0178491-74
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.03.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0178490-28
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0456489-72
11 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.09.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2012-0043866-55
12 등록결정서
Decision to grant
2012.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0646873-58
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번호 청구항
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하부챔버 및 상기 하부챔버의 상부에 분리가능하게 결합되는 상부 챔버를 포함하여 구성됨으로써 기판의 표면에 포토레지스트 도포 작업이 이루어지는 챔버와;상기 챔버의 내부에 설치되며 기판이 안착되는 서포터와;상기 챔버의 하부에 연통되는 복수의 하부 배기라인과;상기 챔버의 내벽면을 따라 형성되며, 상기 복수의 하부 배기라인과 연통되는 진공라인과; 상기 챔버 내측 공간과 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 복수의 상부 배기라인과;상기 복수의 하부 배기라인을 통해 흡입력을 발생시키는 감압수단을 포함하여 구성되며, 상기 진공라인은 상기 챔버의 내벽면과 상기 챔버의 내벽면에 이격되도록 설치된 핫 플레이트의 외벽면 간 간격에 의해 형성되며, 상기 복수의 상부 배기라인은 상기 핫 플레이트의 상부면을 관통하도록 형성되어 상기 기판이 안착되어 있는 핫 플레이트의 내부 공간과 상기 핫 플레이트의 외부인 상기 진공라인의 상부를 상호 연통시키는 것을 특징으로 하는 액정표시장치 제조용 진공 건조장치
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