맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

마스크리스 노광기의 정렬장치

  • 기술번호 : KST2015041986
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마스크리스 노광기의 정렬장치에 관한 것이다. 본 발명은 광원(50)에서 나온 빔을 디이엠디이(60)에서 선택적으로 반사하여 패널(42)에 노광하는 마스크리스 노광기에 있어서, 상기 디이엠디이(60)에서 반사되어 패널(42)로 전달되는 빔(51)의 경로 상에 설치되어 상기 디이엠디이(60)에서 반사되어온 빔(51)을 패널(42)쪽으로 투과하고 패널(42)에서 반사되어온 빔(51)을 반사하는 빔스플리터(70)와, 상기 빔스플리터(70)에 의해 상기 패널(42)에서 반사되어온 빔(51)을 전달받아 화상데이터를 획득하는 감지카메라(72)를 포함하여 구성되고, 상기 광원(50)에서 나온 빔(51)이 상기 패널(42)의 정렬마크(45)에 조사되는 것을 감지카메라(72)가 검출한다. 상기 빔스플리터(70)는 얇은 막으로 된 펠리클 빔스플리터(Pellicle Beamsplitter)이다.노광기, 마스크리스, 정렬, 펠리클 빔스플리터
Int. CL G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01) G03F 7/70258(2013.01)
출원번호/일자 1020060010255 (2006.02.02)
출원인 엘지전자 주식회사
등록번호/일자 10-1273800-0000 (2013.06.04)
공개번호/일자 10-2007-0079510 (2007.08.07) 문서열기
공고번호/일자 (20130611) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.01.27)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김명관 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인우린 대한민국 서울특별시 강남구 도곡로 ***, *층 (역삼동, 정호빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지전자 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2006-0080426-00
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.08.08 수리 (Accepted) 4-1-2008-5128387-76
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.04.27 수리 (Accepted) 4-1-2009-5080835-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2009-0023850-26
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.01.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0068358-73
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.01.19 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0013583-50
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0559030-78
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.11.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0928612-49
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.11.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0928613-95
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.03.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0191822-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5068349-97
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2020-5118228-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광원에서 나온 빔을 디이엠디이에서 선택적으로 반사하여 패널에 노광하는 마스크리스 노광기에 있어서,상기 디이엠디이에서 반사되어 패널로 전달되는 빔의 경로 상에 설치되어 상기 디이엠디이에서 반사되어온 빔을 패널쪽으로 투과하고 패널에서 반사되어온 빔을 반사하는 빔스플리터와,상기 빔스플리터에 의해 상기 패널에서 반사되어온 빔을 전달받아 화상데이터를 획득하는 감지카메라를 포함하여 구성되고,상기 광원에서 나온 빔이 상기 패널의 정렬마크에 조사되는 것을 감지카메라가 검출함을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 빔스플리터는 펠리클 빔스플리터(Pellicle Beamsplitter)임을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 감지카메라에서 획득한 화상데이터를 표시하는 모니터가 더 구비됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 빔스플리터는 상기 디이엠디이에서 나온 광을 패널에 집광시키는 제2광학계의 프로젝션렌즈를 통과한 위치에 설치됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 빔스플리터와 감지카메라는 하나의 조립체로 구성되어 상기 프로젝션렌즈를 통과한 위치에 설치됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
6 6
광원과,상기 광원에서 나온 빔을 선택적으로 반사하는 디이엠디이와,상기 디이엠디이에서 반사되어 패널에 조사되는 빔의 경로 상에서 상기 패널의 직전 위치에 설치되어 상기 디이엠디이에서 반사되어온 빔을 패널쪽으로 투과하고 패널에서 반사되어온 빔을 반사하는 빔스플리터와,상기 빔스플리터에 의해 반사되어온 빔을 전달받아 화상데이터를 획득하는 감지카메라를 포함하여 구성되고,상기 광원에서 나온 빔이 상기 패널의 정렬마크에 조사되는 것을 감지카메라가 검출함을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 광원과 디이엠디이의 사이, 상기 디이엠디이와 빔스플리터의 사이에는 제1 및 제2 광학계가 더 구비되어 상기 정렬마크의 검출에 필요한 빔을 전달함을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 빔스플리터는 펠리클 빔스플리터(Pellicle Beamsplitter)임을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 감지카메라에서 획득한 화상데이터를 표시하는 모니터가 더 구비됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
10 10
제 6 항 내지 제 9 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 빔스플리터와 감지카메라는 하나의 조립체로 구성되어 상기 패널에 조사되는 빔의 경로 상에서 상기 패널의 직전 위치에 설치됨을 특징으로 하는 마스크리스 노광기의 정렬장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.