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반응관을 반응기 셸이 에워싸는 구조가 되도록 반응관을 반응기 셸 내부에 수직으로 배치하여, 상기 반응관의 내부공간이 실리콘입자 층이 형성되고 실리콘석출반응이 일어나는 내부영역으로 정해지는 동시에 상기 반응관과 반응기 셸 사이의 공간이 실리콘입자 층이 형성되지 않고 실리콘석출반응이 일어나지 않는 외부영역으로 정해지는 유동층 반응기를 구비하는 단계와;내부압력 제어수단에 의하여 상기 내부영역에서의 압력을 직, 간접적으로 측정 및/또는 조절하는 과정과, 외부압력 제어수단에 의하여 상기 외부영역에서의 압력을 직, 간접적으로 측정 및/또는 조절하는 과정과, 상기 내부압력 제어수단 및/또는 외부압력 제어수단에 의하여 측정된 상기 외부영역에서의 압력과 상기 내부영역에서의 압력의 차이를 조절할 수 있는 압력차조절수단을 이용하여 상기 외부영역에서의 압력과 상기 내부영역에서의 압력의 차이를 1 bar 이하로 유지시키는 단계와;유동가스 주입수단에 의하여 상기 반응관내의 실리콘입자 층에 유동가스를 공급하는 단계와;반응가스 주입수단에 의하여 상기 실리콘입자 층에 실리콘원소를 함유하는 반응가스를 공급하는 단계와;상기 외부영역에 불활성가스를 공급하여 외부영역을 불활성가스 분위기로 유지시키는 단계와;상기 내부영역 및/또는 상기 외부영역에 설치되는 상기 가열기에 의하여 상기 실리콘입자 층이 가열되는 단계와;상기 반응관의 내부영역에서 제조된 다결정실리콘 입자를 내부영역으로부터 상기 유동층반응기 외부로 배출하는 단계와;상기 실리콘입자 층을 통과하는 유동가스, 미반응 반응가스, 반응 생성물 가스를 포함하는 배출가스를 상기 반응기 외부로 배출하는 단계를 포함하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 반응가스는 실리콘원소를 함유하는 모노실란, 이염화실란, 삼염화실란, 사염화실란 가운데에서 선택된 하나 또는 두 가지 이상이 혼합된 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 2에 있어서, 상기 반응가스는 수소, 질소, 아르곤, 헬륨, 염화수소 가운데서 선택된 하나 또는 두 가지 이상의 가스성분을 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 유동가스는 수소, 질소, 아르곤, 헬륨, 염화수소, 사염화실란 가운데에서 선택된 하나 또는 두 가지 이상이 혼합된 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 불활성가스는 수소, 질소, 아르곤, 헬륨 중에서 선택된 1 종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 외부영역에서의 압력(Po) 또는 상기 내부영역에서의 압력(Pi)이 1∼15 bar 범위 내로 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 외부영역에서의 압력(Po)이 상기 내부영역에서 측정될 수 있는 최대의 압력값과 최저의 압력값 사이에서 유지되도록 한 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 내부압력 제어수단이 상기 유동가스 주입수단 또는 반응가스 주입수단 또는 실리콘입자배출부 또는 상기 실리콘입자 층과 공간적으로 연결되는 내부영역 연결부를 통하여 상기 반응관의 내부영역과 공간적으로 연결되는 경우에는 상기 외부영역에서의 압력(Po)과 상기 내부영역에서의 압력(Pi)의 차이를 0 bar ≤ (Pi - Po) ≤ 1 bar 범위 내로 유지시키는 제어가 이루어지는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 내부압력 제어수단이 상기 반응관내의 실리콘입자 유동층과 접촉하지 않는 상기 배출가스 연결부 또는 실리콘 종입자 주입부 또는 상기 실리콘입자 층이 형성되지 않는 상기 내부영역과 공간적으로 연결되는 내부영역 연결부를 통하여 상기 내부영역과 공간적으로 연결되는 경우에는 상기 외부영역에서의 압력(Po)과 상기 내부영역에서의 압력(Pi)의 차이를 0 bar ≤ (Po - Pi) ≤ 1 bar 범위 내로 유지시키는 제어가 이루어지는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1, 청구항 8, 청구항 9중 어느 하나의 항에 있어서,상기 내부영역에서의 압력 및/또는 상기 외부영역에서의 압력을 제어하기 위하여 상기 내부압력 제어수단 및/또는 상기 외부압력 제어수단에 포함되는 압력차조절수단의 압력제어조건을 상기 내부영역에 존재하거나 상기 내부영역으로부터 배출되는 가스 및/또는 상기 내부영역에 존재하거나 상기 내부영역으로부터 배출되는 가스의 성분분석에 기초하여 설정하는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 실리콘입자 층 내부로 투입되는 상기 반응가스 주입수단의 출구보다 낮은 위치에 상기 유동가스의 흐름에 의하여 유동되지 않는 충진물에 의한 충진층을 상기 실리콘입자 층 하부에 형성시키는 것을 특징으로 하는 유동층 반응기를 이용한 다결정실리콘 제조 방법
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