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마스크의 처짐 방지장치 및 방지방법

기술번호 : KST2015042551
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 대형 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 마스크의 처짐 방지장치 및 방지방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 마스크 처짐 방지장치는 마스크 패턴이 형성된 마스크와, 상기 마스크와 마주보도록 나란하게 설치된 실드 글라스와, 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이에 설치되는 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 마스크의 처짐에 따라 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이 공간의 압력을 조절하여 상기 마스크의 처짐을 방지하는 압력 조절장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.이러한 구성에 의하여 본 발명은 압력 조절장치를 이용하여 마스크와 실드 글라스 사이의 압력을 조절하여 마스크의 처짐을 방지할 수 있다.마스크, 처짐, 압력, 실드 글라스
Int. CL	H01L 21/027 (2006.01)
CPC	G03F 7/70783(2013.01) G03F 7/70783(2013.01) G03F 7/70783(2013.01) G03F 7/70783(2013.01)
출원번호/일자	1020060024464 (2006.03.16)
출원인	엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자	10-1264683-0000 (2013.05.09)
공개번호/일자	10-2007-0094171 (2007.09.20) 문서열기
공고번호/일자	(20130516) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2011.03.10)
심사청구항수	13

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사	대한민국	서울특별시 영등포구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	정태균	대한민국	경기도 파주시 황골로 *,

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	심창섭	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 *, 현대빌딩 층 (잠실동)(KBK특허법률사무소)
2	김용인	대한민국	서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	엘지디스플레이 주식회사		서울특별시 영등포구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서 Patent Application	2006.03.16	수리 (Accepted)	1-1-2006-0185629-45
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
4	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)	2011.03.10	수리 (Accepted)	1-1-2011-0173265-66
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2011.11.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
7	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2011.12.15	수리 (Accepted)	9-1-2011-0095201-01
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
9	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2012.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0316565-05
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2012.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2012-0607846-20
11	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2012.07.30	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0607845-85
12	최후의견제출통지서 Notification of reason for final refusal	2012.11.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0721604-87
13	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.01.28	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2013-0078526-06
14	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.01.28	수리 (Accepted)	1-1-2013-0078527-41
15	등록결정서 Decision to grant	2013.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0282824-28

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 마스크 패턴이 형성된 마스크와,상기 마스크와 마주보도록 나란하게 설치된 실드 글라스와,상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이에 설치되는 마스크 홀더와,상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 마스크의 처짐에 따라 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이 공간의 압력을 조절하여 상기 마스크의 처짐을 방지하는 압력 조절장치를 구비하고,상기 압력 조절장치는 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이의 상기 공간에 차가운 공기를 분사하는 복수의 분사노즐을 구비하고,상기 복수의 분사노즐 각각은 상기 차가운 공기의 분사각도를 조절할 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
2	2 제 1 항에 있어서,상기 마스크 홀더는,상기 실드 글라스를 지지하기 위한 상부 지지부와,상기 마스크를 지지하기 위한 하부 지지부와,상기 상부 지지부와 상기 하부 지지부 사이에 연결되어 상기 실드 글라스와 상기 마스크 사이에 상기 공간을 마련하는 측면 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
3	3 제 1 항에 있어서,상기 마스크 홀더는,상기 실드 글라스와 상기 마스크 사이에 상기 공간을 마련함과 아울러 상기 실드 글라스를 지지하는 측면 지지부와,상기 측면 지지부로부터 수직하게 절곡되어 상기 마스크를 지지하기 위한 하부 지지부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
4	4 제 1 항에 있어서,상기 마스크 홀더는,상기 실드 글라스와 상기 마스크 사이에 상기 공간을 마련하고 상기 실드 글라스를 지지함과 아울러 상기 마스크를 지지하는 측면 지지부와,상기 측면 지지부로부터 돌출되어 상기 실드 글라스의 측면을 감싸는 돌출부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
5	5 삭제
6	6 제 1 항에 있어서,상기 복수의 분사노즐 각각은 상기 마스크의 중심부 쪽으로 상기 차가운 공기를 분사하는 것을 특징으로 하는 마스크 처짐 방지장치
7	7 제 2 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 복수의 분사노즐 각각은 상기 측면 지지부의 내벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
8	8 삭제
9	9 제 1 항에 있어서,상기 차가운 공기는 0 ~ 20℃ 범위인 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
10	10 제 1 항에 있어서,상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 마스크의 처짐을 감지하는 마스크 처짐 감지부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
11	11 제 10 항에 있어서,상기 마스크 처짐 감지부는,상기 마스크 홀더의 일측 외측면에 설치되어 마스크 처짐 감지용 광을 발생하는 발광부와,상기 마스크 홀더의 타측 외측면에 설치되어 상기 마스크 처짐 감지용 광을 수광하여 상기 마스크 처짐에 대응되는 감지신호를 발생하는 수광부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
12	12 제 11 항에 있어서,상기 발광부는 비감광성 광원인 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지장치
13	13 마스크 패턴이 형성된 마스크와, 마스크 홀더를 사이에 두고 상기 마스크와 마주보도록 실드 마스크를 설치하는 단계와,상기 마스크의 처짐에 따라 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이 공간의 압력을 조절하여 상기 마스크의 처짐을 방지하는 단계를 포함하고,상기 마스크의 처짐을 방지하는 단계는 복수의 분사노즐을 이용하여 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이의 상기 공간에 차가운 공기를 분사하는 단계를 포함하고,상기 차가운 공기를 분사하는 상기 복수의 분사노즐 각각의 분사각도는 조절 가능한 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지방법
14	14 삭제
15	15 삭제
16	16 삭제
17	17 제 13 항에 있어서,상기 마스크의 처짐을 감지하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지방법
18	18 제 17 항에 있어서,상기 마스크의 처짐을 감지하는 단계는,상기 마스크 홀더의 일측 외측면에 설치된 발광부를 이용하여 마스크 처짐 감지용 광을 발생하는 단계와,상기 마스크 홀더의 타측 외측면에 설치된 수광부를 이용하여 상기 마스크 처짐 감지용 광을 수광하여 상기 마스크 처짐에 대응되는 감지신호를 발생하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크의 처짐 방지방법
19	19 삭제

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1264683-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20060316 출원 번호 : 1020060024464 공고 연월일 : 20130516 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130425 청구범위의 항수 : 13 유별 : H01L 21/027 발명의 명칭 : 마스크의 처짐 방지장치 및 방지방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	552,000 원	2013년 05월 10일	납입
제 4 년분	금 액	326,000 원	2016년 04월 28일	납입
제 5 년분	금 액	326,000 원	2017년 04월 13일	납입
제 6 년분	금 액	326,000 원	2018년 04월 16일	납입
제 7 년분	금 액	594,000 원	2019년 04월 17일	납입
제 8 년분	금 액	594,000 원	2020년 04월 22일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	특허출원서	2006.03.16	수리 (Accepted)	1-1-2006-0185629-45
2	출원인정보변경(경정)신고서	2008.04.18	수리 (Accepted)	4-1-2008-5061241-15
3	출원인정보변경(경정)신고서	2010.12.21	수리 (Accepted)	4-1-2010-5241074-12
4	[심사청구]심사청구(우선심사신청)서	2011.03.10	수리 (Accepted)	1-1-2011-0173265-66
5	출원인정보변경(경정)신고서	2011.10.04	수리 (Accepted)	4-1-2011-5199065-15
6	선행기술조사의뢰서	2011.11.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
7	선행기술조사보고서	2011.12.15	수리 (Accepted)	9-1-2011-0095201-01
8	출원인정보변경(경정)신고서	2011.12.29	수리 (Accepted)	4-1-2011-5262372-95
9	의견제출통지서	2012.05.31	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0316565-05
10	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2012.07.30	수리 (Accepted)	1-1-2012-0607846-20
11	[명세서등 보정]보정서	2012.07.30	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2012-0607845-85
12	최후의견제출통지서	2012.11.27	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2012-0721604-87
13	[명세서등 보정]보정서	2013.01.28	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2013-0078526-06
14	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.01.28	수리 (Accepted)	1-1-2013-0078527-41
15	등록결정서	2013.04.25	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0282824-28


기술번호	KST2015042551
자료제공기관	NTB
기술공급기관	LG그룹
기술명	마스크의 처짐 방지장치 및 방지방법
기술개요	본 발명은 대형 마스크의 처짐을 방지할 수 있도록 한 마스크의 처짐 방지장치 및 방지방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 마스크 처짐 방지장치는 마스크 패턴이 형성된 마스크와, 상기 마스크와 마주보도록 나란하게 설치된 실드 글라스와, 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이에 설치되는 마스크 홀더와, 상기 마스크 홀더에 설치되어 상기 마스크의 처짐에 따라 상기 마스크와 상기 실드 글라스 사이 공간의 압력을 조절하여 상기 마스크의 처짐을 방지하는 압력 조절장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.이러한 구성에 의하여 본 발명은 압력 조절장치를 이용하여 마스크와 실드 글라스 사이의 압력을 조절하여 마스크의 처짐을 방지할 수 있다.마스크, 처짐, 압력, 실드 글라스
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항

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