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투명기판;상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부; 상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부;상기 투명기판 상에 조사되는 소정 파장대의 광을 서로 다른 광투과율로 통과시키는 적어도 두개 이상의 반투과부를 포함하여 이루어지되,상기 반투과부는 반투과물질막을 적층하여 적층형반투과부로 형성되는 것을 특징 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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투명기판;상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 투과시키는 광투과부; 상기 투명기판 상에 형성되어 조사되는 소정 파장대의 광을 차단시키는 광차단부;상기 투명기판 상에 조사되는 소정 파장대의 광을 서로 다른 광투과율로 통과시키는 적어도 두개 이상의 반투과부를 포함하여 이루어지되,상기 반투과부는 슬릿형 반투과부로 구성되며, 상기 슬릿형 반투과부는 상기 광차단부의 소정 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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청구항 3에 있어서,상기 반투과부는 상기 슬릿형 반투과부와 반투과물질막을 적층한 적층형 반투과부의 조합으로 이루어지되, 상기 슬릿형 반투과부는 상기 적층형 반투과부의 소정 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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청구항 1에 있어서,상기 적층형 반투과부의 광투과율은 반투과 물질막의 조성을 달리하거나, 두께를 달리하여 조정되는 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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청구항 5에 있어서,상기 반투과 물질막은 Cr, Si, Mo, Ta, Ti, Al을 주원소로 하여, 상기 주원소 물질 또는 상기 주원소들 중 적어도 두개 이상이 혼합된 복합 물질이거나, 상기 주원소 또는 복합물질에 C0x, Ox, Nx 중 적어도 하나가 첨가된 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 슬릿형 반투과부의 광투과율은 슬릿의 폭과 높이를 변경하여 조정되는 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크
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투명기판 상에 차광물질막과 제1 포토레지스트를 순차적으로 형성한 후, 노광 및 현상 공정으로 상기 제1 포토레지스트에 적어도 하나의 슬릿 공간부를 형성하는 단계;상기 현상 공정에 의하여 노출된 상기 차광물질막을 에칭한 후, 상기 제1 포토레지스트를 제거하여 광차단부, 광투과부 및 슬릿형 반투과부를 형성하는 단계;상기 광투과부 상에 반투과 물질을 적층하여 상기 슬릿형 반투과부와 다른 광투과율을 가지는 적어도 하나의 적층형 반투과부를 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크의 제조방법
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투명기판 상에 차광물질막과 제 1 포토레지스트를 순차적으로 형성하고, 노광 →현상→에칭공정으로 상기 차광물질막에 광이 투과하는 광투과부와 광을 차단하는 광차단부를 형성하는 단계;상기 광투과부 상에 소정 파장대의 광의 일부만을 투과시키는 반투과 물질을 적층하여 적어도 하나의 적층형 반투과부를 형성하는 단계;상기 적층형 반투과부와 광차단부 중 적어도 하나에 상기 적층형 반투과부와 광투과율이 다른 슬릿형 반투과부를 적어도 하나 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 다중 반투과부를 구비한 하프톤 마스크의 제조방법
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