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RPM의 조절이 가능한 회전모터;상기 회전모터에 의해 구동되는 회전부재;상기 회전부재와 연결되며, 그 첨점이 반구형의 형상으로 구성되는 모 재질의 연마패드;로 구성되는 것을 특징으로 하는 리페어 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 회전부재와 상기 연마패드를 내부에 장착하는 외부 하우징을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어장치
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청구항 2에 있어서,상기 회전부재는 상기 하우징 내부에 원통형의 회전몸체로 구성되고, 그 일단에 연마패드가 장착가능한 장착부를 구비하는 것을 특징으로 하는 리페어 장치
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청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,연마재를 분사시킬 수 있는 분사장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어 장치
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청구항 6에 있어서,상기 분사장치는 하우징의 내벽을 따라 연마재 공급로가 형성되고, 상기 연마패드 측단에서 연마 약액의 분사가 가능한 분사노즐을 형성하는 구조를 가지를 것을 특징으로 하는 리페어 장치
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8
RPM의 조절이 가능한 회전모터와 상기 회전모터에 의해 구동되는 회전부재,상기 회전부재와 연결되며, 그 첨점이 반구형의 형상으로 구성되는 모재질의 연마패드로 구성되는 리페어장치를 이용하여,1) 배면상의 국부적인 스크래치 부위를 포착하는 단계;2) 상기 연마 패드를 스크래치 부위에 수직으로 접촉하여 배면 스크래치 부분을 라운딩 된 형태로 연마하는 단계;3) 연마 후 연마부위를 보정하는 단계; 로 구성되는 것을 특징으로 하는 국부적인 배면 리페어 방법
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9
청구항 8에 있어서,상기 2) 단계와 동시에 분사장치를 이용하여 연마재를 지속적으로 분사하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 국부적인 배면 리페어 방법
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10
청구항 8에 있어서,상기 2) 단계는 연마부위의 Rz 값이 10nm 이상 200nm 이하가 되도록 연마하는 것을 특징으로 하는 국부적인 배면 리페어 방법
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11
RPM의 조절이 가능한 회전모터와 상기 회전모터에 의해 구동되는 회전부재,상기 회전부재와 연결되며, 그 첨점이 반구형의 형상으로 구성되는 모재질의 연마패드로 구성되는 리페어장치를 이용하여,배면상의 국부적인 스크래치 부위를 포착하고, 상기 연마 패드를 스크래치 부위에 수직으로 접촉하여 배면 스크래치 부분을 라운딩 된 형태로 연마하여, 연마 부위의 Rz값이 10nm 이상 200nm 이하인 것을 특징으로 하는 포토마스크
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