맞춤기술찾기

이전대상기술

평판 표시장치용 기판의 열처리 장치

  • 기술번호 : KST2015043464
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 외부로부터 투입되는 기판을 소정 온도로 예열하는 장입부; 장입부에서 이송되는 기판을 소정 온도로 가열하는 가열부; 가열부에서 이송되는 기판을 내부에 마련된 열처리 공간에서 열처리하며, 열처리 공간에서 적어도 1개의 온도 측정기를 사용하여 열처리 공간의 온도를 측정하는 공정부; 공정부에서 이송되는 기판을 소정 온도까지 냉각시키는 냉각부; 및 냉각부에서 이송되는 기판을 외부로 배출하는 배출부를 포함하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치를 제공한다.폴리실리콘 박막, 파이로미터, 열전대, 열처리, 램프, 열화
Int. CL H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1020060054142 (2006.06.16)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1298295-0000 (2013.08.13)
공개번호/일자 10-2007-0119783 (2007.12.21) 문서열기
공고번호/일자 (20130820) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.08)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 박동춘 대한민국 전라북도 익산시 배산로**길 *,

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인로얄 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로 ***, *층(서초동,서일빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0421143-38
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.10.02 수리 (Accepted) 1-1-2007-0709567-94
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0431095-86
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0023632-89
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0530581-90
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0907232-66
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2012-0907231-10
13 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0195391-31
14 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.04.24 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2013-0015963-19
15 등록결정서
Decision to grant
2013.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0412674-37
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부로부터 투입되는 기판을 소정 온도로 예열하는 장입부;상기 장입부에서 이송되는 상기 기판을 소정 온도로 가열하는 가열부;상기 가열부에서 이송되는 상기 기판을 내부에 마련된 열처리 공간에서 열처리하며, 상기 열처리 공간에서 적어도 1개의 온도 측정기를 사용하여 상기 열처리 공간의 온도를 측정하는 공정부;상기 공정부에서 이송되는 상기 기판을 소정 온도까지 냉각시키는 냉각부; 및상기 냉각부에서 이송되는 상기 기판을 외부로 배출하는 배출부를 포함하고, 상기 온도 측정기는 상기 기판을 가열하는 램프에 인접하여 형성되고, 상기 온도 측정기는 열전대(thermocouple)이고, 상기 열전대는, 2개의 서로 다른 금속 재질로 형성되며 온도를 감지하기 위해 일단부가 연결되어 측온접점을 이루는 열전소선;상기 열전소선을 절연시키는 절연관; 및상기 열전소선 및 상기 절연관을 보호하는 보호관을 포함하고, 상기 측온접점은 상기 기판의 폭 방향으로 상기 기판의 상측 영역, 상기 기판의 중간 영역 및 상기 기판의 하측 영역 각각에 인접하여 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
2 2
제1 항에 있어서,상기 공정부는, 상기 열처리 공간에서 상기 열처리 공간의 상기 온도를 측정하는 적어도 1개의 온도 측정기;상기 열처리 공간을 마련하는 내부 하우징;상기 내부 하우징 외부의 상부 및 하부 각각에 형성되며 상기 기판을 유도 가열하는 자성 코아;상기 열처리 공간의 하부에 형성되며 상기 기판을 이송하는 적어도 2개의 롤러; 및상기 열처리 공간의 상부 또는 하부에 형성되며 상기 기판을 가열하는 적어도 1개의 램프를 포함하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
3 3
삭제
4 4
제2 항에 있어서,상기 온도 측정기는 상기 롤러 및 상기 램프 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제1 항에 있어서,상기 보호관은 석영 재질인 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
9 9
제1 항에 있어서,상기 외부로부터 투입되는 상기 기판은 그 표면 상에 비정질실리콘 박막이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
10 10
제9 항에 있어서,상기 공정부는 상기 비정질실리콘 박막을 고상 결정화하기 위해 상기 열처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
11 11
제1 항에 있어서,상기 공정부는 500℃ 내지 1000℃ 사이의 온도에서 상기 열처리를 수행하는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
12 12
제1 항에 있어서,상기 기판은 액정 표시장치 및 유기전계 발광소자에 사용되는 것을 특징으로 하는 평판 표시장치용 기판의 열처리 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.