| 1 |
1
글래스 기판이 적재된 카세트를 수납하는 스토커(Stocker);상기 카세트로부터 상기 글래스 기판을 언로딩하거나, 상기 글래스 기판을 상기 카세트로 로딩하는 이재 로봇;인라인 방식으로 연결된 구동 롤러를 사용하여 상기 글래스 기판이 수납된 카세트를 이동시키는 롤러 컨베이어(Roller Conveyor); 및상기 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 집진하는 집진 장치를 포함하되,상기 집진 장치는,상기 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기를 포함하고,상기 브러쉬 유닛은,상기 구동 롤러 외경에 장착되어 함께 회전하는 브러쉬;상기 브러쉬 외곽에 설치되며, 상기 브러쉬의 회전에 의해 1차로 이탈된 파티클을 집진하는 집진 덕트; 및상기 집진 덕트를 통해 집진된 파티클을 상기 흡입기로 이송하기 위한 배관을 포함하고,상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 위치감지 센서는 상기 반송 중인 카세트가 상기 집진 장치의 브러쉬에 도달하는 것을 감지하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 위치감지 센서가 상기 카세트의 도달을 감지할 경우, 상기 흡입기를 구동하고, 상기 카세트의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 집진 덕트는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 흡입기는,상기 브러쉬 유닛의 배관과 연결되어 상기 파티클을 흡입하는 흡입구;상기 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터; 및상기 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 배출구를 포함하는 카세트 반송 장비
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 흡입구 및 모터 사이에 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시키는 필터를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 필터는,상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터(Pre Filter); 및상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터(Medium Filter)를 포함하는 카세트 반송 장비
|
| 11 |
11
인라인 방식으로 연결된 구동 롤러 외경에 브러쉬를 장착하여, 글래스 기판이 적재된 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키는 브러쉬 유닛; 및상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 흡입기를 포함하되,상기 브러쉬 유닛은 롤러 컨베이어 상에 설치되며, 상기 구동 롤러와 카세트 사이의 접촉 부분에서 발생하는 파티클을 1차로 이탈시키고,상기 브러쉬 유닛은,상기 구동 롤러 외경에 장착되어 함께 회전하는 브러쉬;상기 브러쉬 외곽에 설치되어 상기 브러쉬의 회전에 의해 1차로 이탈된 파티클을 집진하는 집진 덕트; 및상기 집진 덕트를 통해 집진된 파티클을 상기 흡입기로 이송하기 위한 배관을 포함하고,상기 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 위치감지 센서를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
제11항에 있어서,상기 위치감지 센서는 상기 반송 중인 카세트가 상기 집진 장치의 브러쉬에 도달하는 것을 감지하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 16 |
16
제15항에 있어서,상기 위치감지 센서가 상기 카세트의 도달을 감지할 경우, 상기 흡입기를 구동하고, 상기 카세트의 이탈을 감지할 경우, 상기 흡입기의 구동을 중단하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 17 |
17
제11항에 있어서,상기 집진 덕트는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 18 |
18
제11항에 있어서,상기 흡입기는,상기 브러쉬 유닛의 배관과 연결되어 상기 파티클을 흡입하는 흡입구;상기 부유된 파티클이 흡입될 수 있도록 흡입력을 발생시키는 모터; 및상기 흡입된 파티클을 외부로 배출하는 배출구를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 19 |
19
제18항에 있어서,상기 흡입구 및 모터 사이에 배치되어 상기 흡입된 파티클을 여과시키는 필터를 추가로 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 20 |
20
제19항에 있어서, 상기 필터는,상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 큰 파티클을 1차로 여과하는 프리 필터; 및상기 흡입된 파티클 중 상대적으로 크기가 작은 파티클을 2차로 여과하는 중간 필터를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 장치
|
| 21 |
21
a) 인라인 방식으로 진행하는 롤러 컨베이어의 구동 롤러를 구동시키는 단계;b) 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 구동 롤러를 따라 소정 위치에 도달하는지 감지하는 단계:c) 상기 카세트가 상기 소정 위치에 도달한 경우, 집진 장치를 구동하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 집진하는 단계;d) 상기 글래스 기판이 적재된 카세트가 상기 소정 위치를 이탈하는지 감지하는 단계; 및e) 상기 카세트가 상기 소정 위치를 이탈한 경우, 상기 집진 장치의 구동을 중단하는 단계를 포함하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
| 22 |
22
제21항에 있어서,상기 c) 단계의 집진 장치는, 상기 구동 롤러 외경에 장착된 브러쉬를 사용하여 상기 카세트 하판에 부착된 파티클을 1차로 이탈시키고, 흡입기를 사용하여 상기 1차로 이탈되어 부유 중인 파티클을 집진하여 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
| 23 |
23
제22항에 있어서,상기 흡입기는 상기 카세트가 상기 소정 위치에 있는 경우에만 구동되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
| 24 |
24
제22항에 있어서,상기 집진 장치는 상기 흡입기의 흡입력에 대응하여 상기 파티클이 집진되는 개구부 크기를 조절하는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
| 25 |
25
제21항에 있어서,상기 b) 단계 및 d) 단계는 위치감지 센서를 사용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
| 26 |
26
제25항에 있어서,상기 위치감지 센서는 파티클을 집진하는 집진 덕트의 상부 덮개의 일측에 부착되며, 상기 카세트가 진입하는 입구쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 카세트 반송 장비용 집진 방법
|
