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기류조정장치

  • 기술번호 : KST2015043785
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  • 전화번호 :
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요약 그레이팅의 구조를 변경하여 부상 기류를 방지할 수 있는 기류조정장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기류조정장치는 클린룸 내에 설치되며 내부에 복수의 통기공이 구비된 그레이팅 및 상기 복수의 통기공 내부면에 형성된 슬릿을 구비한 것을 특징으로 한다. 그레이팅, 부상기류, 클린룸
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060059280 (2006.06.29)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1252881-0000 (2013.04.03)
공개번호/일자 10-2008-0001138 (2008.01.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130409) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.24)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤태웅 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2006-0466868-19
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2011-0481318-89
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0410656-34
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0696707-57
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0755818-34
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.09.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0755821-72
11 등록결정서
Decision to grant
2013.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0045813-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
클린룸 내부의 바닥에 설치되는 그레이팅;상기 그레이팅 내부에 형성된 복수의 통기공; 및상기 복수의 통기공 내부 면에 수직방향으로 비스듬히 형성된 슬릿을 구비하고,상기 그레이팅은 이물질이 포함된 공기를 흡입하고, 이물질을 클린룸 외부로 배출하는 것을 특징으로 하는 기류조정장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서,상기 통기공은 하부방향의 기류를 형성하는 것을 특징으로 하는 기류조정장치
4 4
제 1항에 있어서,상기 슬릿은 적어도 둘 이상 구비되는 것을 특징으로 하는 기류조정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.