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노광장치의 스테이지 장치

  • 기술번호 : KST2015043837
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노광시에 발생하는 기판의 패턴 불량을 개선하는 노광장치의 스테이지 장치가 개시된다. 개시된 노광장치의 스테이지 장치는 기판을 지지하는 테이블과, 테이블의 측면에 배치되어 상기 테이블의 위치를 알려주는 발광소자와, 발광소자와 대응되는 기판의 가장자리의 일부분은 오버랩되고 발광소자 및 기판의 오버랩되는 영역에는 노광공정에 의해 발광소자에 반사되어 기판으로 조사되는 빛을 차단하는 반사부재를 포함하여 이루어진다.노광장치, 얼룩현상, 반사부재
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01)
출원번호/일자 1020060060076 (2006.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1338644-0000 (2013.12.02)
공개번호/일자 10-2008-0001758 (2008.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20131206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 채영석 대한민국 충청북도 충주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0469271-87
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0485894-48
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.07.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0058832-12
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.03 수리 (Accepted) 1-1-2012-0710874-93
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0212641-06
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0439579-27
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0439580-74
13 등록결정서
Decision to grant
2013.09.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0626542-27
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 지지하는 테이블;상기 테이블의 측면에 배치되어 상기 테이블의 위치를 알려주는 발광소자;상기 발광소자와 상기 발광소자와 대응되는 기판의 가장자리의 일부분은 오버랩되고 상기 발광소자 및 기판의 오버랩되는 영역에는 노광공정에 의해 상기 발광소자에 반사되어 상기 기판으로 조사되는 빛을 차단하는 반사부재를 포함하고,상기 발광소자는 테이블의 상부에 배치된 감지 카메라에 빛을 조사하여 테이블의 위치를 알려주는 것을 특징으로 하는 노광장치의 스테이지 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 반사부재는 빛을 흡수할 수 있도록 검정색으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치의 스테이지 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 반사부재는 폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지(PET : polethylene Terephthalate Resin)로 이루어진 것을 특징으로 하는 노광장치의 스테이지 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 반사부재는 은(Ag), 알류미늄(Al) 및 구리(Cu) 중 어느 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 노광장치의 스테이지 장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 반사부재는 상기 기판의 배면과 대응되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 노광장치의 스테이지 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 발광소자는 광을 발광하는 발광 다이오드와, 상기 테이블의 측면에 발광다이오드를 고정하는 지지부를 포함하는 노광장치의 스테이지 장치
7 7
제 6 항에 있어서,상기 반사부재는 발광소자와 오버랩되는 기판의 배면 주변으로부터 지지부의 내측면으로 연장 형성된 노광장치의 스테이지 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.