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피디엠에스 블렌드, 이를 이용한 기판의 표면처리 방법,그리고 이를 이용한 박막형성 방법

  • 기술번호 : KST2015043863
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는, 기판을 친수성 영역과 소수성 영역으로 표면처리하기 위해 사용되는 몰드(mold)용 PDMS 블렌드(polydimethylsiloxane blend)로서, 메틸기(-CH3)를 포함하는 가교결합 형태의 제 1 PDMS와; 말단기에 메틸기를 갖으며 주쇄가 선형으로 이루어진 제 2 PDMS를 포함하며, 상기 제 2 PDMS는 블렌드 함량의 1 ~ 5 중량 %를 차지하는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드를 제공한다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/075 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020060057342 (2006.06.26)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1336850-0000 (2013.11.28)
공개번호/일자 10-2008-0000077 (2008.01.02) 문서열기
공고번호/일자 (20131204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.13)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박미경 대한민국 경기 안양시 동안구
2 차승환 대한민국 인천광역시 남동구
3 김진욱 대한민국 경기 의왕시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2006-0450084-12
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0443735-24
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.08.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0072769-62
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0200903-37
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.05.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0457594-24
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2013-0457593-89
12 등록결정서
Decision to grant
2013.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0596611-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 친수성 영역과 소수성 영역으로 표면처리하기 위해 사용되는 몰드(mold)용 PDMS 블렌드(polydimethylsiloxane blend)로서, 메틸기(-CH3)를 포함하는 가교결합 형태의 제 1 PDMS와; 말단기에 메틸기를 갖으며 주쇄가 선형으로 이루어진 제 2 PDMS를 포함하며, 상기 제 2 PDMS는 블렌드 함량의 1 ~ 5 중량 %를 차지하는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 PDMS는 상기 제 1 PDMS보다 낮은 표면에너지를 가지는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 메틸기는 소수성 작용기로 이용되는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드
4 4
기판을 친수성 영역과 소수성 영역으로 표면처리 하기위해 사용되는 몰드(mold)용 PDMS 블렌드(polydimethylsiloxane blend)로서, 메틸기(-CH3)를 포함하는 가교결합 형태의 제 1 PDMS(polydimethylsiloxane)와; 말단기에 메틸기를 갖으며 주쇄가 선형으로 이루어진 제 2 PDMS를 포함하며, 상기 제 2 PDMS는 블렌드 함량의 1 ~ 5 중량 %를 차지하는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드물질을 마스터 몰드(master mold)에 의해 PDMS 몰드로 형성하는 단계와; 상기 PDMS 몰드를 기판 표면에 일정시간 접촉시킨 다음, 상기 기판으로부터 떼어내는 단계와;상기 PDMS 몰드의 메틸기가 소수성 작용기로서 상기 기판과 접촉된 영역으로 전사되어, 상기 기판 상에 소수성 영역을 정의하고, 그 외 영역은 친수성 영역으로 정의하는 단계를 포함하는 기판의 표면처리 방법
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 PDMS 몰드를 상기 기판에 접촉하는 단계에서, 상기 기판을 열처리하는 단계를 더 포함하는 기판의 표면처리 방법
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 열처리 단계의 온도범위는 25도(℃) ~ 80도(℃) 범위에서 선택되는 것을 특징으로 하는 기판의 표면처리 방법
7 7
제 4 항에 있어서, 상기 기판 표면에 상기 PDMS를 접촉시키는 시간은 1분(min) ~ 20분 범위에서 선택되는 것을 특징으로 하는 기판의 표면처리 방법
8 8
제 4 항에 있어서, 상기 PDMS 몰드를 형성하는 단계에서는, 상기 PDMS 블렌드 물질을 상기 마스터 몰드에 채우는 단계와, 상기 마스터 몰드에 채워진 PDMS 블렌드 물질을 경화시키는 단계와, 상기 경화된 PDMS 블렌드 물질을 상기 마스터 몰드로부터 분리시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 표면처리 방법
9 9
기판을 친수성 영역과 소수성 영역으로 표면처리하기 위해 사용되는 몰드(mold)용 PDMS 블렌드(polydimethylsiloxane blend)로서, 메틸기(-CH3)를 포함하는 가교결합 형태의 제 1 PDMS(polydimethylsiloxane)와; 말단기에 메틸기를 갖으며 주쇄가 선형으로 이루어진 제 2 PDMS를 포함하며, 상기 제 2 PDMS는 블렌드 함량의 1 ~ 5 중량%를 차지하는 것을 특징으로 하는 PDMS 블렌드물질을 마스터 몰드(master mold)에 의해 PDMS 몰드로 형성하는 단계와; 상기 PDMS 몰드를 기판 표면에 일정시간 접촉시킨 다음, 상기 기판에서 떼어내는 단계와;상기 PDMS 몰드의 메틸기가 소수성 작용기로서 상기 기판과 접촉된 영역으로 전사되어, 상기 기판 상에 소수성 영역을 정의하고, 그 외 영역은 친수성 영역으로 정의하는 단계와; 상기 소수성 영역 및 친수성 영역을 가지는 기판 상에 용액 타입의 재료 물질을 도포하고, 상기 영역의 특성 차이로 인한 표면 반발력을 이용하여 패터닝하는 단계를 포함하는 박막 형성방법
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 용액타입의 재료 물질은, 나노파티클(nano particles), 나노와이어(nano wire), 졸-겔 타입(sol-gel type) 유기물질, 유기/무기 하이브리드(hybrid) 물질, 고분자 유기전계발광 물질 또는 유기반도체 물질인 것을 특징으로 하는 박막 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.