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기판을 제공하는 단계;상기 기판에 전극을 형성하는 단계;상기 기판상에 소수성기를 포함하는 소수성 패턴을 형성하는 단계;상기 기판상에 수용성 정공수송물질을 도포하여 상기 소수성 패턴 사이에 정공수송층을 형성하는 단계;상기 기판상에 절연층과 유기발광층을 연속 적층하는 단계; 및상기 절연층과 유기발광층을 식각하여 상기 정공수송층 보다 큰 폭으로 층간절연층을 형성하여 상기 정공수송층의 상면 및 측면을 덮도록 하고 상기 층간절연층 위에 유기발광층을 형성하는 단계로 구성된 유기발광층 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계는,절연층과 유기절연층 상에 포토레지스트를 적층하는 단계;상기 포토레지스트를 현상하여 상기 정공수송층 보다 큰 폭의 포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트패턴을 이용하여 상기 정공수송층보다 큰 폭으로 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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제1항에 있어서, 상기 소수성 패턴을 형성하는 단계, 정공수송층을 형성하는 단계, 유기발광층을 적층하는 단계 및 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계를 반복하여 적, 녹, 청색 유기발광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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제3항에 있어서, 정공수송층은 상기 층간절연층에 의해 덮여져 인접하는 유기발광층의 형성시 정공수송물질의 혼입을 차단하는 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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기판을 제공하는 단계;상기 기판에 전극과 정공수송물질을 적층하는 단계;상기 정공수송물질을 식각하여 상기 전극 위에 정공수송층을 형성하는 단계;상기 정공수송층이 형성된 전극 위에 절연층과 유기발광층을 연속 적층하는 단계;상기 절연층과 유기발광층을 식각하여 상기 정공수송층 보다 큰 폭으로 층간절연층을 형성하여 상기 정공수송층의 상면 및 측면을 덮도록 하고 상기 층간절연층 위에 유기발광층을 형성하는 단계로 구성된 유기발광층 형성방법
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제5항에 있어서, 상기 정공수송층을 형성하는 단계는,상기 정공수송물질 위에 제1포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 및상기 제1포토레지스트패턴을 이용하여 정공수송물질을 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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7
제5항에 있어서, 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계는,절연층과 유기절연층 상에 포토레지스트를 적층하는 단계;상기 포토레지스트를 현상하여 상기 정공수송층 보다 큰 폭의 제2포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 및상기 제2포토레지스트패턴을 이용하여 상기 정공수송층보다 큰 폭으로 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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제5항에 있어서, 상기 공정을 반복하여 적, 녹, 청색 유기발광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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제8항에 있어서, 정공수송층은 상기 층간절연층에 의해 덮여져 인접하는 유기발광층의 형성시 정공수송물질의 혼입을 차단하는 것을 특징으로 하는 유기발광층 형성방법
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기판을 제공하는 단계;상기 기판위에 구동소자를 형성하는 단계;상기 기판에 구동소자에 접속되는 복수의 제1전극을 형성하는 단계;각각의 제1전극 위에 정공수송층을 형성하는 단계;상기 정공수송층 위에 정공수송층 보다 큰 폭으로 층간절연층을 형성하여 상기 정공수송층을 상면 및 측면을 덮어 인접하는 정공수송층과 분리시키고 상기 층간절연층 위에 유기발광층을 형성하는 단계; 및상기 유기발광층 위에 제2전극을 형성하는 단계로 구성된 유기전계발광 표시소자 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 정공수송층을 형성하는 단계는,상기 기판상에 소수성기를 포함하는 소수성 패턴을 형성하는 단계; 및상기 기판상에 수용성 정공수송물질을 도포하여 상기 소수성 패턴 사이에 정공수송층을 형성하는 단계로 구성된 유기전계발광 표시소자 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 정공수송층을 형성하는 단계는,정공수송물질을 도포하고 그 위에 포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트패턴을 이용하여 도포된 정공수송물질을 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시소자 제조방법
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13
제10항에 있어서, 상기 층간절연층과 유기발광층을 형성하는 단계는,상기 기판 위에 절연층과 유기발광층을 형성하는 단계;절연층과 유기절연층 상에 포토레지스트를 적층하는 단계;상기 포토레지스트를 현상하여 상기 정공수송층 보다 큰 폭의 포토레지스트패턴을 형성하는 단계; 및상기 포토레지스트패턴을 이용하여 상기 정공수송층보다 큰 폭으로 상기 절연층과 유기발광층을 식각하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기전계발광 표시소자 제조방법
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