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서셉터 및 이를 적용한 스퍼터링 장치

  • 기술번호 : KST2015044114
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요약 본 발명은 서셉터 및 이를 적용한 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 타겟이 증착되는 기판이 안착되는 서셉터에 있어서, 상기 서셉터에 안착되는 상기 기판의 둘레를 따라 적어도 한 개 이상의 박리 이물 포집부를 형성하고, 서셉터의 재질을 알루미늄으로 형성함으로써, 박리 이물의 포집 능력을 향상시킬 수 있고 세정공정시 서셉터의 마모나 식각이 발생하지 않게 되어 장기간 사용하더라도 서셉터의 포집 능력이 저하되는 것을 방지할 수 있는 서셉터 및 이를 적용한 스퍼터링 장치를 제공한다.서셉터, 스퍼터링, 알루미늄
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) G02F 1/13 (2006.01)
CPC G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01) G02F 1/1303(2013.01)
출원번호/일자 1020060061175 (2006.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1250237-0000 (2013.03.28)
공개번호/일자 10-2008-0002373 (2008.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 경기도 안양시 만안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0473809-90
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0495759-72
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.04.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.05.25 수리 (Accepted) 9-1-2012-0042057-25
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0496306-63
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0872671-86
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.11.26 수리 (Accepted) 1-1-2012-0976334-10
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.11.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0976339-48
13 등록결정서
Decision to grant
2013.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0180885-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
타겟이 증착되는 기판이 안착되는 서셉터에 있어서,상기 서셉터에 안착되는 상기 기판의 둘레를 따라 적어도 한 개 이상의 박리 이물 포집부가 형성되며, 상기 박리 이물 포집부의 폭은 9mm 내지 10mm이고 박리 이물 포집부와 상기 기판의 가장자리 사이의 간격은 1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 하는 서셉터
2 2
제1항에 있어서,상기 박리 이물 포집부는 상기 서셉터의 표면으로부터 음각지게 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터
3 3
제2항에 있어서,상기 박리 이물 포집부의 음각된 홈의 깊이는 7mm 이상인 것을 특징으로 하는 서셉터
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 박리 이물 포집부는 상기 서셉터를 관통하여 형성된 구멍인 것을 특징으로 하는 서셉터
6 6
제1항에 있어서,상기 서셉터는 알루미늄으로 형성된 것을 특징으로 하는 서셉터
7 7
타겟이 고정된 수직의 백킹플레이트;상기 타겟이 증착되는 기판이 안착되며 피봇회전 가능한 서셉터;상기 타겟과 상기 서셉터의 사이에 설치된 마스크 및 상기 서셉터를 관통하여 상기 기판을 고정하는 클램프; 및 안착되는 상기 기판의 둘레를 따라 서텝터에 적어도 한 개 이상 형성된 박리 이물 포집부로 구성되며,상기 박리 이물 포집부의 폭은 9mm 내지 10mm이고 박리 이물 포집부와 상기 기판의 가장자리 사이의 간격은 1mm 내지 2mm인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 박리 이물 포집부는 음각지게 형성된 홈인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
9 9
제7항에 있어서,상기 박리 이물 포집부는 상기 서셉터를 관통하여 형성된 구멍인 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.