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반도체 장비의 스캔 구동방법

  • 기술번호 : KST2015044135
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요약 본 발명은 반도체 장비의 스캔구동 방법에 관한 것으로 특히 스캔 구동방식을 사용하는 반도체 장비에서 키 정렬과 스캔 구동을 함께 진행시키는 방법에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명은 반도체 장비의 스캔 구동방법에 있어서, 마스크와 기판 중 어느 하나에 형성되며 스캔 방향과 평행한 방향으로 배향된 제 1 정렬키와, 마스크와 기판 중 다른 하나에 형성되며 스캔 방향과 평행한 방향으로 배향되되, 상기 제 1 정렬키와 정렬을 시도하는 제 2 정렬키를 이용하여 스캔 구동 중에도 오정렬에 대한 보정이 가능한 것을 특징으로 한다.스캔구동, 스캔노광, 스캔 검사, 정렬, 키
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC G03F 7/70358(2013.01) G03F 7/70358(2013.01) G03F 7/70358(2013.01)
출원번호/일자 1020060061474 (2006.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1250786-0000 (2013.03.29)
공개번호/일자 10-2008-0002581 (2008.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130404) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정태균 대한민국 경기도 파주시 황골로 *,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0474271-05
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0495901-60
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.05.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0037999-91
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0470583-95
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0836205-90
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-0937737-58
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.12.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1042910-37
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.12.14 수리 (Accepted) 1-1-2012-1042907-00
14 등록결정서
Decision to grant
2013.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0141756-04
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번호 청구항
1 1
반도체 장비의 스캔 구동방법에 있어서,마스크와 기판 중 어느 하나에 형성되며 스캔 방향과 평행한 방향으로 배향된 제 1 정렬키와,상기 마스크와 기판 중 다른 하나에 형성되며 스캔 방향과 평행한 방향으로 배향되되, 상기 제 1 정렬키와 정렬을 시도하는 제 2 정렬키를 이용하여 상기 제1 정렬키와 상기 제2 정렬키 간의 오정렬로 인하여 누설되는 빛을 감지하여 스캔 구동 중에도 오정렬에 대한 보정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 정렬키와 제 2 정렬키는 스트라이프 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 누설되는 빛을 화상으로 감지하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제 1 정렬키와 상기 제 2 정렬키 간의 오정렬을 화상으로 인식하여 스캔 구동 중에도 오정렬에 대한 보정을 수행하는 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
6 6
삭제
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 반도체 장비는스캔 노광장비, 스캔 도포장비, 스캔 검사장비, 마그넷(magnet) 구동방식의 스퍼터(sputter) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
8 8
제 2 항, 제4항, 제5항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 정렬키와 제 2 정렬키 중 어느 하나의 정렬키는 일정거리를 두고 이격된 한 쌍으로 이루어진 스트라이프 형태를 가지며 다른 하나의 정렬키는 상기 한 쌍의 정렬키 사이에 위치하는 스트라이프 형태를 갖는 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
9 9
제 2 항에 있어서, 상기 제 1 정렬키 또는 상기 제 2 정렬키는 제 1 방향으로 스캔 구동되는 거리만큼의 길이를 갖는 것는 특징으로 하는 반도체 장비의 스캔 구동방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.