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기재기판과, 상기 기재기판 상에 마련되는 점착제와, 상기 점착제에 점착되는 피착물을 구비하는 점착반송기판;상기 점착제에 약액을 제공하는 약액주입기; 및마이크로파를 가하여 상기 점착반송기판과 비접촉방식으로 열을 상기 점착제에 전달하는 마이크로웨이브 오븐(microwave oven);을 포함하는 기판탈착장치
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제 1항에 있어서, 상기 피착물은 플렉서블기판으로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판탈착장치
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제 1항에 있어서,상기 약액은 상기 점착제와 상기 피착물 사이에 주입되는 것을 특징으로 하는 기판탈착장치
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제 1항에 있어서,상기 기재기판은 유리기판, 석영기판을 포함하는 하드한 형상의 기판인 것을 특징으로 하는 기판탈착장치
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제 1항에 있어서, 상기 약액은 상기 점착제를 용해할 수 있는 용해제인 것을 특징으로 하는 기판탈착장치
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기재기판과, 상기 기재기판 상에 마련되는 점착제와, 상기 점착제에 점착되는 피착물을 구비하는 점착반송기판과, 상기 점착반송기판에 약액을 제공하는 약액주입기와, 상기 점착반송기판에 열을 제공하는 마이크로웨이브 오븐을 구비한 기판탈착장치를 마련하는 단계와; 상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시켜 패턴형성 공정을 포함하는 제조공정을 실시하는 단계와; 상기 점착반송기판을 상기 마이크로웨이브 오븐으로 이동시킨 후 마이크로파에 의해 상기 점착반송기판과 비접촉방식으로 상기 점착제에 열을 제공하는 단계;상기 점착반송기판에 상기 약액을 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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기재기판과, 상기 기재기판 상에 마련되는 점착제와, 상기 점착제에 점착되는 피착물을 구비하는 점착반송기판과, 상기 점착반송기판에 약액을 제공하는 약액주입기와, 상기 점착반송기판에 열을 제공하는 마이크로웨이브 오븐을 구비한 기판탈착장치를 마련하는 단계와; 상기 점착반송기판을 생산시스템으로 이동시켜 패턴형성 공정을 포함하는 제조공정을 실시하는 단계와; 상기 점착반송기판을 상기 마이크로웨이브 오븐으로 이동시킨 후 마이크로파에 의해 상기 점착반송기판과 비접촉방식으로 상기 점착제에 열을 제공하면서 상기 점착반송기판에 상기 약액을 주입하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 피착물은 플렉서블기판으로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 약액을 주입하는 단계는 상기 점착제와 상기 피착물 사이에 주입시키는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 기재기판은 유리기판, 석영기판을 포함하는 하드한 형상의 기판으로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 약액은 상기 점착제를 용해할 수 있는 용해제로 마련되는 것을 특징으로 하는 기판탈착방법
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