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폴리실리콘 결정화 장치

  • 기술번호 : KST2015044179
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요약 본 발명은 폴리실리콘 결정화 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리실리콘 결정화 장치는 챔버와 챔버내에 형성되고, 아몰퍼스 실리콘이 형성된 기판을 안착하기 위한 스테이지와, 아폴퍼스 실리콘으로 레이저빔을 주사하는 투사렌즈와, 최소한 상기 레이저빔이 조사되는 영역에 한해서는 개구부를 갖는 차단막을 구비하고, 차단막의 일측에서는 질소기체 블로잉(N2)을 실시하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/02532(2013.01) H01L 21/02532(2013.01) H01L 21/02532(2013.01)
출원번호/일자 1020060061078 (2006.06.30)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1296556-0000 (2013.08.07)
공개번호/일자 10-2008-0002320 (2008.01.04) 문서열기
공고번호/일자 (20130813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.29)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김운중 대한민국 경북 칠곡군
2 조덕용 대한민국 경상남도 김해시
3 성경훈 대한민국 경상남도 함안군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2006-0473427-52
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0495138-39
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.03.23 수리 (Accepted) 9-1-2012-0023653-37
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0397095-79
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0683112-08
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.08.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0692353-05
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2012-0692352-59
13 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2012.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0734825-64
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.04 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0101021-92
15 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0101020-46
16 등록결정서
Decision to grant
2013.06.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0388029-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
챔버;상기 챔버내에 형성되고, 아몰퍼스 실리콘이 형성된 기판을 안착하기 위한 스테이지;상기 아폴퍼스 실리콘으로 레이저빔을 주사하는 투사렌즈;상기 투사렌즈를 감싸고 있고, 최소한 상기 레이저빔이 조사되는 영역에 한해서는 개구부를 가지고, 아랫부분이 꺾어진 형태의 차단막;상기 챔버의 바닥면에 고정된 다수의 롤러를 구비하고,상기 차단막의 일측에서는 질소기체 블로잉(N2)을 실시하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 질소기체 블로잉은 상기 개구부 방향으로 실시되어 결정화시 발생하는 가스가 상기 투사렌즈에 흡착되는 것을 물리적으로 방지하는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 질소기체 블로잉은 1ℓpm/㎠의 유량으로 50ℓpm 이하로 실시되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 질소기체 블로잉은 1ℓpm/㎠의 유량으로 5~15ℓpm로 실시되는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
5 5
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저빔은 일정폭을 가지고, 상기 스테이지는 상기 레이저빔 폭의 수직 방향으로 기판을 이동시키는 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
6 6
제 1항에 있어서,상기 스테이지는 상기 롤러에 접촉하여 상기 롤러의 회전에 의해 이동 가능한 것을 특징으로 하는 폴리실리콘 결정화장치
7 7
제 1항에 있어서,상기 롤러 각각의 길이는 적어도 상기 스테이지의 폭의 길이보다 긴 폴리실리콘 결정화장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.