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박막패턴을 리페어하기 위해 기판 상으로 레이저빔을 조사할 수 있는 박막증착장치로서:증착 대상물인 기판의 상면과 마주보도록 설치되고 기판상에 증착가스를 공급하기 위한 리텐션홀이 상하로 관통된 가스챔버,상기 가스챔버 상부에 구비되고 어느 하나의 렌즈를 상기 리텐션홀 상부에 위치시킬 수 있는 다수개의 렌즈를 구비하는 렌즈유니트,그리고 상기 렌즈의 초점을 조절하기 위해 상기 렌즈유니트를 상하로 이동시키는 구동수단을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막증착장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가스챔버는 상기 렌즈유니트와 연동하는 것을 특징으로 하는 박막증착장치
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제 2 항에 있어서, 상기 가스챔버 일측에는 상기 가스챔버를 상하좌우로 미세하게 이동시키기 위한 수동형지그가 결합되어 구비되고, 상기 수동형지그와 렌즈유니트를 연결하는 연결부재가 더 구비됨을 특징으로 하는 박막증착장치
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동수단은 동력원인 렌즈초점조절모터와, 상기 렌즈초점조절모터의 동력을 상기 렌즈유니트에 전달하는 동력전달부를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 박막증착장치
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제 4 항에 있어서, 상기 렌즈유니트의 상측에는 상기 동력전달부의 일측을 따라 승강하는 수직이동아암이 구비되고, 상기 연결부재는 상기 수직이동아암과 수동형지그에 각각 결합됨을 특징으로 하는 박막증착장치
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제 5 항에 있어서, 상기 렌즈유니트에는 다수개의 렌즈 중 어느 하나의 렌즈를 상기 리텐션홀 상부에 위치되도록 상기 렌즈를 선택적으로 교환하는 렌즈교환기가 더 포함됨을 특징으로 하는 박막증착장치
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