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플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법 및 그 제품

  • 기술번호 : KST2015044725
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요약 본 발명은 플라즈마 화학기상증착에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기재와 DLC층 사이의 밀착력을 향상시켜 DLC층의 박리 위험을 원천적으로 차단할 수 있도록 한 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법 및 그 제품에 관한 것이다.이를 위해, 기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 반응가스를 챔버 내부에 투입하여 기재 표면을 전처리하고, 상기 챔버 내부에 DLC층과의 밀착성 향상을 위한 반응가스를 투입하여 상기 기재 표면에 중간층을 코팅하며, 상기 챔버 내부에 내식성과 이형성 및 윤활성 향상을 위한 반응가스를 투입하여 상기 중간층 표면에 DLC층을 코팅하는 것을 특징으로 한다.상기한 구성에 따라, 상기 기재에 밀착력을 향상시키면서 DLC층을 코팅하므로, DLC층을 견고하게 코팅할 수 있어 코팅층의 박리를 원천적으로 차단할 수 있는 효과가 있고, 또한 DLC층에 의해 내식성, 윤활성, 이형성 특성이 부여되어, 부산물의 응집현상을 방지 및 지연시키고, 제품 부식을 방지할 수 있는 효과도 있다.플라즈마 화학기상증착, 반도체공정, DLC층, 체크밸브, 배관.
Int. CL C23C 16/32 (2006.01) C23C 16/02 (2006.01) C23C 16/00 (2006.01) C23C 16/30 (2006.01)
CPC C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01) C23C 16/30(2013.01)
출원번호/일자 1020060084713 (2006.09.04)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0787891-0000 (2007.12.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.09.04)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성완 대한민국 서울 양천구
2 김상권 대한민국 경기도 광명시 광
3 조용기 대한민국 경기 안산시 상록구
4 장우순 대한민국 서울 은평구
5 장성진 대한민국 서울 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유종정 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 *, ***호(역삼동, 강남역센트럴푸르지오시티)(오주특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2006-0638141-70
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.04.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0029252-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0339843-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0604911-13
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.08.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0604910-78
8 등록결정서
Decision to grant
2007.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0672223-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 반응가스를 챔버 내부에 투입하여 기재 표면을 전처리하는 플라즈마 전처리공정과, 상기 챔버 내부에 DLC층과의 밀착성 향상을 위한 반응가스를 투입하여 상기 기재 표면에 중간층을 코팅하는 중간층 코팅공정과, 상기 챔버 내부에 내식성과 이형성 및 윤활성 향상을 위한 반응가스를 투입하여 상기 중간층 표면에 DLC(Diamond Like Carbon)층을 코팅하는 DLC층 코팅공정을 포함하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법에 있어서,상기 DLC층 코팅공정(P30)에서는 상기 챔버(40) 내부에 Ar과 H2 및 탄화수소계 화합물을 투입하여, 중간층(20) 표면에 DLC층(30)을 코팅하되, 상기 중간층(20)에 Si화합물이 포함된 경우 Ar과 H2 및 탄화수소계 화합물에 7%중량부 이하의 TMS를 더 첨가하여 DLC층(30)을 코팅하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법
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챔버 내부에 기재 표면을 활성화하고 잔류 유기물을 제거하기 위한 반응가스를 투입하여 기재 표면을 전처리하는 플라즈마 전처리공정과, 상기 챔버 내부에 밀착성 향상을 위한 반응가스와 함께 내식성과 이형성 및 윤활성 향상을 위한 반응가스를 함께 투입하여 상기 기재 표면에 DLC층을 코팅하는 DLC층 코팅공정을 포함하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법에 있어서,상기 DLC층 코팅공정(P30)은, 플라즈마 전처리 이 후, 챔버(40)의 압력을 0
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제 12항에 있어서, 상기 DLC층 코팅공정(P30)에서 TMS는 7%중량부 이하를 투입하여 코팅하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅방법
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플라즈마 전처리에 의해 표면이 활성화되고 잔류 유기물이 제거된 기재와, 상기 기재 표면에 밀착성 향상과 함께 내식성과 이형성 및 윤활성 향상을 위해 코팅된 DLC층을 포함하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅기재에 있어서,상기 DLC층(30)에는 TMS와 같은 반응가스에 의해 Si를 포함하게 됨을 특징으로 하는 플라즈마 화학기상증착에 의한 박막 코팅기재
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