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클린룸의 플로어시스템

  • 기술번호 : KST2015044792
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요약 본 발명은 클린룸(clean room)의 바닥을 구현하기 위해, 다수의 억세스플로어(access floor)를 수평하게 지지하는 페데스탈(pedestal) 및 이를 이용한 클린룸의 플로어시스템(floor system)에 관한 것이다.본 발명의 특징은 클린룸의 바닥 구현을 위한 다수의 억세스플로어를 수평하게 지지하는 페데스탈의 높낮이 조절이 가능한 너트를 상기 억세스플로어 상으로 노출되도록 구성하는 것으로, 페데스탈의 높낮이 조절을 상기 억세스플로어의 상부 또는 하부의 필요에 따라 원하는 위치에서 조절이 가능하다.따라서, 억세스플로어의 높낮이 편차가 발생할 시, 상기 억세스플로어를 들어내지 않고도 상기 억세스플로어의 모서리부에 노출된 페데스탈의 너트를 통해 상기 억세스플로어의 높낮이를 조절할 수 있으므로 공정의 효율성이 향상된다. 아울러 본 발명에 따른 페데스탈은 보다 안정적으로 제어된 클린룸의 바닥을 구현할 수 있고, 이를 통해 평판표시장치의 제조공정에 대한 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 클린룸, 플로어시스템, 페데스탈, 억세스플로어
Int. CL H01L 21/02 (2006.01)
CPC H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01) H01L 21/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060086705 (2006.09.08)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1326665-0000 (2013.11.01)
공개번호/일자 10-2008-0022898 (2008.03.12) 문서열기
공고번호/일자 (20131107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.08.29)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송남헌 대한민국 경기도 광주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0650054-88
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0670979-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.19 수리 (Accepted) 9-1-2012-0030786-65
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0505861-93
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.10.29 수리 (Accepted) 1-1-2012-0883928-72
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.10.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0883925-35
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0091939-45
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.05 수리 (Accepted) 1-1-2013-0296623-84
14 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0296625-75
15 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.07.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0503902-65
16 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2013.08.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2013-0031526-56
17 등록결정서
Decision to grant
2013.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0679568-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 너트는 상기 지지헤드를 중심으로 상측부와 하측부로 구분되고,상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 상기 상측부가 노출되는 것을 특징으로 하는 클린룸(clean room) 플로어시스템
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 너트는 상측부 또는 하측부를 회전시킬수 있는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
4 4
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 일부가 노출되고,상기 너트는 상기 지지헤드를 중심으로 상측부와 하측부로 구분되고,상기 너트 상측부에 커버(cover)를 더욱 구성하며, 상기 커버는 상기 억세스플로어와 동일 평면을 이루는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
5 5
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 일부가 노출되고,상기 지지헤드는 2 ~ 4개의 억세스플로어의 모서리부를 동시에 지지하는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 억세스플로어의 각 모서리는 상기 억세스플로어의 중심을 향해 오목하게 곡선으로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
7 7
삭제
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 억세스플로어는 사방 연속으로 배열되어 바닥을 구성하는 클린룸의 플로어시스템
9 9
제 8 항에 있어서, 상기 억세스플로어는 사각의 평면형상으로, 다수의 개구홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
10 10
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 일부가 노출되고,상기 너트에는 이를 관통하는 볼트공이 구성되며, 상기 볼트공을 통해 상기 고정스크류가 관통되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
11 11
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 일부가 노출되고, 상기 지지헤드에는 이를 관통하는 볼트공이 구성되며, 상기 볼트공을 통해 상기 고정스크류가 관통되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
12 12
제 10 항 및 제 11 항 중 선택된 한 항에 있어서, 상기 파이프 상에는 다수의 나사홀이 구성되며고, 상기 나사홀에 상기 너트 또는 지지헤드를 관통한 고정스크류가 삽입되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
13 13
제 11 항에 있어서, 상기 너트 상측부에 커버를 더욱 구성하며, 상기 지지헤드를 관통하는 볼트공은 상기 커버 내측으로 형성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
14 14
제 1항에 있어서상기 기초바닥면은 H빔 또는 스퀘어빔의 철재빔으로 이루어진 클린룸 플로어시스템
15 15
기초바닥면에 밀착 고정되는 베이스플렌지와; 상기 베이스플렌지로부터 직립된 파이프와;상기 파이프에 삽입되어, 상하 승강운동하는 스크류샤프트(screw shaft)와;상기 스크류샤프트에 체결되어 상기 스크류샤프트의 상하 승강운동을 조절하며, 중심부에 지지헤드가 결합된 너트(nut)와; 상기 지지헤드를 통해 모서리가 지지되는 다수의 억세스플로어(access floor)와;상기 스크류샤프트의 조절된 높이를 고정하기 위한 고정스크류를 포함하며, 상기 다수의 억세스플로어 중 이웃하는 상기 억세스플로어의 모서리부를 통해 상기 너트의 일부가 노출되고,상기 지지헤드는 상기 너트의 직경을 늘려 형성하거나, 개스켓(gasket) 또는 와셔(washer) 중 선택된 하나로 형성하는 것을 특징으로 하는 클린룸 플로어시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.