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개방영역이 형성된 기판;제1탄성체를 통하여 상기 개방영역 상에서 상기 기판과 결합되고, 상기 제1탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 링형 제1김블;제2탄성체를 통하여 상기 제1김블 안쪽에서 결합되고, 상기 제2탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 링형 제2김블;제3탄성체를 통하여 상기 제2김블 안쪽에서 결합되고, 상기 제1탄성체, 상기 제2탄성체 및 상기 제3탄성체를 회전축으로 하여 구동되는 미러판;상기 탄성체, 김블 및 미러판 상에 결합되고 전자계를 형성하여 구동력을 발생시키는 코일; 및상기 기판의 저면측으로 결합되고, 상기 코일과 함께 전자계를 형성하는 자석을 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제1항에 있어서,상기 미러판 및 상기 제2김블 사이에 위치되고, 다수개의 연결체를 통하여 상기 미러판과 연결되며, 상기 제3탄성체를 통하여 상기 제2김블과 연결됨으로써, 상기 제3탄성체를 회전축으로 하여 상기 미러판과 함께 구동되는 강화틀을 포함하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,상기 제2탄성체 및 상기 제3탄성체는 직선상에 위치되어 상기 제2김블 및 상기 미러판의 회전축을 제공하고,상기 제1탄성체는 상기 제2탄성체 및 상기 제3탄성체의 회전축과 수직하게 위치되어 상기 제1김블의 회전축을 제공하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서, 상기 탄성체는1개 이상의 토션 바를 포함하여 이루어지며,상기 토션 바는 직선형 또는 굴곡형 중 하나 이상의 형태가 조합되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서, 상기 자석은링형 자석;상기 링형 자석 내부에서 이격되어 위치되는 원통형 자석; 및상기 링형 자석 및 상기 원통형 자석을 저면측에서 결합시키는 지지대를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,상기 코일로 저대역의 제1주파수 신호가 인가되면 상기 제1김블, 상기 제2김블 및 상기 미러판은 상기 제1탄성체의 회전축을 기준으로 강제 구동되고,상기 코일로 고대역의 제2주파수 신호가 인가되면 상기 제2김블 및 상기 미러판은 상기 제2탄성체 및 상기 제3탄성체의 회전축을 기준으로 공진 구동되는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,상기 탄성체는 각각 상호 대향하게 위치되는 두 부분으로 구성되고,상기 코일은 단선 및 단층 구조로서, 일측 제1탄성체로부터 일측 제2탄성체까지 제1김블 경로를 구성하고, 상기 제2김블의 일측 반원 경로를 구성한 뒤 타측 제2탄성체로부터 상기 일측 제2탄성체까지 상기 미러판을 관통하며, 상기 일측 제2탄성체로부터 타측 제1탄성체까지의 제1김블 경로를 구성하는 제1코일부; 및 상기 일측 제1탄성체로부터 타측 제2탄성체까지 제1김블 경로를 구성하고, 상기 타측 제2탄성체로부터 상기 일측 제2탄성체까지 상기 미러판을 관통하며, 상기 제2김블의 타측 반원 경로를 구성한 뒤 상기 타측 제2탄성체로부터 상기 타측 제1탄성체까지의 제1김블 경로를 구성하는 제2코일부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,상기 탄성체는 각각 상호 대향하게 위치되는 두 부분으로 구성되고,상기 코일은 복선 및 다층 구조로서, 일측 제1탄성체의 입력 라인으로부터 분기되어 상기 제1김블 상에서 원형 경로를 구성하고 타측 제1탄성체로 출력 라인을 형성하는 제1코일부; 및 상기 제1코일부와 절연되고, 상기 일측 제1탄성체로부터 일측 제2탄성체를 거쳐 상기 제2김블로 진입되며, 상기 제2김블 상에서 원형 경로를 구성한뒤 타측 제2탄성체를 거쳐 상기 타측 제1탄성체로 출력 라인을 형성하는 제2코일부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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제 1항에 있어서,상기 탄성체는 상호 대향하게 위치되는 두 부분으로 구성되고,상기 코일은 복선 및 단층 구조로서, 일측 제1탄성체로부터 타측 제1탄성체까지 상기 제1김블 상에서 각각 양방향으로 반원형 경로를 구성하는 제1코일부와 제2코일부; 및 상기 일측 제1탄성체로부터 일측 제2탄성체를 거쳐 상기 제2김블로 진입되며, 상기 제2김블 상에서 원형 경로를 구성한 뒤 타측 제2탄성체를 거쳐 상기 타측 제1탄성체로 출력 라인을 형성하는 제2코일부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 스캐닝 마이크로미러
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