| 1 |
1
메인 유입 밸브에 의해 가스봄베로부터 유출되는 공정가스를 공급 또는 차단하기 위한 가스 공급부와;상기 가스 공급부로부터 공급되는 공정가스를 서로 다른 경로로 전환하여 공급하기 위한 전환 밸브부와;상기 전환 밸브부에서 공급되는 공정가스를 각 공정 챔버에 분산 공급하기 위한 메인공급부와;상기 메인공급부의 이상 발생 시 공정가스를 각각의 공정 챔버로 우회하여 분산 공급하기 위하여 상기 전환 밸브부로부터 분기되어 상기 공정 챔버와 연결되는 백업공급부와;상기 전환 밸브부, 메인공급부, 백업공급부에 포함된 밸브들 중 적어도 어느 하나의 개폐 동작을 제어하기 위한 모니터링 장치를 포함하는 가스분배 공급장치
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 백업공급부는,상기 전환 밸브부로부터 분기되어, 상기 공정챔버와 상기 메인공급부 사이에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스분배 공급장치
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 메인공급부는,상기 전환밸브부와 연결되어 있는 메인공급라인과;상기 메인공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 메인분산공급라인들을 포함하며,상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(MV2)와;상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(REG); 및상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계(M2)를 포함하는 가스분배 공급장치
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 백업공급부는,상기 전환 밸브부로부터 분기되어, 상기 메인공정밸브와 레귤레이터 사이의 상기 메인분산공급라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스분배 공급장치
|
| 5 |
5
제 1 항에 있어서,상기 전환밸브부는,상기 메인공급부로의 공정가스 유입을 단속하는 제1 전환밸브; 및상기 백업공급부로의 공정가스 유입을 단속하는 제2 전환밸브를 포함하는 가스분배 공급장치
|
| 6 |
6
제 1 항에 있어서,백업공급부는,상기 전환밸브부와 연결되어 있는 백업공급라인과;상기 백업공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 백업분산공급라인; 및상기 백업분산공급라인에 형성되어 공급가스의 유입을 선택적으로 단속하기 위한 백업공정밸브를 포함하는 가스분배 공급장치
|
| 7 |
7
제 6 항에 있어서,상기 메인공급부는, 상기 전환밸브부와 연결되어 있는 메인공급라인과 상기 메인공급라인으로부터 분기되어 각 공정챔버와 연결되어 있는 메인분산공급라인들을 포함하고,상기 메인분산공급라인들 각각은, 상기 메인분산공급라인으로의 공정가스 유입을 단속하기 위한 메인공정밸브(MV2)와; 상기 메인공정밸브를 통해 공급되는 공정가스의 압력을 조절하기 위한 레귤레이터(REG)와 상기 레귤레이터에 의해 조절된 공정가스의 압력을 측정하기 위한 제2 압력계(M2)를 포함하는 가스분배 공급장치
|
| 8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 백업분산공급라인은,상기 백업공급라인으로부터 분기되어, 상기 공정챔버와 상기 메인공급부 사이의 상기 메인분산공급라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스분배 공급장치
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서,상기 백업분산공급라인은,상기 백업공급라인으로부터 분기되어, 상기 메인공정밸브와 레귤레이터 사이의 상기 메인분산공급라인에 연결되는 것을 특징으로 하는 가스분배 공급장치
|
| 10 |
10
삭제
|
| 11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 전환 밸브부, 메인공급부, 백업공급부 중 적어도 어느 하나에는 가스 누출을 감지하기 위한 가스누출 감지센서가 부착되어 있으며, 상기 가스누출 감지센서에 의해 감지된 정보는 상기 모니터링 장치에 의해 모니터링 되는 것을 특징으로 하는 가스분배 공급장치
|
