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기판에 박막을 형성하기 위하여 혼합가스를 공급하는 층류유동제어장치에 있어서,상기 혼합가스의 유로를 제공하는 챔버 유닛;상기 챔버 유닛의 일측에 결합되어 상기 혼합가스를 분사하는 분사 유닛;상기 챔버 유닛의 타측에 형성되어 상기 혼합가스를 배출하는 배출 유닛; 및상기 유로상에 위치하고 상기 혼합가스의 유로를 변경하여 상기 기판 상으로 안내하며, 일면이 곡면으로 형성되어 상기 곡면을 타고 상기 혼합가스가 유동하되, 층류 상태를 유지하면서 상기 유로를 변경시키는 안내 유닛;을 포함하는 층류유동제어장치
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제1항에 있어서,상기 곡면은 일정 곡률반경을 가지고 형성된 것을 특징으로 하는 층류유동제어장치
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제2항에 있어서,상기 곡면은 그 일단이 상기 분사 유닛의 분사방향과 동일한 방향으로 형성되고, 그 타단이 상기 기판이 놓여진 상기 챔버 유닛의 내측면과 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 층류유동제어장치
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제3항에 있어서,상기 타단은 상기 기판이 놓인 평면과 수평한 상기 챔버 유닛의 내측면에 접촉되어 상기 혼합가스가 유동되도록 연장 형성된 것을 특징으로 하는 층류유동제어장치
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제3항에 있어서,상기 안내 유닛은 상기 타단에서 배출된 상기 혼합가스를 안내하도록 상기 챔버 유닛의 내측면 상에 한 쌍의 가이드를 포함하고, 상기 혼합가스는 상기 가이드 사이로 유동되는 것을 특징으로 하는 층류유동제어장치
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제5항에 있어서,상기 가이드의 입구측 폭보다 출구측 폭이 작은 것을 특징으로 하는 층류유동제어장치
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기판에 박막을 형성하는 화학기상증착반응기에 있어서,혼합가스의 유로를 형성하는 챔버;상기 챔버의 일측에 결합되어 상기 혼합가스를 분사하는 분사 노즐;상기 챔버의 타측에 결합되어 상기 혼합가스를 배출하는 배출 덕트;상기 유로상에 위치하되, 상기 혼합가스의 분사 방향과 일정 각도를 이루며 배치된 기판을 구비한 서셉터(Susceptor); 및상기 유로상에 위치하고 상기 혼합가스의 유로를 변경하여 상기 기판 상으로 안내하며, 일면이 곡면으로 형성되어 상기 곡면을 타고 상기 혼합가스가 유동하되, 층류 상태를 유지하면서 상기 유로를 변경시키는 안내 셋;을 포함하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 곡면은 일정 곡률반경을 가지고 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제8항에 있어서,상기 곡면의 곡률반경은 20㎜ 내지 30㎜인 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 곡면은 그 일단이 상기 분사 노즐의 분사방향과 동일한 방향으로 형성되고, 타단이 상기 기판이 놓여진 상기 챔버의 내측면과 평행한 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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11
제10항에 있어서,상기 타단은 상기 기판이 놓인 수평한 상기 챔버의 내측면에 접촉되어 상기 혼합가스가 유동되도록 연장 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제10항에 있어서,상기 안내 셋은 상기 타단에서 배출된 상기 혼합가스를 안내하도록 상기 챔버의 내측면 상에 한 쌍의 가이드를 포함하고, 상기 혼합가스는 상기 가이드 사이로 유동되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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13
제12항에 있어서,상기 가이드의 입구측 폭보다 출구측 폭이 작은 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제12에 있어서,상기 가이드의 높이는 10㎜ 내지 30㎜인 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 서셉터와 인접하게 배치되어 열을 제공하는 가열기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제15항에 있어서,상기 가열기는 상기 서셉터의 상하부측에 각각 배치된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 분사 노즐은 복수개로 형성된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 혼합가스는 수소(H2)와 트리클로로실란(Trichlorosilane, TCS, SiHCl3)이 혼합된 것을 특징으로 하는 화학기상증착반응기
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제7항에 있어서,상기 혼합가스는 0
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