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내부에 반응가스가 혼합되는 가스챔버가 형성되는 챔버하우징;상기 챔버하우징의 하부에서 서로 마주보는 한 쌍으로 구성되고, 그 사이 간극에서 반응가스가 플라즈마로 변화되며, 착탈 가능한 한 쌍의 유전체플레이트;상기 유전체플레이트의 이면에 서로 평행하게 구비되는 한 쌍의 전극;그리고 상기 전극을 둘러싸는 전극커버를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 유전체플레이트는,상기 챔버하우징의 하단에서부터 소정 깊이 요입되고, 상기 유전체플레이트의 상단과 대응되는 형상으로 형성된 안착슬릿에 상기 유전체플레이트의 상단이 끼워짐으로써 상기 챔버하우징과 결합됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 3 항에 있어서, 상기 전극커버의 하부에는, 상기 유전체플레이트의 하단이 안착되는 단차부가 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 4 항에 있어서, 상기 유전체플레이트의 양단부에서 상기 간극에는, 상기 유전체플레이트의 간격을 유지시키는 스페이서가 삽입됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 5 항에 있어서, 상기 스페이서는, 상기 전극커버의 양단에 결합되는 단부커버 중앙에 수직방향으로 형성된 안착홈에 삽입됨에 의해 고정됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 1 항, 제3항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 챔버하우징의 하부에는, 상기 가스챔버와 상기 유전체플레이트의 간극을 연결하는 연결슬릿이 형성되고, 상기 연결슬릿은 상기 챔버하우징을 종방향으로 길게 관통하도록 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 7 항에 있어서, 상기 전극에는 상기 전극에서 발생되는 열을 냉각시키위한 유체가 통과하는 냉각라인이 설치됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 전극커버는 울템 재질로 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 전극커버의 외측에는 보강플레이트가 설치되고, 상기 보강플레이트를 관통하여서는 조절볼트가 나사결합되며, 상기 조절볼트의 선단이 상기 전극커버의 외측면과 접촉됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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제 10 항에 있어서, 상기 챔버하우징의 상부에는, 외부에서 유입된 가스가 일시 저장되는 가스유입구가 내부에 형성되고 상기 가스유입구와 상기 가스챔버를 연결하는 연결통로가 형성되는 본체가 더 구비되며,상기 본체는 알루미늄으로 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 발생 장치
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