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제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상부에 형성된 제 1 전기 접촉용 박막과; 상기 제 1 전기 접촉용 박막 상부로부터 플로우팅(Floating)된 영역에 위치되어 있는 제 2 기판과; 상기 제 1 기판과 대향되는 제 2 기판의 하부에 형성된, 볼록한 돌출부와;상기 볼록한 돌출부를 감싸며, 상기 제 2 기판 하부에 형성된 제 2 전기 접촉용 박막으로 구성된 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1과 2 기판은 교차되어 정렬되어 있고,상기 제 1 기판의 제 1 전기 접촉용 박막의 일단과 제 2 기판의 제 2 전기 접촉용 박막의 일단은 전류원에 연결되어 있고, 상기 제 1 기판의 제 1 전기 접촉용 박막의 타단과 제 2 기판의 제 2 전기 접촉용 박막의 타단은 멀티 미터(Multi-meter)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 볼록한 돌출부는,상기 제 2 기판 상부에 접착되어 있는 구조이거나,또는 상기 제 2 기판 상부가 제거된 영역에 형성되어 있는 구조인 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 볼록한 돌출부는,볼록한 렌즈 형상인 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 볼록한 돌출부의 재질은,포토레지스트인 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물
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상부에 제 1 전기 접촉용 박막이 형성된 제 1 기판을 준비하는 단계와;볼록한 돌출부와, 상기 볼록한 돌출부를 감싸는 제 2 전기 접촉용 박막이 형성된 제 2 기판을 준비하는 단계와;상기 제 2 전기 접촉용 박막이 상기 제 1 전기 접촉용 박막에 대향되도록, 상기 제 2 기판을 상기 제 1 기판 상부로부터 플로우팅(Floating)된 영역에 위치시키는 단계를 포함하여 구성된 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물의 제조 방법
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제 6 항에 있어서, 볼록한 돌출부와, 상기 볼록한 돌출부를 감싸는 제 2 전기 접촉용 박막이 형성된 제 2 기판을 준비하는 단계는,상기 제 2 기판 상부에 포토레지스트 섬(Island)을 형성하는 공정과;열처리하여, 상기 포토레지스트 섬을 볼록한 렌즈로 만드는 공정과;상기 포토레지스트 섬과 상기 제 2 기판 상부를 식각하여 상기 제 2 기판 상부가 제거되어진 볼록한 렌즈를 형성하는 공정과;상기 볼록한 렌즈를 감싸며, 상기 제 2 기판 상부에 제 2 전기 접촉용 박막을 형성하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물의 제조 방법
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, 상기 제 2 기판은,글래스 기판 또는 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정용 구조물의 제조 방법
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제 1 기판과; 상기 제 1 기판 상부에 형성된 제 1 전기 접촉용 박막과; 상기 제 1 전기 접촉용 박막 상부로부터 플로우팅(Floating)된 영역에 위치되는 제 2 기판과; 상기 제 1 기판과 대향되는 제 2 기판의 하부에 형성된, 볼록한 돌출부와; 상기 볼록한 돌출부를 감싸며, 상기 제 2 기판 하부에 형성된 제 2 전기 접촉용 박막으로 구성된 구조물의 제 1과 2 전기 접촉용 박막의 접촉을 고속으로 온(On) 및 오프(Off) 스위칭(Switching)시키는 구동기와, 상기 제 1과 2 전기 접촉용 박막에 전류를 흘려주는 전류원과, 상기 제 1과 2 전기 접촉용 박막의 전위차를 측정하는 멀티미터와, 상기 구동기, 전류원과 멀티미터를 제어하는 제어부로 구성된 전기 접촉 박막의 특성 측정 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 구동기는, 피에조 액츄에이터와; 상기 피에조 엑츄에이터를 구동시키는 액츄에이터 구동부로 구성된 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제 1과 2 전기 접촉용 박막의 미세 정렬을 위한 마이크로 스테이지가 더 구비된 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제 1과 2 전기 접촉용 박막의 접촉 하중을 측정할 수 있는 접촉 하중 센서, 상기 제 1과 2 전기 접촉용 박막의 접촉을 관찰할 수 있는 현미경과 접촉시의 발생하는 열 변화를 관찰하기 위한 써모커플(Thermo couple) 중 어느 하나 이상이 더 구비된 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정 장치
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제 12 항에 있어서, 상기 접촉 하중 센서는, 정전용량형 갭센서, 스트레인 게이지, LVDT(Linear variable differential transformer), 레이져 변위계 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 전기 접촉 박막의 특성 측정 장치
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