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분할 노광을 위한 마스크, 이를 이용한 패터닝 방법 및액정표시장치의 제조방법
- 기술번호 : KST2015045748
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본 발명은 분할 노광을 위한 마스크 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히 분할 노광을 위한 마스크는 복수 개의 화소 영역이 정의된 기판, 상기 기판 상의 각 화소 영역 내에 형성되며 적어도 한 번 꺾인 형상의 복수 개의 전극 패턴, 및 상기 기판의 일측 및 타측에 최인접한 일렬의 상기 화소 영역들에 대응되어 형성되며, 상기 전극 패턴이 형성되지 않는 가장자리 부위를 가리도록 형성된 제 1 및 제 2 더미패턴을 포함하여 구성됨에 그 특징이 있다.횡전계방식, 분할노광, 마스크, 액정표시장치 |
|---|---|
| Int. CL | G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) |
| CPC | G03F 1/38(2013.01) G03F 1/38(2013.01) G03F 1/38(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020060116248 (2006.11.23) |
| 출원인 | 엘지디스플레이 주식회사 |
| 등록번호/일자 | 10-1274690-0000 (2013.06.05) |
| 공개번호/일자 | 10-2008-0046800 (2008.05.28) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20130612) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2011.10.25) |
| 심사청구항수 | 25 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 엘지디스플레이 주식회사 | 대한민국 | 서울특별시 영등포구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 원대현 | 대한민국 | 경북 구미시 |
| 2 | 최선영 | 대한민국 | 경기도 군포시 산본천로***번길 **, ***호 ( |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김용인 | 대한민국 | 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이) |
| 2 | 박영복 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 엘지디스플레이 주식회사 | 서울특별시 영등포구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 Patent Application |
2006.11.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0859576-99 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2008.04.18 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5061241-15 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2010.12.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5241074-12 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.10.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5199065-15 |
| 5 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2011.10.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0833787-80 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.12.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5262372-95 |
| 7 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.07.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 8 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.08.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0065949-19 |
| 9 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0644778-72 |
| 10 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2012.12.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1082125-39 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2013.01.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0081511-93 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0081512-38 |
| 13 | 등록결정서 Decision to grant |
2013.05.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0349102-87 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 복수 개의 화소 영역이 정의된 기판;상기 기판 상에, 적어도 한번 꺽인 형태로 각각 형성되는 복수 개의 전극 패턴;상기 기판 상에, 상기 복수 개의 전극 패턴 중 상기 기판 내의 일측 가장자리 영역에서 분리되는 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 1 더미 패턴; 및상기 기판 상에, 상기 복수 개의 전극 패턴 중 상기 기판 내의 타측 가장자리 영역에서 분리되는 다른 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 2 더미 패턴을 포함하고,상기 제 1 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 일부의 전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태이며, 다른 일측 가장자리는 상기 기판의 일측 가장자리에 매칭되고,상기 제 2 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 기판의 타측 가장자리에 매칭되며, 다른 일측 가장자리는 상기 다른 일부의 전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태임을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서,상기 전극 패턴은 공통 전극 패턴, 데이터 라인 패턴 및 화소 전극 패턴 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 3 |
3 복수 개의 화소 영역이 정의된 기판;상기 기판 상에, 일방향으로 형성되는 게이트라인 패턴;상기 기판 상에, 상기 게이트라인 패턴으로부터 돌출되어 형성되는 게이트전극 패턴;상기 기판 상에, 상기 게이트라인 패턴과 평행하게 형성되는 공통라인 패턴; 상기 기판 상에, 상기 복수 개의 화소영역에 대응하여 상기 공통라인 패턴으로부터 돌출되고 가운데가 적어도 한번 꺾인 형태로 각각 형성되는 복수 개의 공통전극 패턴; 상기 기판 상에, 상기 복수 개의 공통전극 패턴 중 상기 기판 내의 일측 가장자리 영역에서 분리되는 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 1 더미 패턴; 및 상기 기판 상에, 상기 복수 개의 공통전극 패턴 중 상기 기판 내의 타측 가장자리 영역에서 분리되는 다른 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 2 더미 패턴을 포함하고,상기 제 1 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 일부의 공통전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태이며, 다른 일측 가장자리는 상기 기판의 일측 가장자리에 매칭되고,상기 제 2 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 기판의 타측 가장자리에 매칭되며, 다른 일측 가장자리는 상기 다른 일부의 공통전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태임을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 4 |
4 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 ◀ 모양을 갖고 상기 기판의 일측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 모양을 갖고 상기 기판의 타측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성됨을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 5 |
5 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 모양을 갖고 상기 기판의 일측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 ▶ 모양을 갖고 상기 기판의 타측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성됨을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 6 |
6 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 일측은 좌측이고, 상기 타측은 우측인 것을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 7 |
7 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서, 상기 일측은 상측이고, 상기 타측은 하측인 것을 특징으로 하는 분할 노광을 위한 마스크 |
| 8 |
8 기판 상에 금속 물질을 증착하고, 상기 기판 전면에 포토 레지스트를 도포하는 단계;가운데가 적어도 한번 꺾인 형태를 갖는 복수 개의 전극 패턴을 포함한 마스크를 상기 기판의 일측 영역에 대응시킨 상태에서, 상기 포토 레지스트를 노광하는 단계;상기 마스크를 상기 기판의 타측으로 쉬프트시켜 상기 기판의 타측 영역에 대응시킨 상태에서, 상기 포토 레지스트를 노광하는 단계;상기 노광된 포토 레지스트를 현상하는 단계; 및상기 현상된 포토 레지스트를 이용하여 상기 금속 물질을 식각하는 단계를 포함하고,상기 마스크는,상기 복수 개의 전극 패턴 중 상기 마스크 내의 일측 가장자리 영역에서 분리되는 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 1 더미 패턴; 및상기 복수 개의 전극 패턴 중 상기 마스크 내의 타측 가장자리 영역에서 분리되는 다른 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 2 더미 패턴을 더 포함하며,상기 제 1 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 일부의 전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태이고, 다른 일측 가장자리는 상기 마스크의 일측 가장자리에 매칭되며,상기 제 2 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 마스크의 타측 가장자리에 매칭되고, 다른 일측 가장자리는 상기 다른 일부의 전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태임을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 9 |
9 제 8 항에 있어서,상기 전극 패턴은 공통 전극 패턴, 데이터 라인 패턴 및 화소 전극 패턴 중 어느 하나인 것을 특징으로 패터닝 방법 |
| 10 |
10 제 8 항에 있어서,상기 기판의 일측 영역과 상기 기판의 타측 영역은 적어도 일부 오버랩함을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 11 |
11 제 8 항에 있어서, 상기 포토 레지스트를 현상하는 단계 이전에,상기 마스크를 상기 기판의 서로 다른 영역에 대응시킨 상태에서 상기 포토 레지스트를 노광하는 단계를 복수 회 더 포함함을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 12 |
12 삭제 |
| 13 |
13 제 8 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 ◀ 모양을 갖고 상기 마스크의 일측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 모양을 갖고 상기 마스크의 타측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성됨을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 14 |
14 제 8 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 모양을 갖고 상기 마스크의 일측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 ▶ 모양이 마스크의 타측 가장자리를 따라 일렬로 나열되어 형성됨을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 15 |
15 제 8 항에 있어서,상기 일측은 좌측이고, 상기 타측은 우측인 것을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 16 |
16 제 8 항에 있어서,상기 일측은 상측이고, 상기 타측은 하측인 것을 특징으로 하는 패터닝 방법 |
| 17 |
17 복수 개의 화소 영역이 정의된 기판 상에 제 1 금속물질을 증착하고, 기판 전면에 포토 레지스트를 도포하는 단계;일방향의 게이트라인 패턴, 상기 게이트라인 패턴으로부터 돌출되는 게이트 전극 패턴, 상기 게이트 라인 패턴에 평행한 공통라인 패턴, 및 상기 공통라인 패턴으로부터 돌출되고 가운데가 적어도 한번 꺾인 형태를 갖는 둘 이상의 공통전극 패턴을 포함한 마스크를 상기 기판의 일측 영역에 대응시킨 상태에서, 상기 포토 레지스트를 노광하는 단계;상기 마스크를 상기 기판의 타측으로 쉬프트시켜 상기 기판의 타측 영역에 대응시킨 상태에서, 상기 포토 레지스트를 노광하는 단계;상기 노광된 포토 레지스트를 현상하는 단계;상기 기판 상에, 일방향의 게이트라인, 상기 게이트라인으로부터 돌출되는 게이트전극, 상기 게이트라인과 평행한 공통라인, 및 상기 복수 개의 화소 영역에 대응하여 상기 공통라인으로부터 돌출되고 가운데가 적어도 한번 꺾인 형태를 갖는 복수 개의 공통전극이 형성되도록, 상기 현상된 포토 레지스트를 이용하여 상기 제 1 금속물질을 식각하는 단계;상기 게이트라인, 게이트 전극, 공통라인 및 공통전극을 포함한 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 상의 게이트 전극 상부에 반도체층을 형성하는 단계;상기 게이트 라인과 교차하여 화소 영역을 정의하는 데이터 라인 및 이로부터 반도체층 상부로 돌출된 소스 전극 및 이와 이격된 드레인 전극을 형성하는 단계;상기 소스 및 드레인 전극을 포함한 기판 전면에 보호막을 형성하는 단계;상기 보호막에 콘택홀을 형성하는 단계; 및상기 콘택홀을 통해 드레인 전극과 전기적으로 연결되고, 공통전극과 교번하도록 화소전극을 형성하는 단계를 포함하고,상기 마스크는,상기 둘 이상의 공통전극 패턴 중 상기 마스크 내의 일측 가장자리 영역에서 분리되는 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 1 더미 패턴; 및상기 둘 이상의 공통전극 패턴 중 상기 마스크 내의 타측 가장자리 영역에서 분리되는 다른 일부 각각을 메우도록 형성되는 제 2 더미 패턴을 더 포함하며,상기 제 1 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 일부의 공통전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태이고, 다른 일측 가장자리는 상기 마스크의 일측 가장자리에 매칭되며,상기 제 2 더미 패턴의 테두리 중 일측 가장자리는 상기 마스크의 타측 가장자리에 매칭되고, 다른 일측 가장자리는 상기 다른 일부의 공통전극 패턴에 매칭되도록 적어도 한번 꺾인 형태임을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 18 |
18 제 17 항에 있어서,상기 마스크가 대응되는 부위는 기판의 액티브 영역인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 19 |
19 제 17 항에 있어서,상기 기판의 일측을 노광하는 단계와 상기 기판의 타측을 노광하는 단계는 오버랩되어 일어나는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 20 |
20 제 17 항에 있어서, 상기 마스크를 쉬프트시켜 노광하는 단계는 복수 회 쉬프트 시켜 노광하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 21 |
21 제 17 항에 있어서,상기 기판의 일측을 노광하는 단계에서 사용하는 마스크와 상기 기판의 타측을 노광하는 단계에서 사용하는 마스크는 동일한 마스크인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 22 |
22 제 17 항에 있어서,상기 기판의 일측을 노광하는 단계에서 사용하는 마스크와 상기 기판의 타측을 노광하는 단계에서 사용하는 마스크는 서로 다른 패턴을 가진 마스크인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 23 |
23 제 17 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 ◀ 모양이 마스크의 일측 가장자리를 따라 일렬로 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 모양이 마스크의 타측 가장자리를 따라 일렬로 형성된 마스크를 사용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 24 |
24 제 17 항에 있어서,상기 제 1 더미 패턴은 모양이 마스크의 일측 가장자리를 따라 일렬로 형성되고, 상기 제 2 더미 패턴은 ▶ 모양이 마스크의 타측 가장자리를 따라 일렬로 형성된 마스크를 사용하여 노광하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 25 |
25 제 17 항에 있어서,상기 일측은 좌측이고, 상기 타측은 우측인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 26 |
26 제 17 항에 있어서,상기 일측은 상측이고, 상기 타측은 하측인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1274690-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20061123 출원 번호 : 1020060116248 공고 연월일 : 20130612 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130521 청구범위의 항수 : 25 유별 : G02F 1/13 발명의 명칭 : 분할 노광을 위한 마스크, 이를 이용한 패터닝 방법 및액정표시장치의 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,020,000 원 | 2013년 06월 07일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 590,000 원 | 2016년 05월 30일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 590,000 원 | 2017년 05월 15일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 590,000 원 | 2018년 05월 15일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,050,000 원 | 2019년 05월 15일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 1,050,000 원 | 2020년 05월 13일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 특허출원서 | 2006.11.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2006-0859576-99 |
| 2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2008.04.18 | 수리 (Accepted) | 4-1-2008-5061241-15 |
| 3 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2010.12.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2010-5241074-12 |
| 4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.10.04 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5199065-15 |
| 5 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2011.10.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0833787-80 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.12.29 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5262372-95 |
| 7 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.07.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 8 | 선행기술조사보고서 | 2012.08.21 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0065949-19 |
| 9 | 의견제출통지서 | 2012.10.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0644778-72 |
| 10 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.12.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-1082125-39 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2013.01.28 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2013-0081511-93 |
| 12 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.01.28 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0081512-38 |
| 13 | 등록결정서 | 2013.05.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0349102-87 |
| 기술번호 | KST2015045748 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | LG그룹 |
| 기술명 | 분할 노광을 위한 마스크, 이를 이용한 패터닝 방법 및액정표시장치의 제조방법 |
| 기술개요 |
본 발명은 분할 노광을 위한 마스크 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 특히 분할 노광을 위한 마스크는 복수 개의 화소 영역이 정의된 기판, 상기 기판 상의 각 화소 영역 내에 형성되며 적어도 한 번 꺾인 형상의 복수 개의 전극 패턴, 및 상기 기판의 일측 및 타측에 최인접한 일렬의 상기 화소 영역들에 대응되어 형성되며, 상기 전극 패턴이 형성되지 않는 가장자리 부위를 가리도록 형성된 제 1 및 제 2 더미패턴을 포함하여 구성됨에 그 특징이 있다.횡전계방식, 분할노광, 마스크, 액정표시장치 |
| 개발상태 | |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제정보가 없습니다 |
|---|
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