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평면표시장치인 피검사체의 일면과 이격되어 배치되고 상기 피검사체를 투과하도록 빛을 방사하는 광원과,상기 광원으로부터 방사되는 빛의 광경로 상에서 상기 피검사체의 타면과 이격되어 배치되고, 상기 피검사체 표면의 전압분포에 비례하여 상기 빛의 광학 특성을 변조시키는 모듈레이터와,상기 모듈레이터를 통과한 빛의 변조된 광학특성을 감지하는 변조감지부를 포함하여 이루어지며, 상기 모듈레이터는, 상부유리판과, 상기 상부유리판의 하면 전체에 코팅된 도전층과, 상기 상부유리판에 대해 하방으로 이격되도록 배치되고 상부유리판보다 큰 면적을 가지는 하부유리판과, 상기 상부유리판과 하부유리판 사이의 공간이 외부와 분리되도록 구획하며 외벽면이 상기 상부유리판의 측벽과 동일 선상에 위치하도록 배치된 실링재와, 상기 상부유리판과 하부유리판과 실링재에 의해 구획된 공간에 충진되며 전자광학재질로 된 변조층과, 상기 상부유리판의 측면으로부터 상기 실링재의 측면까지 연속적으로 도포된 도전체를 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서,상기 광원으로부터 상기 피검사체로 방사되는 빛을 확산 또는 집중시키는 광학렌즈군을 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서,상기 실링재는 도전성 재질로 되어 있고 상기 상부유리판의 하면의 가장자리를 따라 배치된 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서,상기 하부유리판은 상면의 가장자리에 코팅된 보조도전층을 더 포함하고,상기 도전체는 상기 하부유리판의 보조도전층에 이르기까지 도포된 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제5항에 있어서,상기 실링재는 도전성 재질로 되어 있고,상기 하부유리판의 보조도전층은 상기 실링재와 접하는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서,상기 상부유리판과 하부유리판 사이의 간격을 유지하기 위해 삽입된 스페이서를 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서, 상기 변조층은,액정(Liquid Crystal) 재질로 이루어진 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제1항에 있어서, 상기 변조감지부는,상기 광경로 상에서 상기 모듈레이터의 전방에 배치된 제1편광필터와,상기 모듈레이터의 후방에 배치된 제2편광필터와,상기 제2편광필터의 후방에 배치된 카메라를 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제9항에 있어서, 상기 변조감지부는,상기 제2편광필터의 직전에 배치된 위상지연기를 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제9항 또는 제10항에 있어서,상기 카메라로 입사되는 빛을 확산 또는 집중시키기 위해 상기 카메라와 제2편광필터 사이에 배치된 보조광학렌즈군을 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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평면표시장치인 피검사체가 수평하게 놓여지는 검사대와,상기 검사대의 하측에 설치되고 상기 피검사체를 투과하도록 빛을 방사하는 광원과,상기 광원 상측에 설치되고 상기 광원으로부터의 빛을 편광시키는 하부 편광필터와,상기 광원으로부터 방사되는 빛의 축선상에서 상기 피검사체의 상방에 이격되어 설치되고, 상기 피검사체 표면의 전압분포에 비례하여 타원율이 변화되는 모듈레이터와,상기 모듈레이터의 상방에 설치되고 상기 모듈레이터를 통과한 빛을 편광시키는 상부 편광필터와,상기 상부 편광필터를 통과한 빛에 의해 평면영상을 획득하는 카메라를 포함하여 이루어지며, 상기 모듈레이터는, 상부유리판과, 상기 상부유리판의 하면 전체에 코팅된 도전층과, 상기 상부유리판에 대해 하방으로 이격되도록 배치되고 상부유리판보다 큰 면적을 가지는 하부유리판과, 상기 상부유리판과 하부유리판 사이의 공간이 외부와 분리되도록 구획하며 외벽면이 상기 상부유리판의 측벽과 동일 선상에 위치하도록 배치된 실링재와, 상기 상부유리판과 하부유리판과 실링재에 의해 구획된 공간에 충진되며 전자광학재질로 된 변조층과, 상기 상부유리판의 측면으로부터 상기 실링재의 측면까지 연속적으로 도포된 도전체를 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 모듈레이터와 상부 편광필터와 카메라가 내부에 설치되는 하우징을 더 포함하고,상기 하우징과 상기 광원 및 하부 편광필터는 동일 광축 상에 놓여진 상대 배치를 유지하면서 상기 검사대에 대해 수평방향으로 가동되는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 광원으로부터 피검사체로 방사되는 빛을 확산 또는 집중시키는 광학렌즈군을 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 카메라로 입사되는 빛을 확산 또는 집중시키기 위해 상기 카메라와 상부 편광필터 사이에 배치된 보조광학렌즈군을 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 실링재는 도전성 재질로 되어 있고 상기 상부유리판의 하면의 가장자리를 따라 배치된 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 하부유리판은 상면의 가장자리에 코팅된 보조도전층을 더 포함하고,상기 도전체는 상기 하부유리판의 보조도전층에 이르기까지 도포된 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제18항에 있어서,상기 실링재는 도전성 재질로 되어 있고,상기 하부유리판의 보조도전층은 상기 실링재와 접하는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서,상기 상부유리판과 하부유리판 사이의 간격을 유지하기 위해 삽입된 스페이서를 더 포함하여 이루어지는 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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제12항에 있어서, 상기 변조층은,액정(Liquid Crystal) 재질로 이루어진 평면표시장치용 비접촉식 검사장치
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