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스퍼터 장치

  • 기술번호 : KST2015045816
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판과 인접한 마스크 냉각판에 이물포획장치를 설치하여, 스퍼터 공정을 진행할 때 이물질의 부착 및 박리에 의해 제품의 품질에 영향을 주지 않는 스퍼터링 장치에 관한 것으로, 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부에 설치되며, 기판을 안착시키는 서셉터; 상기 기판과 대향하여 설치되는 타겟; 상기 기판과 상기 타겟의 사이에서 상기 기판의 주변부를 설치되며, 중앙 동공부를 가지는 마스크; 상기 기판의 주변부를 감싸면서, 상기 마스크의 외곽부 저면과 접촉하는 마스크 냉각판; 상기 기판의 주변부를 대응되는 상기 마스크 냉각판의 내측면에 설치되는 이물질 포획부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.스퍼터링 장치, 이물질, 마스크 냉각판, 돌기, 포획
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC C23C 14/564(2013.01)
출원번호/일자 1020060114566 (2006.11.20)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1303052-0000 (2013.08.28)
공개번호/일자 10-2008-0045437 (2008.05.23) 문서열기
공고번호/일자 (20130903) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.27)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임재범 대한민국 경상북도 칠곡군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0847955-64
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2011-0841965-43
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.05.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.06.19 수리 (Accepted) 9-1-2012-0047005-23
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0262723-57
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0507559-43
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2013-0507557-52
12 등록결정서
Decision to grant		 2013.08.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0591453-52
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공챔버;상기 진공챔버의 내부에 설치되며, 기판을 안착시키는 서셉터;상기 기판과 대향하여 설치되는 타겟;상기 기판과 상기 타겟의 사이에서 상기 기판의 주변부를 따라 설치되며, 중앙 동공부를 가지는 마스크;상기 기판의 주변부를 감싸면서, 상기 마스크의 외곽부 저면과 접촉하는 마스크 냉각판;상기 기판의 주변부를 대응되는 상기 마스크 냉각판의 내측면에 설치되는 이물질 포획부;를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 이물질 포획부는 다수의 돌기를 포함하며, 상기 다수의 돌기는 상부를 절단한 피라미드의 형태로 형성되며, 상기 다수의 돌기는 서로 등간격으로 설치되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 이물질 포획부는 상기 마스크 냉각판의 내측면과 연결되는 프레임과 상기 프레임 상의 상기 다수의 돌기로 구성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
3 3
삭제
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 마스크 냉각판의 내측면의 모서리와 변부와 대응되는 상기 프레임에서, 상기 프레임 간의 이격되는 공간에 의해 열팽창 흡수부를 가지는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 마스크 냉각판의 내측면의 변부와 대응되는 상기 프레임은 상기 프레임의 내측과 외측에서 상기 프레임 간의 이격되는 공간에 의한 2 개의 열팽창 흡수부를 서로 엇갈리게 설치하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 마스크 냉각부와 상기 이물질 포획부는 각각 구리와 알루미늄으로 형성되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
7 7
제 1 항 내지 제 2 항, 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 마스크 냉각판과 상기 이물질 포획부는 이탈착이 가능한 볼트결합에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
8 8
제 1 항 내지 제 2 항, 제 4 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 타겟을 고정시키는 백킹 플레이트와, 상기 타겟의 측면을 따라서 설치되는 접지 차폐부와, 상기 백킹 플레이트에 DC 전원을 인가하는 마그네트를 포함하는 것을 특징으로 하는 스퍼터링 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.