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유기용매를 이용한 산화세륨 분말의 제조방법 및 상기분말을 포함하는ＣＭＰ슬러리

  • 기술번호 : KST2015045907
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 a)세륨의 전구체 용액과 침전제 용액을 혼합하여 반응시키는 단계; 및 b)상기 반응 용액에 산화 처리를 하는 단계; 를 포함하여 용액 상에서 직접 산화세륨 분말을 제조하는 방법으로서, 물을 포함하지 않은 순수 유기용매 1종 이상을 상기 세륨 전구체 용액과 침전제 용액의 용매로 사용함으로써, 산화세륨 분말의 입경이 50 nm ~ 3 ㎛ 범위가 되도록 조절된 산화세륨 분말의 제조방법, 상기 방법으로 제조된 산화세륨 분말, 및 상기 분말을 연마재로 포함하는 CMP슬러리를 제공한다. 본 발명은 산화 세륨 분말을 습식 침전법으로 제조함에 있어서, 용매로 유기용매를 사용함으로써 종래의 습식 침전법에서는 제조하기 어려운, 50nm 이상의 입경을 갖고 결정성이 우수한 산화세륨 분말을 제조할 수 있으며, 이러한 산화세륨 분말은 별도의 열처리 없이도 CMP 슬러리용 연마재로 사용할 수 있다. CMP, 산화세륨, 유기용매
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) C09K 3/14 (2006.01) C01F 17/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020060114273 (2006.11.20)
출원인 주식회사 엘지화학
등록번호/일자 10-1050136-0000 (2011.07.12)
공개번호/일자 10-2008-0045326 (2008.05.23) 문서열기
공고번호/일자 (20110719) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오명환 대한민국 대전 유성구
2 조승범 대한민국 대전 유성구
3 노준석 대한민국 대전 유성구
4 김종필 대한민국 대전 서구
5 김장열 대한민국 대전 대덕구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 엘지화학 대한민국 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0845548-48
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.04.28 수리 (Accepted) 1-1-2008-0301711-50
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.02.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0072729-60
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0258664-51
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2010-0324572-31
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.05.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0324577-69
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0390254-55
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2010.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0713732-64
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2010.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0795665-03
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0795655-46
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0795647-81
12 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2011.03.23 수리 (Accepted) 1-1-2011-0211417-91
13 등록결정서
Decision to grant		 2011.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0348101-94
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5000389-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-5161532-51
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.11.12 수리 (Accepted) 4-1-2018-5227604-80
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.19 수리 (Accepted) 4-1-2018-5261818-30
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2019-5164284-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a)세륨의 전구체 용액과 침전제 용액을 혼합하여 반응시키는 단계; 및 b)상기 반응 용액에 산화 처리를 하는 단계; 를 포함하여 용액 상에서 직접 산화세륨 분말을 제조하는 방법으로서, 물을 포함하지 않은 순수 유기용매 1종 이상을 상기 세륨 전구체 용액과 침전제 용액의 용매로 사용함으로써, 산화세륨 분말의 입경이 50 nm ~ 3 ㎛ 범위가 되도록 조절된 산화세륨 분말의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 유기용매의 유전상수는 20 내지 50 범위인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 유기용매는 알코올(alcohol)류, 글리콜(glycol)류, 에테르(ether)류, 에스테르(ester)류, 케톤(Ketone)류, 및 포름산 (Formic acid)으로 구성된 군에서 선택된 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 세륨 전구체는 3가의 세륨 화합물인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 침전제는 NaOH, KOH, 및 NH4OH로 구성된 군에서 선택된 알칼리성 물질인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 b)단계의 산화 처리는 산화제를 첨가하거나, 또는 산소가 포함된 기체를 반응 용액 내로 블로윙(blowing)하는 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 a)단계 및 b)단계에서의 반응 온도는 30℃ 이상 용매의 끓는점 미만인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
8 8
제 1항에 있어서, 상기 a)단계 및 b)단계에서의 반응 시간은 30분 ~ 60시간 범위인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 세륨 전구체 용액의 농도는 0
10 10
제 1항에 있어서, 상기 세륨 전구체 용액과 침전제 용액의 농도비는 1 : 0
11 11
제 1항에 있어서, 상기 생성된 산화세륨 분말을 300℃ ~ 350℃의 온도에서 10분 ~ 6시간 동안 열처리하는 단계를 더 포함하는 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
12 12
제 1항에 있어서, 상기 산화세륨 분말의 비표면적이 50 m2/g ~ 200 m2/g 인 것이 특징인 산화세륨 분말의 제조방법
13 13
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14 14
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15 15
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16 16
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101541912 CN 중국 FAMILY
2 JP05101626 JP 일본 FAMILY
3 JP22510157 JP 일본 FAMILY
4 US08173039 US 미국 FAMILY
5 US20100044625 US 미국 FAMILY
6 WO2008062978 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN101541912 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN101541912 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 JP2010510157 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2010510157 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2010510157 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP5101626 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 US2010044625 US 미국 DOCDBFAMILY
8 US8173039 US 미국 DOCDBFAMILY
9 WO2008062978 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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