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기판 가열장치

  • 기술번호 : KST2015046039
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요약 본 발명은 액정표시장치 제조용 기판 가열장치에 관한 것으로 특히, 기판에 열을 가하여 경화(硬化)할 수 있는 베이킹오븐장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 베이킹오븐장치는 소정의 온도로 유지되는 오븐 내에, 기판을 각각 실장할 수 있는 다수개의 이동식소형오븐을 구성하여, 상기 이동식소형오븐이 상기 베이킹오븐장치 내에서 이동하는 과정 중에 기판 상의 PR의 경화가 완료되도록 하는 것이다. 따라서, 베이킹공정과 그 전(前) 공정이 연속적으로 진행됨으로써, 그 사이에서의 기판의 대기타임이 발생되지 않아, 공정시간을 단축할 수 있다. 또한, 상기 이동식소형오븐 내에, 기판의 베이킹공정을 돕는 철망 또는 핫플레이트를 더욱 구성함으로써, 균일하고 빠른 베이킹공정을 진행할 수 있다. 또한, 이동식소형오븐이 베이킹오븐장치 내에 다수개가 구성되도록 함으로써 기존의 핫플레이트를 연속적으로 배치하였던 경우에 비해 공장내에서 차지하는 기판 가열장치의 면적을 줄일 수 있다. PR, 핫플레이트, 기판 가열장치, 오븐
Int. CL G02F 1/13 (2006.01) H01L 21/324 (2006.01)
CPC H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01) H01L 21/67098(2013.01)
출원번호/일자 1020060123645 (2006.12.07)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1275152-0000 (2013.06.10)
공개번호/일자 10-2008-0051865 (2008.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20130614) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.01)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송계찬 대한민국 경기 의왕시
2 김정오 대한민국 서울특별시 강서구
3 방정호 대한민국 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0907030-43
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0954932-64
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.07.20 수리 (Accepted) 9-1-2012-0056475-79
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0703599-13
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.01.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0046879-13
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.01.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0046878-67
12 등록결정서
Decision to grant
2013.05.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0348401-55
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
각각 천장과 바닥역할을 하는 상하플레이트와;상기 상하플레이트의 서로 대응된 가장자리를 연결하며, 기판이 실장되는 내부공간을 정의하는 양 측면 그리고, 전방의 일면과 후방의 뒷면과;상기 일면의 일측 하부에 구성된 반입구와, 상기 뒷면의 일측 상부에 구성된 반출구와;상기 반입구 및 반출구에 대응되는 내부에 일직선상으로 나란하게 배열되고, 내부에 기판을 실장하여, 상, 하 승강운동 및 좌, 우 수평운동 하는 이동식소형오븐을 포함하고,상기 나란하게 배열되어 맨 상부와 맨 하부에 위치하는 이동식소형오븐은 상기 반출구와 반입구에 각각 대응되어 구성되며, 상기 반입구를 통해 반입된 기판은 상기 맨 하부에 위치하는 이동식소형오븐 내에 실장되며, 상기 맨 상부에 위치하는 이동식소형오븐에 실장되어 있던 기판은 반출구를 통해 외부로 반출되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 맨 하부에 위치하는 이동식소형오븐은 기판을 실장하면, 상측으로 승강운동하여, 상기 반입구와 대응되어, 맨 하부에 위치하는 이동식소형오븐이 반출구와 대응되는 맨 상부로 이동하는 동안 기판의 베이킹공정이 완료되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 이동식소형오븐의 상, 하 승강운동은 기판의 경화시간에 맞춰 조절가능한 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 반출구를 통해 외부로 기판을 반출하여, 내부가 빈 이동식소형오븐은 상기 기판 가열장치 내에서 일측으로 이동하여 수직하게 세워진 상태로 하부로 이동되어, 상기 반입구와 대응되도록 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
6 6
제 3 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 이동식소형오븐은 상기 이동식소형오븐을 고정하는 그립과, 레일을 통해 상, 하 승강운동 및 좌, 우 수평운동 하는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 그립은 180° 회전 가능한 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 기판 가열장치의 내부에는 고온 강풍을 분사하는 열풍배관과, 외부에 이를 발생시키기 위한 발생장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
9 9
제 1 항에 있어서, 상기 반입구와 반출구에는 슬라이딩방식의 개폐(開閉)가능한 도어가 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 반입구 및 반출구의 상단에 구비되어 하방으로 기체를 분사하는 에어커튼을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
11 11
제 10 항에 있어서, 상기 반입구와 반출구의 일측으로 상기 에어커튼의 기체 분사를 제어하는 센서를 더욱 구성하는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
12 12
제 1 항에 있어서, 상기 이동식소형오븐은 육면체의 박스형상으로 내부에는 철망이 구성되어, 상기 기판이 안착되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
13 13
제 1 항에 있어서, 상기 이동식소형오븐은 육면체의 박스형상으로 내부에 핫플레이트가 구성되어, 상기 기판이 안착되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
14 14
제 13 항에 있어서, 상기 핫플레이트 내에는 소정의 히팅수단이 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
15 15
제 13 항 또는 제 14 항에 있어서, 상기 이동식소형오븐에는 슬라이딩방식으로 개폐(開閉) 가능한 도어가 장착된 반입구와 반출구가 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 가열장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.