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기판을 러빙하는 러빙롤러;상기 러빙롤러와 이격되어 상기 러빙롤러의 상부 외주면에 접하는 선에 평행하도록 배치되고, 상기 러빙롤러가 회전할 때 상기 러빙롤러의 상부 일부 영역에 수분을 분사하는 분사장치; 상기 러빙롤러와 이격되어 상기 분사장치와 평행하도록 대응 배치되고, 상기 러빙롤러의 상부에서 상기 분사장치가 분사한 수분을 흡입하는 흡입장치; 감지된 습도량에 따라 상기 분사장치의 분사량을 제어하거나 또는 상기 흡입장치의 흡입량을 제어하여 습도를 조절하는 제어장치; 및상기 분사장치와 상기 흡입장치를 함께 상기 러빙롤러와 평행한 방향으로 상기 러빙롤러의 일단에서 타단까지 왕복 이동시키는 평행이동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서,상기 분사장치는 물을 미세한 수분입자로 형성하기 위한 형성수단과, 형성된 수분입자를 공기 중으로 분사하기 위한 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제3항에 있어서,상기 형성수단은 발산노즐 또는 초음파장치인 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제3항에 있어서,상기 분사구의 기판으로부터의 높이는 러빙롤러의 직경과 같거나 큰 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서,상기 분사장치는 수분입자의 분사속도를 조절하는 가속노즐을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서,상기 분사장치에 수분을 공급하는 수분공급장치를 더 포함하며, 상기 수분공급장치는 저장장치와 배관으로 구성되는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서,상기 흡입장치는 분사장치에서 분사된 수분의 일부를 흡입하기 위한 흡입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서,상기 러빙롤러의 적어도 일측단에 상기 러빙롤러를 회전시키는 구동수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제1항에 있어서, 상기 제어장치는, 습도를 측정하는 센서와,상기 센서가 측정한 습도에 따라 수분량을 조절하는 제어부, 및 상기 조절된 수분량에 따라 개폐되는 유량계와 상기 조절된 수분량에 따라 기판으로부터의 상기 분사장치의 높이를 조절하는 이동장치 및 흡입장치의 흡입량을 조절하는 흡입량조절장치 중 적어도 하나를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙장치
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제13항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 센서에서 측정한 데이터가 입력되는 데이터 입력부;상기 데이터입력부에 입력된 데이터로 습도를 산출하는 습도산출부;상기 산출된 습도를 규정된 습도와 비교하는 습도비교부; 및상기 비교된 습도로부터 분사량을 산출하는 분사량산출부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙장치
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러빙롤러와, 상기 러빙롤러와 이격되어 상기 러빙롤러의 상부 외주면에 접하는 선과 평행하도록 배치된 분사장치 및 흡입장치를 준비하는 단계;센서로 습도데이터를 측정하는 단계;상기 습도데이터로부터 습도를 산출하고, 산출된 습도를 규정 습도와 비교하여 수분의 분사량을 산출하는 단계;상기 분사량에 따라 유량계를 개폐하거나 상기 분사장치의 높이를 조절하거나 또는 상기 흡입장치의 흡입량을 조절하는 단계; 및평행이동수단에 의해 상기 분사장치와 상기 흡입장치가 함께 상기 러빙롤러와 평행한 방향으로 상기 러빙롤러의 일단에서 타단까지 왕복 이동하면서 상기 러빙롤러의 상부에 수분을 분사하여 습도를 조절하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 러빙롤러 습도조절방법
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