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기판 로딩 장치

  • 기술번호 : KST2015046248
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요약 본 발명은 기판을 공정 장비로 로딩하기 위한 기판 로딩 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은, 카세트가 놓여진 포트를 승하강 시켜 카세트의 높이가 로봇의 높이에 맞게 조절될 수 있도록 한 기판 로딩 장치를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 장치는, 카세트의 높이가 조절될 수 있도록 승하강되는 포트; 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇; 상기 로봇의 동작을 구동하는 한편 상기 카세트의 높이가 상기 로봇의 높이에 맞도록 상기 포트를 승하강 시키기 위한 제어부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) B65G 49/07 (2014.01)
CPC B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01) B65G 49/06(2013.01)
출원번호/일자 1020060128662 (2006.12.15)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1383977-0000 (2014.04.03)
공개번호/일자 10-2008-0055377 (2008.06.19) 문서열기
공고번호/일자 (20140410) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이소천 대한민국 경기도 부천시 원미구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서교준 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, **층 (역삼동, 케이앤아이타워)(특허사무소소담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0930949-15
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0601772-48
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.12.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0974735-34
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0060618-51
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2012.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2012-0729033-56
11 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0132772-13
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-0334524-43
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0334525-99
14 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.08.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0536869-18
15 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.27 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0875938-20
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-0875937-85
17 등록결정서
Decision to grant
2014.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0049494-34
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다수의 기판이 적재된 카세트;상기 카세트가 놓여지고 상기 카세트의 높이를 조절할 수 있도록 승하강되는 포트;상기 다수의 기판 각 각을 차례로 로딩하기 위한 로봇;상기 로봇의 동작을 구동하고, 상기 포트를 승 하강시키기 위한 제어부를 포함하고,상기 다수의 기판은 제1 기판과 상기 제1 기판이 로딩된 이후 다음 차례로 로딩될 제2 기판을 포함하고,상기 제어부는 상기 카세트에 적재된 제1 및 제2 기판의 높이가 상기 로봇의 높이에 대응되도록 상기 포트를 승 하강시키고,상기 제어부는,상기 로봇의 제어 정보, 상기 카세트에서 언로딩 또는 로딩될 기판의 순서에 대한 정보, 상기 기판이 놓여진 위치가 상기 로봇의 로봇 아암과 일치되도록 하기 위한 상기 포트의 승하강 정보, 상기 기판이 놓여질 위치가 상기 로봇의 로봇 아암과 일치되도록 하기 위한 상기 포트의 승하강 정보 중 적어도 어느 하나를 입력받기 위한 입력기;상기 입력기를 통해 입력된 상기 정보들을 저장하기 위한 저장기;상기 포트 및 로봇과 통신을 수행하여 정보를 송수신하기 위한 인터페이스;상기 정보에 따라 상기 포트의 높이를 제어하며 상기 로봇을 구동하여 상기 포트에 놓여진 카세트로부터 기판을 언로딩 또는 로딩하기 위한 제어기; 및 상기 제어기에 의해 출력되는 각종 정보들을 사용자가 모니터링할 수 있도록 출력하기 위한 출력기를 포함하는 기판 로딩 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 포트는,상기 카세트가 안착되는 안착부;상기 안착부를 승하강 시키기 위한 승강부; 및 상기 승강부를 지지하는 한편, 상기 제어부의 제어에 따라 구동력을 발생하여 상기 승강부를 승하강 시키기 위한 구동부를 포함하는 기판 로딩 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 구동부는,압축공기를 이용하여 구동력을 발생시키는 콤푸레셔 또는 전력을 회전력으로 변환시키는 모터로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치
4 4
삭제
5 5
제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 로봇이 제1 기판을 이송하는 동안, 제2 기판의 높이가 상기 로봇의 높이와 일치되도록 상기 포트의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치
6 6
제 1 항에 있어서,상기 로봇의 높이는,상기 기판이 로딩되거나 또는 상기 기판이 언로딩될 공정 수행 라인의 높이인 것을 특징으로 하는 기판 로딩 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.