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실리콘 단결정 잉곳 제조 장치

  • 기술번호 : KST2015046249
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요약 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치는 다결정 실리콘 조각이 들어가 용융되는 석영 도가니, 석영 도가니를 둘러싸도록 일체형으로 형성되며 석영 도가니의 모양 변형을 방지하는 제1 도가니 지지대, 및 제1 도가니 지지대를 둘러싸도록 형성되며 2부분 이상으로 분리된 제2 도가니 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 고온에서 실리콘 단결정 잉곳의 성장시 석영 도가니의 변형을 최대한 방지할 수 있으며, 종래의 실리콘 단결정 잉곳의 생산과 비교하여 품질변동이 없는 실리콘 단결정 잉곳을 생산할 수 있다. 또한, 실리콘 단결정 잉곳의 성장시 고온에서 실리콘 융액이 석영 도가니로부터 유출되더라도, 유출된 융액이 챔버 내의 다른 부분으로 전파되는 것을 방지할 수 있다.석영 도가니, CCM, 흑연 도가니
Int. CL H01L 21/208 (2006.01) C30B 15/10 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01) C30B 15/12(2013.01)
출원번호/일자 1020060129264 (2006.12.18)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0841996-0000 (2008.06.23)
공개번호/일자 10-2008-0056406 (2008.06.23) 문서열기
공고번호/일자 (20080627) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.18)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성영 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 송경근 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 ** (방배동) 기산빌딩 *층(엠앤케이홀딩스주식회사)
2 박보경 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로 **, *층(서초동, 준영빌딩)(특허법인필앤온지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2006-0934324-94
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0041227-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0525407-84
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2007-0855457-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0855464-25
7 등록결정서
Decision to grant
2008.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0160816-73
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
다결정 실리콘 조각이 들어가 용융되는 석영 도가니; 및상기 석영 도가니를 지지하기 위한 것으로서, 상기 석영 도가니를 둘러싸도록 일체형으로 형성되며 상기 석영 도가니의 모양 변형을 방지하는 제1 도가니 지지대 및 상기 제1 도가니 지지대를 둘러싸도록 형성되며 복수 개의 조각으로 분리가능한 제2 도가니 지지대로 구성되어 이중 구조를 이루는 도가니 지지대;를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 있어서,상기 제1 도가니 지지대는 CCM 재질 도가니이고, 상기 제2 도가니 지지대는 흑연 도가니인 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 CCM 재질 도가니 측벽 두께는 0
4 4
제3항에 있어서, 상기 흑연 도가니의 두께는 20
5 5
다결정 실리콘 조각이 들어가 용융되는 석영 도가니; 및상기 석영 도가니를 지지하기 위한 것으로서, 상기 석영 도가니를 둘러싸도록 일체형으로 형성되며 상기 석영 도가니의 모양 변형을 방지하는 제1 도가니 지지대 및 상기 제1 도가니 지지대를 둘러싸도록 형성되며 복수 개의 조각으로 분리가능한 제2 도가니 지지대로 구성되어 이중 구조를 이루는 도가니 지지대;를 포함하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치에 있어서,상기 이중 구조의 도가니 지지대는 흑연 도가니로 된 대응 도가니 지지대와 동일한 측벽 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 잉곳 제조 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.