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매트릭스 형태로 화소 영역이 정의된 기판;상기 기판 상의 상기 화소 영역들 사이에 일방향으로 형성되는 투명전극 패턴;상기 기판 상의 상기 화소 영역에 형성되는 화소 전극;상기 투명전극 패턴의 상부에 형성되는, 데이터 라인 및 이로부터 돌출되는 소스 전극;상기 소스 전극과 이격되고 상기 화소 전극과 접촉하여 상기 화소 전극 상부에 형성되는 드레인 전극;상기 소스 전극 및 드레인 전극의 상부에 형성되는 불순물층 패턴;상기 소스 전극 및 드레인 전극 상부의 불순물층 패턴과 양측이 접하며 상기 소스 전극 및 드레인 전극의 상부를 지나도록 형성되는 비정질 실리콘층 패턴;상기 화소 영역을 제외한 기판 상에 형성되는 보호막; 및상기 데이터 라인과 교차하는 방향으로, 상기 화소 영역들 사이에 형성되는 게이트 라인 및 이로부터 돌출되어 상기 비정질 실리콘층 패턴 상부에 형성되는 게이트 전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치
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제 1 항에 있어서,상기 보호막은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiOx)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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제 1 항에 있어서,상기 불순물층 패턴과 비정질 실리콘층 패턴은 반도체층으로 기능하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치
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매트릭스 형태로 화소 영역이 정의된 기판을 준비하는 단계;상기 기판 전면에 투명 금속층, 제 1 금속층, 불순물층을 적층한 후, 이들층을 동일 폭으로 제거하여, 상기 화소 영역들 사이에 일 방향의 투명 전극 패턴과 그 상부에 데이터 라인 및 소스 전극을 형성하고, 상기 화소 영역 상에 화소 전극 및 그 상부에 제 1 금속층 패턴을 형성하고, 상기 데이터 라인, 소스 전극 및 제 1 금속층 패턴 상에 불순물층 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 전면에 비정질 실리콘층을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여 상기 소스 전극과 이와 인접한 상기 화소 전극의 일 코너부를 지나는 형상으로 비정질 실리콘층 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 전면에 보호막을 형성하고, 상기 화소 영역에 상기 보호막을 제거하여 보호막 홀을 형성하는 단계;상기 보호막 홀 하부에 상기 불순물층 패턴, 제 1 금속층 패턴을 제거하여, 상기 소스 전극과 이격되고, 상기 화소 전극과 접촉하는 드레인 전극을 형성하는 단계; 및상기 기판 전면에 제 2 금속층을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여, 상기 데이터 라인과 교차하는 방향으로 상기 화소 영역들 사이에 게이트 라인과, 상기 게이트 라인으로부터 상기 비정질 실리콘층 패턴을 지나도록 상기 보호막 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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매트릭스 형태로 화소 영역이 정의된 기판을 준비하는 단계;상기 기판 전면에 투명 금속층, 제 1 금속층, 불순물층을 적층한 후, 이들층을 동일 폭으로 제거하여, 상기 화소 영역들 사이에 일 방향의 투명 전극 패턴과 그 상부에 데이터 라인 및 소스 전극을 형성하고, 상기 화소 영역 상에 화소 전극 및 그 상부에 제 1 금속층 패턴을 형성하고, 상기 데이터 라인, 소스 전극 및 제 1 금속층 패턴 상에 불순물층 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 전면에 비정질 실리콘층을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여 상기 소스 전극과 이와 인접한 상기 화소 전극의 일 코너부를 지나는 형상으로 비정질 실리콘층 패턴을 형성하고, 비정질 실리콘층 패턴과 동일 폭으로 불순물층 패턴을 남기는 단계;상기 기판 전면에 보호막을 형성하고, 상기 화소 영역에 상기 보호막을 제거하여 보호막 홀을 형성하는 단계;상기 보호막 홀 하부에 상기 제 1 금속층 패턴을 제거하여, 상기 소스 전극과 이격되고, 상기 화소 전극과 접촉하는 드레인 전극을 형성하는 단계; 및상기 기판 전면에 제 2 금속층을 증착하고 이를 선택적으로 제거하여, 상기 데이터 라인과 교차하는 방향으로 상기 화소 영역들 사이에 게이트 라인과, 상기 게이트 라인으로부터 상기 비정질 실리콘층 패턴을 지나도록 상기 보호막 상에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어짐을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 보호막은 실리콘 질화막(SiNx) 또는 실리콘 산화막(SiOx)으로 형성하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 불순물층 패턴과 비정질 실리콘층 패턴은 반도체층으로 기능하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법
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