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실리콘 단결정 제조용 도가니 및 이를 포함하는 실리콘단결정 제조장치

  • 기술번호 : KST2015046382
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 융액에 의한 식각을 방지하면서도, 실리콘 단결정의 품질을 향상시킬 수 있는 실리콘 단결정 제조용 도가니 및 이를 포함하는 실리콘 단결정 제조장치가 개시된다. 본 발명에 따른 실리콘 단결정 제조용 도가니는 쵸크랄스키 법에 의해 실리콘 단결정을 제조하기 위하여 실리콘 융액을 담는 용기로서, 상기 실리콘 융액이 담기는 수용공간을 형성하는 몸체부 및 상기 수용공간 내에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 하나 이상의 표면 높이에 대응하여, 상기 몸체부의 내면에 상기 실리콘 융액의 결정화제로 코팅된 코팅부를 포함하여 구성된다. 따라서, 본 발명에 의하면, 코팅에 의해 실리콘 융액에 의한 식각 현상을 방지함과 동시에, 코팅으로 야기되는 실리콘 단결정의 품질 저하를 최소화할 수 있다.도가니, 실리콘, 융액, 단결정, 결정화제, 코팅
Int. CL C30B 15/10 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01) C30B 15/10(2013.01)
출원번호/일자 1020060130371 (2006.12.19)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0835292-0000 (2008.05.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080609) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.19)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정요한 미국 인천시 남동구
2 심복철 대한민국 대구시 북구
3 이찬식 대한민국 서울시 서대문구
4 이홍우 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2006-0942002-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.06.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0041246-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2007.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0525408-29
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2007.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0793835-28
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0793834-83
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2007.11.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0793837-19
8 등록결정서
Decision to grant
2008.02.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0114754-17
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
쵸크랄스키 법에 의해 실리콘 단결정을 제조하기 위하여 실리콘 융액을 담는 실리콘 단결정 제조용 도가니에 있어서,상기 실리콘 융액이 담기는 수용공간을 형성하는 몸체부; 및상기 수용공간 내에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 하나 이상의 표면 높이에 대응하여, 상기 몸체부의 내면에 상기 실리콘 융액의 결정화제로 코팅된 코팅부;를 포함하여 구성되고, 상기 코팅부는,초기에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제1코팅파트; 및초기에 상기 실리콘 융액에 의해 단결정이 성장한 후 남은 잔여 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제2코팅파트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니
2 2
제1항에 있어서,상기 코팅부는 상기 몸체부의 내면에서 상기 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이가 변화될 수 있는 범위를 커버하도록 일정 길이만큼 코팅된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니
3 3
제1항에 있어서,상기 몸체부는 석영을 포함하는 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 결정화제는,알루미늄(Al), 바륨(Ba), 티타늄(Ti) 및 스트론튬(Sr) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조용 도가니
6 6
쵸크랄스키 법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 장치에 있어서,챔버;상기 챔버의 내부에 설치되고 실리콘 융액을 담는 도가니; 및상기 도가니를 가열하는 히터를 포함하며;상기 도가니는 상기 실리콘 융액이 담기는 수용공간을 형성하는 몸체부 및 상기 수용공간 내에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 하나 이상의 표면 높이에 대응하여 상기 몸체부의 내면에 상기 실리콘 융액의 결정화제로 코팅된 코팅부를 가지고, 상기 코팅부는,초기에 상기 실리콘 융액이 담겨서 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제1코팅파트; 및초기에 상기 실리콘 융액에 의해 단결정이 성장한 후 남은 잔여 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이에 대응하여 코팅된 제2코팅파트;를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
7 7
제6항에 있어서,상기 코팅부는 상기 몸체부의 내면에서 상기 실리콘 융액이 형성하는 표면 높이가 변화될 수 있는 범위를 커버하도록 일정 길이만큼 코팅된 것을 특징으로 하는 실리콘 단결정 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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