맞춤기술찾기

이전대상기술

유기 박막 두께 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015046437
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판에 증착되는 유기물의 두께를 직접적으로 측정할 수 있는 유기박막 두께 측정 장치에 관한 것으로 광을 방출하는 광원과 상기 광원에서 방출된 광을 분리하는 광 분배기와 상기 광 분배기로부터 분리된 광을 분산시키는 렌즈와 상기 렌즈를 통하여 분산된 광의 세기를 검출하는 광 검출기와 상기 광 검출기에서 검출된 광의 세기를 나타내기 위한 신호 처리기로 구성되는 것을 그 특징으로 한다.유기발광표시장치, 유기박막, 간섭 현상
Int. CL G01B 11/06 (2006.01) H05B 33/10 (2006.01)
CPC C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01)
출원번호/일자 1020060125699 (2006.12.11)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1296639-0000 (2013.08.08)
공개번호/일자 10-2008-0053760 (2008.06.16) 문서열기
공고번호/일자 (20130814) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.30)
심사청구항수 4

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 배성일 대한민국 경상북도 구미시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2006-0916183-20
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
5 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0951185-49
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
7 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.21 수리 (Accepted) 9-1-2012-0065974-51
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0055131-38
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.03.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0255996-93
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.03.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0255997-38
12 등록결정서
Decision to grant
2013.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0493166-87
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광을 출사하는 광원과;상기 광원으로부터 출사된 광을 제 1 및 제 2 광으로 분리하고, 상기 제 1 광을 유기물이 증착되는 기판에 투사하는 광 분배기와;상기 기판에 의해 반사된 제 1 광을 분산시키는 제 1 분산렌즈와;상기 광분배기로부터 공급받은 제 2 광을 분산시키는 제 2 분산 렌즈와;상기 제 1 및 제 2 분산 렌즈에 의해 분산된 광의 세기를 검출하는 광 검출기와;상기 광 검출기에서 검출된 광의 세기를 모니터링하기 위해 신호처리하는 신호처리부를 구비하고,상기 광 검출기는 상기 제 1 분산 렌즈를 통해 분산된 제 1 광과 상기 제 2 분산렌즈를 통해 분산된 제 2 광의 간섭현상을 이용하여 광의 세기를 검출함을 특징으로 하는 유기 박막 증착 두께 측정장치
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서,상기 광 검출기에서 검출된 광의 세기 분포는 증착되는 유기박막의 두께에 따라 변하게 되며, 상기 변화를 이용하여 증착되는 유기박막의 두께를 직접적으로 측정하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 두께 측정장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 광 검출기에서 검출된 광의 세기 분포 중 광의 세기가 가장 높은 광의 변화를 이용하여 증착되는 유기박막의 두께를 직접적으로 측정하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 두께 측정장치
5 5
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,상기 광의 세기 분포 변화를 이용하여 유기박막의 두께를 조절할 수 있는 증착 조절 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 증착 두께 측정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.