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기판 로딩 장치

  • 기술번호 : KST2015046469
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요약 본 발명은 기판을 공정 장비로 로딩 또는 언로딩하기 위한 기판 로딩 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은, 로더에 카세트가 안착되면 로봇 아암의 위치가 카세트의 위치에 맞게 보정되어 기판을 이재할 수 있도록 하는 기판 로딩 장치를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 장치는, 카세트가 놓여지는 위치정보를 생성하기 위한 위치정보 생성부를 구비하는 로더; 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇; 상기 위치정보 생성부로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로봇의 위치를 보정할 보정정보를 생성하며, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇을 구동하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01) H01L 21/67766(2013.01)
출원번호/일자 1020060128647 (2006.12.15)
출원인 엘지디스플레이 주식회사
등록번호/일자 10-1340990-0000 (2013.12.06)
공개번호/일자 10-2008-0055374 (2008.06.19) 문서열기
공고번호/일자 (20131213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.11.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 대한민국 서울특별시 영등포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정학수 대한민국 경상북도 문경시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김용인 대한민국 서울특별시 송파구 올림픽로 ** (잠실현대빌딩 *층)(특허법인(유한)케이비케이)
2 박영복 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 엘지디스플레이 주식회사 서울특별시 영등포구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0930900-90
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2007.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2007-0613803-02
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.04.18 수리 (Accepted) 4-1-2008-5061241-15
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.12.21 수리 (Accepted) 4-1-2010-5241074-12
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.10.04 수리 (Accepted) 4-1-2011-5199065-15
6 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0951045-66
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2011-5262372-95
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.06.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.08.01 수리 (Accepted) 9-1-2012-0060617-16
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0416126-22
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0749186-25
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2013-0749197-27
13 등록결정서
Decision to grant
2013.11.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0780692-35
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번호 청구항
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상단에 카세트가 안착되고, 상기 상단에 안착된 카세트의 위치정보를 생성하는 위치정보 생성부를 포함한 로더; 상기 로더 상에 안착된 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇;상기 위치정보 생성부로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로봇의 위치를 보정할 보정정보를 생성하며, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇을 구동하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부를 포함하고,상기 위치정보 생성부는,상기 카세트에 의해 눌려지는 면에 배치되어 있는 제1 스위치; 및상기 위치정보 생성부의 하부면에, 상기 제1 스위치와 1대1로 마주보도록 배치되어 있는 제2 스위치를 포함하며,상기 제1 스위치가 상기 카세트에 의해 눌려져 상기 제2 스위치와 전기적으로 연결되면, 상기 제2 스위치로부터 상기 카세트의 위치정보를 나타내는 전기적인 신호가 발생되어 상기 제어부로 전송되는 기판 로딩 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 로봇과 상기 카세트 간의 간격에 대한 정보를 포함하는 정렬정보를 사용자로부터 입력받기 위한 입력기; 상기 입력기를 통해 입력된 상기 정렬정보를 저장하기 위한 저장기;상기 로더와의 통신을 통해 상기 로더로부터 상기 위치정보를 전송받기 위한 인터페이스;상기 위치정보와 상기 정렬정보를 이용하여 상기 보정정보를 생성하고, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇이 보정위치로 이동하고 상기 카세트로부터 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하도록 상기 로봇을 구동하기 위한 제어기; 및 상기 제어기에 의해 출력되는 정보들을 사용자가 모니터링할 수 있도록 출력하기 위한 출력기를 포함하는 기판 로딩 장치
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.