| 1 |
1
레이저 빔을 발사하는 레이저 발진기;
상기 레이저 빔을 확대 또는 증폭하는 빔 확장기;
상기 레이저 빔의 진행 경로에 구비되어, 상기 레이저 빔의 진행 방향을 조절하는 반사 거울;
상기 레이저 빔을 진행 경로가 다른 두 개의 빔으로 분리하는 빔 스플릿터;
상기 두 개의 빔 중 하나의 진행 경로 상에 위치하며, 빔의 위상을 변경하는 위상 변조기;
상기 레이저 빔의 위상을 모니터링하여, 그 데이터를 제어부로 전송하는 위상 검출부;
상기 위상 검출부에서 전송된 데이터를 이용하여 상기 레이저 빔의 위상 변경을 제어하는 제어부;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서,
상기 위상 변조기는 피에조 모터(piezo motor) 또는 포켈스 셀(pockels cell) 인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,
상기 위상 검출부는 빔 스플릿터(BEAM SPLITTER), 포토 디텍터(PHOTO DETECTOR), 또는 애테뉴에이터(ATTENUATOR)인 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,
상기 제어부는 1차 패턴 형성이 완료된 후, 상기 위상 검출부로부터 전송된 데이터를 이용하여 위상 변경 정도를 결정하고, 상기 위상 변조기에 위상 변경 신호를 송출하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,
상기 제어부는 위상 변경 후, 상기 위상 검출부로부터 전송된 데이터를 이용하여 위상 조정이 필요한지 여부를 판단하고, 위상 조정이 필요하다고 판단될 경우, 상기 위상 변조기에 위상 조정 신호를 송출하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,
상기 제어부는, 상기 레이저 발진기를 제어하여 레이저 빔의 출력량, 출력 시간을 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 간섭 리소그라피 장치
|
| 8 |
8
레이저 발진기로부터 1차 레이저 빔이 발사되는 단계;
상기 1차 레이저 빔이 빔 스플릿터에 의해 두 개의 빔으로 분리되는 단계;
상기 분리된 두 빔이 시료에 조사되어 간섭 무늬를 형성하고, 그래이팅 패턴이 형성되는 1차 패턴 형성 단계;
제어부에서 위상 변조기에 위상 변경 신호를 전송하는 전달 단계;
위상 변조기에 입력되는 빛의 위상을 변경하는 위상 변경 단계;
상기 위상 변경에 의해 간섭 무늬의 위치가 변동되어 2차 패턴이 형성되는 단계;로 이루어지며, 상기의 모든 단계에서 위상 검출부에 의한 레이저 빔의 위상 모니터링이 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노 그래이팅 형성 방법
|
| 9 |
9
삭제
|
