| 1 |
1
홈을 구비한 연마면에서 상기 홈 사이에 충진된 잔존물을 제거하는 잔존물 제거유닛에 있어서,상기 홈에 삽입 및 분리되는 홈내 삽입부재;상기 홈내 삽입부재가 장착된 장착수단; 및상기 장착수단을 이동시켜 상기 홈내 삽입부재가 상기 홈에 삽입 또는 분리되도록 하는 이송수단;를 포함하되,상기 장착수단은제1 장착대; 및상기 제1 장착대와 일정거리 이격되어 형성된 제2 장착대;를 포함하고, 상기 홈내 삽입부재는 상기 제1 장착대와 상기 제2 장착대 사이에 연결된 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 제1 장착대 및 제2 장착대는 후프(hoop)모양이고, 서로 동심원을 이루며 형성된 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 이송수단은제1 이송대; 및상기 제1 이송대와 일정거리 이격되어 형성된 제2 이송대;를 포함하고, 상기 제1 이송대 및 제2 이송대는 각각 상기 제1 장착대 및 제2 장착대에 대응하여 형성된 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 이송수단은상기 장착수단에 연결된 이동부; 및상기 이동부를 수용하고, 상기 이송수단에 고정된 고정부;을 포함하며, 상기 고정부 내부로 유체를 유입 또는 배출시켜 상기 이동부를 전진 또는 후진시키는 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 이동부는 피스톤을 포함하고, 상기 고정부는 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 홈은 복수개로 형성되어 망사구조를 이루는 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 홈내 삽입부재는 상기 홈 전체에 모두 삽입 및 분리되도록 형성된 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 9 |
9
제7항에 있어서,상기 홈내 삽입부재는 상기 홈의 일부에 삽입 또는 분리되도록 형성된 것을 특징으로 하는 잔존물 제거유닛
|
| 10 |
10
홈이 형성된 연마면으로 대상물을 연마하는 연마장치에 있어서,상기 홈이 형성된 제1 연마면을 구비하는 제1 연마유닛;상기 제1 연마유닛의 하부측에 위치하여 상기 제1 연마면에 대응되는 제2 연마면을 구비하는 제2 연마유닛;상기 제2 연마유닛에 장착되어 상기 홈에 삽입 및 분리되는 홈내 삽입부재를 구비하는 잔존물 제거유닛;상기 제1연마면 및 제2 연마면으로 연마제를 공급하는 연마제 공급유닛; 및상기 제1 연마유닛 및 제2 연마유닛을 회전 운동시키는 구동유닛;을 포함하되,상기 잔존물 제거유닛은상기 홈내 삽입부재를 장착하는 홈내 삽입부재 장착부; 및상기 홈내 삽입부재 장착부를 이동시켜 상기 홈내 삽입부재를 상기 홈에 삽입 및 분리시키는 이송부;를 포함하고,상기 홈내 삽입부재 장착부는 제1 장착대 및 상기 제1 장착대와 일정거리 이격되어 형성된 제2 장착대를 포함하며, 상기 홈내 삽입부재는 상기 제1 장착대와 상기 제2 장착대 사이에 연결된 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
제10항에 있어서,상기 이송부는상기 제2 연마유닛에 고정된 실린더; 및상기 홈내 삽입부재 장착부에 고정되어 상기 실린더 내부를 이동하는 피스톤;을 포함하며, 상기 실린더 내부로 유체를 유입 및 배출하여 상기 피스톤을 전진 또는 후진시키는 것을 특징으로 하는 연마장치
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,상기 홈은 복수개로 형성되어 망사구조를 이루는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 연마장치
|
| 14 |
14
제10항에 있어서,상기 연마장치는 랩핑(lapping) 장치인 것을 특징으로 하는 연마장치
|
