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웨이퍼 포장용기의 인서트

  • 기술번호 : KST2015046478
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 운반 중 발생하는 진동을 저감하여 진동에 따른 웨이퍼의 오염과 손상을 최소화하고 품질 안정성을 향상시킨 웨이퍼 포장용기의 인서트를 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 포장용기의 인서트는, 웨이퍼가 담긴 포장용기의 상부 또는 하부에 끼워져서 진동을 저감하는 인서트에 있어서, 수용공간을 이루는 베이스와 외부측벽 및 상기 수용공간을 구획하는 분리격벽을 포함하며, 상기 외부측벽은 상기 분리격벽과 연결되는 중앙 측벽부 및 상기 중앙 측벽부와 연결되고 상기 베이스의 모서리 부위에 형성된 모서리 측벽부를 가지며, 상기 중앙 측벽부와 상기 모서리 측벽부 중 적어도 하나에는 하부로 함몰된 측벽 보강홈이 형성된다. 따라서, 본 발명에 의하면 웨이퍼를 운반하는 과정에서 생기는 저주파수 영역대의 진동을 효율적으로 제어하여 진동에 따른 웨이퍼의 오염이나 손상을 최소화하고 제품의 품질 안정성을 향상시킬 수 있다.웨이퍼, 포장용기, 진동, 보강홈
Int. CL H01L 21/67 (2006.01) H01L 21/677 (2006.01)
CPC H01L 21/67369(2013.01) H01L 21/67369(2013.01) H01L 21/67369(2013.01)
출원번호/일자 1020060130948 (2006.12.20)
출원인 주식회사 엘지실트론
등록번호/일자 10-0800392-0000 (2008.01.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20080204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.12.20)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오세열 대한민국 경북 구미시
2 양상현 대한민국 경북 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 구기완 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)(특허법인 무한)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 에스케이실트론 주식회사 대한민국 경상북도 구미시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0945164-32
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0061670-21
4 등록결정서
Decision to grant
2007.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0576715-15
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2011-5005193-13
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.28 수리 (Accepted) 4-1-2015-5070977-42
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.29 수리 (Accepted) 4-1-2015-5071326-18
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2017-5140469-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.02.21 수리 (Accepted) 4-1-2018-5031039-07
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
웨이퍼가 담긴 포장용기의 상부 또는 하부에 끼워져서 진동을 저감하는 인서트에 있어서,상기 포장용기가 수용되는 수용공간의 바닥을 형성하는 베이스;상기 베이스와 일체로 이루어지며, 상기 베이스의 테두리상에서 상부로 돌출 형성되어 상기 수용공간의 측면을 형성하는 외부측벽; 및상기 베이스와 일체로 이루어지며, 상기 베이스에서 상부로 돌출 형성되며 상기 외부측벽과 연결되어 상기 수용공간을 구획하는 분리격벽을 포함하며,상기 외부측벽은 상기 분리격벽과 연결되는 중앙 측벽부 및 상기 중앙 측벽부와 연결되고 상기 베이스의 모서리 부위에 형성된 모서리 측벽부를 가지며, 상기 중앙 측벽부와 상기 모서리 측벽부 중 적어도 하나에는 하부로 함몰된 측벽 보강홈이 형성된 웨이퍼 포장용기의 인서트
2 2
제1항에 있어서,상기 측벽 보강홈은,하부로 경사진 두 개의 경사면; 및상기 두 개의 경사면의 하단을 연결하며, 상기 베이스보다 상부에 구비되는 연결면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
3 3
제2항에 있어서,상기 경사면과 상기 연결면이 이루는 각도는 둔각인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
4 4
제2항에 있어서,상기 모서리 측벽부에 형성된 측벽 보강홈에서, 상기 연결면은 상기 베이스의 테두리 형상에 대응하여 굴곡이 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
5 5
제1항에 있어서,상기 중앙 측벽부에 형성된 측벽 보강홈은 한 쌍으로 이루어지며, 상기 분리격벽의 연장선을 기준으로 서로 대칭되게 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
6 6
제1항에 있어서,상기 분리격벽에는 하부로 함몰된 하나 이상의 격벽 보강홈이 형성된 웨이퍼 포장용기의 인서트
7 7
제6항에 있어서,상기 격벽 보강홈은,하부로 경사진 두 개의 경사면; 및상기 두 개의 경사면의 하단을 연결하며, 상기 베이스보다 상부에 구비되는 연결면;을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
8 8
제6항에 있어서,상기 격벽 보강홈은 한 쌍으로 이루어지며, 중앙을 중심으로 서로 대칭되게 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 포장용기의 인서트
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패밀리정보가 없습니다
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